КП_ЗАДАНИЕ (1058455)
Текст из файла
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ
УНИВЕРСИТЕТ
имени
Н.Э.Баумана
Факультет Кафедра
Машиностроительные Электронные
Технологии технологии в
Машиностроении
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект
по курсу Основы электронных технологий
Студент Зиновьев П.А
Руководитель Цветков Ю.Б.
Защита проекта 19-23 мая 2003 г
1. Тема проекта
ФОРМИРОВАНИЕ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ КРЕМНИЕВЫХ МИКРОДАТЧИКОВ
2.Техническое задание
Разработать технологический процесс и необходимую оснастку для изготовления упругих элементов кремниевых микродатчиков со следующими параметрами:
1.Размеры кристалла микродатчика, мм (3х3...5х5)х 0,4
2.Размеры мембраны чувствительного элемента (ЧЭ), мм 1х1
3.Толщина мембраны ЧЭ, мкм 16
4. Допуски на размеры мембраны:
4.1. габариты, мкм. 10
4.2 толщина, мкм. 1...2
5. Диаметр кремниевых пластин, мм. 100
6. Ориентация кремниевых пластин (100)
7. Объем выпуска, шт./год 500.000
3. Объем проекта
Графические работы в объеме 5 листов выполняются на ПК с помощью программы АВТОКАД. По согласованию с руководителем допускается вывод на печать графических материалов в формате, отличном от А1.
Расчетно-пояснительная записка на 20-30 листах формата А4 печатается в формате WORD
4. Содержание графической части проекта
4.1. Технологическая часть
Технологический анализ кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ):
общие габариты, топология, планарная структура, размеры в плане и
толщина мембраны, допуски на размеры и толщину 0,5 л
Маршрут изготовления ЧЭ 0,5 л
Анализ технологических операций изготовления ЧЭ:
статистический анализ процесса травления, физико-химический анализ 1,0 л
Маршрутная технология изготовления ЧЭ, эскизы технологических
операций 1,0 л
Анализ вариантов герметизации 1,0 л
4.2. Конструкторская часть
Чертежи реактора и кассет 2,0 л
5. Содержание расчетно-пояснительной записки
Реферат
Оглавление
Введение
Технологический анализ изделия
Анализ патентно-литературных источников с использованием Интернет
Технология анизотропного травления
Технология электростатического соединения
Расчет напряжений в мембране методом конечных разностей, разработка программы расчета напряжений на ПК в формате языка ПАСКАЛЬ, анализ результатов и назначение допусков на размеры мембран и точность совмещения пьезорезисторов
Заключение
Список литературы
Приложения (спецификация сборочных единиц, копии патентно-литературных источников)
Руководитель проекта_______________________( Цветков Ю.Б.)
Дата выдачи проекта 8 февраля 2002 г.
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.