Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 182
Текст из файла (страница 182)
сорбцнн 294 Отражателн для днффузнонних касосо» 188 — ! 93 Отрнцвтельние ноям , выброс пре ионном рвспыленнн 393 повторное рзспиаенке 369 «Охранный» вакуум 274, 281 вакуумные системы 303, 308 Очистка подложек нагреааннем 540 рвстворнтсляпн 538-540 тлеющнм разрядом 540-341 Пайка вакуунньи соепнаеввВ магинмя арн. поямн 254 — мб Пайка твердима арапоямв кервмнческнв деталей 266 метвллнчесхнх деталей 255-ЭЩ Пзмятн эффект в нонныз насосах Щ1.
203 Паров дамзенне гетчирпрующпк мегеллОв 908 нзнерепке 21. 39 обычных газов прв павках темверагураз !95-!97 соеднненнй 99 сплавов 101-!04 точность ленных 31 — 23 уразненне для опредеаеяня !6-20 элементов 24 — 25 Паров ловушка для пвромэслянык днффувнонных васо сов (Щ-(И, 300 для ртутных днффузнонник насосов 194 крносорбцнонные 203 206 крносубткмацнонные 210, И)! мейснеровскне 196-199, 295, 303 оптнческп плотные 138 форяавуумныв !82, 235 Пары нспвряемого вещества нз поверхностных нспврятелей 45-48, 78-82 нз точечник вспврнтелей 48, 77 (см, твк же эффузконные ячейка.
хзрактерястн. Кн) Пеннннгв машгметр 2П-218, 328 — Э29 нспольэоввняе з гелневык теченсквтелях 313 элекцннмае Откачка 2!О Перезарядка в тлеющем разряде 4!О Переходной ноток газов 36 Переходные сваи 264 Параня манометры 312, Зй(-ЗП Плазменная дуговая сварке ж(0 Плазменное окнсленнэ 486 Плазмы потенцяэл 365 прн ВЧ катодном распыленнн 446 Пластнни змульсноняие, лннмвноэекна 583-586 Платана, травяенне гонках пленок ф)9 Плотность оптнческав Предшбтыы() укйзйубдб серебряно.галандиых эмульсноинмк фото.
шаблонов 534 хромированных фотошабаонов 687 Поверхности изменения зе время не»ног.о распыления 356 — 332 Поверхности очистке метвлличесиик элементов вакуумных систем 235, 304 подложек 538 — 542 Поверхностное сопротивление во время яроцесса осеждения пленок Поверкиостные атомы, связанные коломан»» 43 Поверхность испарнтелей, характеристики испареин» 45 — 48, 77 — 82 Подложек вращение 88 — 89 Подложек плоскостность ва»шше нагрева 516 влияние иа нагреваине подло!кки в вакууме 516 — 517 влияние на размер изображения в бюторезисте ЗИ, 5!8 Полложкн дефекты поверхности 507, ЯО кароблеиие поверхностей 542 меъзды очистки 538 †5 иагреваине 516 общие требования к топким птенкам 495 поставщики 545 — 552 свойства, отнаснщиеся К химическому со. отаву 5!8 — 525 чсмпаратура влияние на свойства пленок, наносимых нои»ым распылением 428 влияние на свойства тонких пленок ГИ, 123 выравнивание нанесением жидкого металла иа обратную сторону 518 при нанесении пленок ионным распылением 424 термические и механические свойства 525 — 535 улучшение поверхностей Я( (см.
также Главу Б) цена 543 Поле изображения рабочее 575. 578 — 580 миоголнизовых объектов МЗ при проекционном экспонировании 630— 636 Полииернзацня, способ получения ялеиои 476 Полимерные пленки 570 Пор»ответь пода жек 517-613, Я1 Прессопание порошьз 495 — 497 Приборы со щупом, использование дая характеристики шероховатости яоаьркноетв 587 — 512 Приведенное поле, опрелвлснне 437 Прнлнпавия коэффициент 22) на геттерирующих металла» 207 — 260 криопонерхностях 195 †1 сарбнруюших материалах Д)0 Примеси в распылнтельной атмосфере 427-428 выражение для концентрации в пленках 430 захват в осажденных пленках 1П вЂ” 113 захват плешгами, нвносимыив ноевым распылением 430 Присоединение проводников к тониша еленкэы, влияние подложки ШВ Проводимость трубопроволов дл» газов 34-37. 282 Г!роизводнтельиостъ вакуумных пасесов 179 Проколы в топких пленках 620-623 Проникновение атмосферных газов черен степин вакуумных систем 224 — 225 вклад эффекта а атмосферу остяточшаи газов вакуумных систем 262-294 использование эфбмвта в аалнброваиави гелпевых течах 314-315 иеханизм 239-2» Проницаемость твердых тел 241 — 242 зависимость от температуры 344.
286-Шш металлов 242 стекол 743 эластомеров 243 Пропускная способность трубны шщ гаши 34 — 37, 282 Процесс — «передающая лента» 496 Прочность керамических деталей 266 материалов для подложак 629, ЯЭ-бЗВ стаяла 252 Радиального электрического поля нзамш (см. иоинме кассем) Радиационных повреждений теория 393 Разделительный конденсатор в ВЧ самее согласования 365, 4(9 Разложение соединений е процессе испарения !05-!01 с помощью тлеющего разряда 478' способ осаждения влеяок 476 Разрешеине линзы 576, 580, 530 — 633 многолинзояых объектов ЗВЗ рисунков в слое фотореваств 514-~17 тестовые рясунк» для омреаеленяя Яб требаааяня в фотолитографии 576 фотографнчсскнк пластин 584 Распылен»» «оэффицисмт определение 372 — 375 таблица 454 Распыленных частиц распределение ио скоростям 578 — 560 состояние 388 — 389 угловое распределение 384 — Зну «имнческпй состав 369-366 Рвспылнтельные ионные насосы влияние примесей МО з рээборгн»х высоковакууииых смсгемвя 297 в сверхвакууниых системах 301-ЭОЗ запуск 217 ионный ток ШО иринки» дейсмшя ИЗ-216 устройства различных попелей 216 — 2И Растворимость г»зсж в твердых телах 229, 232.
304 Расширение между подложками и пленками 525 между подложками н эмалямн бш — 761 соответствие эемиеразурных шшффнцц сигов в мегалщьперзы»веских спаял 268 в металло-стеиляниых спаяк 262-Мч Р»уля заков Ю( — 104 Реактивное испарение 435 Ы4 Реактивное «сивренке ялеыш П(-ПВ влинние давления газа !!4 — 115 влияние температуры водложнн !Б — ПВ данные по окислам металлов ПВ механизм П! Предыетиы(Э указатель реакции ванещеиия 470 Резание подложек 534 1'ез»сториые датчики скорости осаждеиия пленок Ю( Реэ»сты электро»по.лучевые происходящие реакция ЯВ е поперечиымк связями или негатив»ого типа 633 с укороченными цепями или позитивиого типа 54! таблица последов»»мыл материалов 639- 6М Рекр»стеллпзации окисиых олеиок 482-489 Рельефы аащит»ые 623-624 Реитгеиовский порог иониввциоияых манометров 325, ЭИ Рису»ок, формирование электронно-ярче.
иым» методами ВЭ — 045 иа установках экспо»правая»я больши» «зображеиий 842 с мех»и»чески» коордииатиым столом 642 совмещение рису»кое И2 — 643 с электромагпитиым от»лопе»кем луча 643-644 Руте» иасосы 183 Рмхеда манометр 329 Сварке используемые материалм 2Ы вЂ 2 процессы 246 — И) Сверхвысоковакуумиые системы (см. ваку.
умные системы, сверхвысоковакуум. кые) 3 вабадяое испарение 30, 47 — И вободиый молекуляримй поток гваое 35 Связи с ближайшими сосеяами 43, 367 Связь, энергия (см. »дсорбиравэииые атомы) Секториые анализаторы остаточных газов 334-335 Селепид кадмя» испарение иэ двух копер»гелей 123 мепасредствеииое испарение 96-97 реактивное вспарение 116 Серебра плеики вспаритель для осаждения 82-63 травлеияе 6!О Сильфонные соединеиия р вакуумных вентилях 286 †2 во вводах движения 283-284 коиструкция 293 сварка 2Ы Симметрнчпме системы ВЧ распыления 450 Скни.слоя толщи»а пря пилу»дно»нем на.
грезе 258 Скорость осажде»ия, датчики 133 — 159 емкостпые 138 поиизациаииые 1Э4-139 кварцевые !Ф-150 оптические 151-(Я .оспа»а»яме иа микровзаешиввняи !а-МВ основ»пиме ка эффвктв давления мола«ул 139 — !40 резистор»же 154 — 1М Слоистые пленки !01, 108 — 110, 125 Смазка элементов вакуумных систем вводов для передачи да»жени» 2В(-2% ел»якие вдсарбц»и гелия при поиске те. чей 314 в системак непрерывного действия к в си- степах миогаслойпых покрытий, в09. МВ прокладок из эластомеров 274 шаровых крапов Му Смак»за»месть поверх»остей 535-537 двуокиси крем»»я В!В Со»мацек»а масок для асеждеиия 570 Рисунков прк Э»Е»трояно-лучевом экспо.
иироваиии 636-644 фотошвблоиов 000, ЫВ Совдииеиия иа осиове впаксидиых слоев 208 е прокладкам» ив э»астомерое 709 †( а вакуум»ых аеитилях 230 ва вводах движения 281-232 вляяяие оклаждепня 298-2М Со»рот»влепи» тонкопленочные, влияние подло!кки 614-ВИ Соудареиия твердых сфер при »оином распыле»ии ЖЮ Спеааиие акисийх подложек 497 Сплавы активность составляющих Ю)-104 да»лепка пэров !0!†!04 »звене»»е составе в процессе испарения 104-107 »о»кое ос»ждеиие 391, 462-4М испарение в вакууме 101-110 сублимация 100 †1 фракциоиироваиве 103 элеитраким»ческае пса»где»ие пле»оа сплавов 469 Стекло кек матарива дл» векуумвыв колб гаэовыделеи»а М4, 297 †! газопроиицаемость 243, 243 отжиг 293 оереходиые спаи 204 прочность ив растяжение ЗЮ тепловое расшкрение 262 Стекло.
керамические подложки 601 ВЮ Стекло-слюдяные подложки 501 †6, ВЮ Стекляииые подложки воздействие реактивоа Мй-МВ изготовление 494 †4 отиосктельизя стоимость ИЭ подвижность ионов 519-ВМ свойства (таблица) 603 состав коммерческ»Я ОЮ текстур» повар»поста ВЮ Стойкость к термоуаару материалов под. ложек М9 Столы координационмые, точность отметки М2. 630, 642 Структура пленок, получеииык »пины» ога.
ждеиием 4Ю Сублимационные ис»аритал» для о»аз»де кия топких иле»о» 59-62 Сульфнд кадмия прямое испарение 56 реактивное испарение 118 у»итал газы раствореииые 304 геттерлрующие свойства 208 давление паров 208 псе»реале а вакууме 77 свойства И Тантала окиси плевки. получеивые анопироваинем 481-483, 4Я реактив»ым испаравием цб-116 Предметный указатель Тантале пленки травление 611 В-фаза 419 Тепловая аккомодация 40 Тепловое расширение.
Разница козффици. вигов в металло керамических спаях 266 в металло-стеклянных спаях 262-264 стекла я металлов 262 Теплопровадиость материалов подложек 527 †5 Термисториые манометры 322 Термически выращенные пленки 485 — 488 Термичесиое расширение материалов под. ложек 526-527 различие между материалвми подложек н пленок 526-527 подложек н эмалей 530 — 531 Термодниамииа процесса испвреивя в ва«УУме !6-18 Термокатод в иоиизацианных манометрах 324 — 328 Термапариые манометры 320 использование при поиске течей 312 Термозлектроипый катод 363, 413 Тесла тра сформа ор, использование для качественной оценки величинм давления 319 для поисиа течи 312 Тефлон скорость газовыделения 234, 238 уплотнение резьбовых соединений лентой 269, 291 Тефлоновые прок.задки 270 Течи. поиск в вакуумных системах 311 †3 Титан газы раствор«нные 304 геттернрующие свойства 207 — 2!О, 2Ы давление паров 208 растворение осаждеинык слоев 210 сублимация 208 Титана двуокись испарение непосредственное 76, 93, 98 реактивное 115, 119 спеченная, термическая стабильность 63— 66 Титановые геттсрные насосы Ы8 — 210, 219, 301 Тлеющий разряд, теория 407-412 Тлеющим разрядом очистка внутренних стенок взкуучоых систем 297 подложен 540 — 542 Толщина топких пленок, контроль 134, 159 — 162 Топология (геометрия) интегральных схем 572 Точечные испарителн, характеристики 48— 49, 77 — 78, 82 Травление катодное 076 ВЧ методы 627 коэффициент (клин) травления 618, 629 методы па постоянном токе 626 рабочие характеристиии 627 скорости для различньш материалов 627.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
