КП_РЕФЕРАТ (1058457)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Реферат

Обеспечение и контроль топологической точности многослойных структур

Записка 45 стр., 50 рисунков, 1 таблица.

Ключевые слова:

Фотолитография, топологические погрешности, зондовый контроль, погрешности размеров, прогнозирование, выход годных, Экспонирование, Оптические системы.

Графические работы в объеме 5 листов выполнены на ПК с помощью программы AutoCAD 2000 и CorelDraw 9.

Записка выполнена с использованием среды Word.

Целью настоящего проекта является проведение анализа проблемы достижения требуемой топологической точности многослойных микроструктур и контроля параметров точности в реальных производственных условиях.

Оценены требования к топологической точности основных изделий микротехнологии - интегральных микросхем, печатных плат, изделий микросистемотехники, рассмотрены особенности формирования и совмещения их топологических слоев.

На основании анализа методов экспонирования (проекционное, контактное и экспонирование со сканированием) выявлены основные факторы, влияющие на качество формируемого изображения.

Проведен расчет профиля изображения для печатных плат и с помощью программного обеспечния подобраны режимы экспонирования.

Показано, что для контроля совмещаемости и точности размеров наиболее перспективен зондовый метод, обладающий высокой производительностью и универсальностью. Проведен анализ тестовых структур для этого метода контроля.

Рассмотрены основные узлы и составляющие установок экспонирования. Выбрана принципиальная схема устройства для контактного экспонирования и для него спроектирована оснастка.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов учебной работы