2 Лист (1058801)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Очистка поверхности подложекКлассификация методов очистки пластин и подложекТипичные загрязнения подложек и их источникиОсновные источники микрочастиц пылиОчистка подложекГ8%Масла и жирыМасла от машинной обработки, отпечатки пальцев, жиры с открытыхучастков тела, средства для волос, мази, лосьоны для рук, мылоСиликоныАэрозоли для волос, кремы, лосьоны после бритья, лосьоны для рук,мылоМеталлыПорошки и отходы машинной обработки и шлифовки, изготовлениеметаллических частей, частицы из металличесчких банок для храненияи металлических контейнеровИонные примесиПродукты дхания, отпечатки пальцев (хлорид натрия).

Примеси изочищающих растворов, содержащие ионные детергенты. Некоторыефлюсы. Примеси от предварительной химической операции, такой кактравление или металлизацииНеионные примесиНеионные детергенты, органические материалы для обработкиРастворимые примесиОчищающие растворители и растворыО25%П - обслуживающий персоналТП - технологический процессО - оборудование, оснастка, средства автоматизацииГ - газы и химикатыВ - воздушная средаФизическаяХимическаяФизическаяХимическаяПлазмохимическое травлениеПродукты окисления некоторых металловГазовое травлениеОкислы и окалинаВ7%Ионное травлениеГорные породы, песок, почва, зола, пепелСухаяОтжигСиликатыТП25%ЖидкостнаяКислотное травлениеОдежда, ткани, бумажные изделияОбезжиривание в мыльных иперекисных аммиачныхрастворахВолокна (нейлон, целлюлоза и т.д.)Промывание в водеВозможные источникиОбезжиривание ворганичесеких растворителяхП35%ЗагрязненияЭтапы очистки подложки нитрида алюминия1.

Обезжиривание УЗ - эмульгированиемЭмульсионный раствор наводной основе MultiEx 3D (1:3)Tрабочая=20-40°Сt=30 мин2. Отмывка от остатковэмульсии погружениемв чистый растворительРастворитель Прозонt=5 мин4. Кипячение в ПАРTрабочая=50-60°Сt=7 мин0,635Схема УЗ - очистки в протокеВаннаПодложка AlN100Кассета с пластинамиRa=0,6 мкмКонцентраторУЗГУЗ-генератор3. Обезжиривание впарах растворителяСмесь бензола и ацетона (1:1)t=15 минМагтнитострикционныйизлучатель5. Промывка горячейдеионизованной водойв протоке в многокаскадныхваннахРаствор: H2O2 : NH4OH : H2O = 1:1:4Tрабочая=80-90°Сt=20 минВ процессе обезжиривания пероксидразлагается с выделением атомарногокислорода: 2H2O2 = O2 + 2H2O6.

Инфракрасная сушкаt=10 мин.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы