Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 181
Текст из файла (страница 181)
116, 123 элементов 49-77 Испарения пинегине гкндкосте6 40-43 кристаллических тверлых тел 43 — 45 Испарения коэффициент Щ 44 †!5 Испарении процесс, контроль 133. !50-!62 Исперения скорость, датчики (см, датчики скорости) Испарения скорость, урзвнение 37-38 Испарнтели вмделенне и поглощение газа ЭИ-305 для непрерывкого осаждеюгя пленок 307-309 для освждеии» на большую площадь 87 — 89 из проволоки и металлических лодочек 49, Я вЂ” 60 с индукционным нагревом 68 с нагревом электронвыи лучам 71-76 тнглн из графита 69-Т( тнглн нз металла 62-63 тигли нз ингриде борн 67-гш тигли из окислов 63-67 характеристики 82 — ВТ Испврительиые конные насосы 212 †!ц 297, ЭО! — 303 Испаряемога вещества поток 37 Предметный уаайателй Камера-обскура 5% Карги»а осадка распыле»»ого материала 385-387 Катод»ого зкра»а роль 42! Катод»ос темное простраиство 409 Кеадруполь»ое магнитное поле, злияиие иа иои»ае Распыление 4!5 Кеалрупольиые аяализаторы остаточиык газо» 336 Кг'"Гц монокристаллический, свойства 506 плавленый, про»»цаемость 244, 245 скорости ВЧ кето»па!о травле»ия 629 термические свойства 63 Физ»ческ»е свойства 503 Кпарцеаые резо»агоры Н5 †!50 Керамические изделия » подложки изготоялекие 496 — 198 иелкозерикстыс 5!О метвллизвция для пайки 206 огаосителькая стоимость 513 пористость 517 размерные допуски %0 тсрыические сеойстоа 530 удельное сопротиолеиие 5!О химическая стойкость 527 (см, также гугоалавкие окгюлы) Кииетическая теория газо» 23-37 К»петхческаа энергия, распре»ел%»е сре.
д» частиц газа 27-29 Клепая»ый аекткль 288 Клипферв манометр 326 — 321 Киудсекопскае испарение 36 Кольцевые испарители 78 — Щ, 87 Кольцевые прокладки »апуум»ые уплот»еии» 269 †2 (см. гак. же соедииепия с прокладками из »пасто»еров и зластомеры) в»олы движения 28! — 282 типовые размеры 272 Компрессии козффациект для »пасто»еров 269-270 Коадеисаторы тоикоплеи%»ые, алия»ье пробой %4 Конденсации козффициеит 40, 111 — 115, 123. !% Коидеисации скорость длп молекул 1!1- 113 Коитроляруемого погона газ» метод апре. деления скорости гаэовыделеия» 233 Коордииатограф 573 Коси»усоидельиыВ запои испареиия 45 — 48, 77 — 82 Крем»ий испареиие с помощью иагре»а зле»трои»ой бамбардирояьай 78 свойст»в мокакристалла 508 сублпмацпя 69 травле»»е топких пленок 609 КРемния двуокиси плеики акодиые 4% »ливи»е бомбардировки злектроиач» иа скорость травления 645 каперские тодщииы с помощью аптиче.
ского датчика 152 получеипе вакуум»мы ис»яре»нем с помощью »»- трепа еиектроииой бомбардировкой Н3 плазме»ямы окислеиием 466 проколы 622 схоросгп ВЧ катод»ого треплев»» 628 629 структура »сверк»асти и смачизаеыосгь 617-619 тра»пеппе 609 Крема»» моиоокиси паров геггериый зф. Фект 305 Крем»»» ыаиоокяси пленки, исперитель для осажде»ия з еакууме 60 — 63 Крема»я ыоиоокись, тра»лепке 609 Крепки» окислы, реактиеиое испарение 1)З вЂ” РМ Криогенные касосы !%-199 Криогегтираваиие 2%, 301 Криозакзат 196 Криосорбпиои»ые пзсосы %9 — 2ОЬ, 332 Криосорбци» атыосферяых газа» 199.
202 205 Криостат ИΠ— 199 Криосубл»ылц»оп»же лавушка 706, 331 Криотроиы тоакаплеиоч»ые, иапылекиа» схема (Фотография) 569 Л Лазерное разрезаиие подложек 535 Лаферти ыв»оиегр (см, ыагистроииый ма .'«ометр с термокатадои) Леигыюра зо»д, теория 363-365 Лекгмюра кзотермы адсорбции 221 — 225 Ле»гмюроио испареиие 38 Лекгмюрово темное простракстео 411 Лиизы с резрешающей способ»остью, ог. раиичеикой дифракцией 575, 581-585, 631 Линий расш»релис в резисщх для алек. тронного луча 638 Листовое литье 497 Маглетролиые манометры с ие»акаливаемым катодом 329 с термокатбдом %7 Магкитиое поле, роль в Вс( распылекки 445 в как»ом распыле»пи 414-416 Маг»»тпые »лепки подложки пригОдные 500 полученные аакуумкым испарением 107 109 Магкиткый привод еа »»одах движеиия 2% Маклеод» манометры 319 — 320 Максаеллл — Боль»мака распрехелекдь 27 — 73 Мв»оыетры 916 — 319, 323 — 324 Маски дл»»апыле»кя 560 — 570 вытравленные кз металлической фольуи %2 — %3 держатели 6%-ббб металлические ил%типы и листы 561-%4 «роиэяолсгао 56! размеры и допуски 566 стекла»иые 563-%4 устройства для автоматической смеяы %7.
309 чистка %4 Маски из дроаолочиой сетки 565 †5 Масс.спектроскопи», идеитификаци» рвспы. ленных частиц 397 Медленных алектроиов дифракция, кспщть. Предметный указатель воввнне прн определения чнстоты по. вермностн 538 Медные пяеннн нспарнтеля дла осажлеиня 62 — 63 скорость ВЧ катоднога травления 629 травленне 607 Меди высококачественная безкнсларалная 260 газы растворенные 301 нспаренмс в вакууме 52 пайка таервымн прнпоямн 255 †2 проклалкн 276 — 277, 330 Мейснера лоеупгка !96-193. 296, 303 Металлические подлажкн ВЮ с нзалнрованнымн паверхнастямн Я1- 532 Металлн гсскне прокаапкн 275 — 277 вакуумные систсз и 299 — З)4 Металлов сварка в атмосфере ннертиога газа 249 †2 Металла-керамические сван 255 — 263 нспользоаанне в токопнолах 278 — 230 Металло-стеклянные спан 26! †2 е элсктрнческих вводах 280 Металлы «ак матерная для вакуумных конструкций газовыделенне 235 †3 газопроннпаемость 242 †2 соелннение с «ерамнкой 266 соеднненне со стеклом 2Ы вЂ 2 тепловое расширение 263-264 й ннровзеешнеанне 141 — !45 вкроплшностнмер 565 Микроскоп сканвруюший электронный модифицированный лля экспонирования рнсунков в слое ревиста 643-644 Мнопэслойггые покрытая, нанесение 307-309 Молекул скорость наиболее вероятная 28 средняя арифметическая 29 сродная квадратичная 26 функция Распределеннп 27 — 29 Молекулярные сита (неолиты), структура н сварка 200 — 203 Молибден газы.
Растворенные 304 гетгерирующне свойства 208 давление паров ЗЖ нспзренне в аамууме 77 пайка твердыми првпоямн 256 пленкн, полученные конным распыленнем со смешением 434 свойства 57 Молибден.марганцевый процесс 266 Маиаатомная ступенька, роль в кннетнке, испарения 44 Монокрнсталлнческне полложкв нзготовление 496 свойства (таблнца) ВН скалыванне 542 й!онокрнсталлы, нонное распыление 385- 367 Монополь — тнп анализатора остаточных газов 337 Мощность рассеянна.
зависимость от ма. тернаяов подложки 531 †5 Нанесение тонких пленок метадвмн катод. ного распыления (см, гл. 4) Направленность потопа нз нспарнтелей 82 — Я Напряжение автоматического смепгеннп прн ВЧ распьшенни 447 Напряжения в глазурованных подлажкак 530 в металло.керамкческнх сваях 266 в металло-стеклянных спаяв 262 †2 термнческзя стойкость подложен 629 Насекавне длм разделенна подложек Я4 Насосы (вануумные) геттерные 206 — 221 диффузионные 185-!95 крноге нные ! 9з-199 крносорбцнонные 199-206 механнческие 180 †принцип дейстеяя 178 — !79 Натрня ноны поданжность в стеклянных подложках Я 8 — 521 Нспакалнваечый катод, использование в нопнзациоаных монометркческнх лзгчм как 328 — 329 Непрерывное осажденне пленок 307-310 Нержавеющая сталь мвркн 25! — 252 пайка 2Я-261 проницаемость 242, 243, 245 снорость газовыделеннн 234.
235 Несогласованные спан 264-2Я Никель, ясоаренне 53 Нмкель.железо испарение нз кольцевого нспарнтеля 87 88 непосредственное испарение 107-109 состав пленок, полученных конным нс парением 389 Нктрнд алюмнння, ненесекне методом нон. ного испарения 442 Ннгрид бора, механнческке н гермнческме свойства 67 — 69 !1нтрнда кремния пленки нанесение катодным вспареннем 442 скорости ВЧ католного травления 629 травление 610 Ннтрндов олевки, нанесеяне Реактивным испарением 441-442 У!нарою испарение методом вспышки 183 непосредственное мспаренне !07 †1 скорости ВЧ «атовного траьлевня 629 сублимация 110 травление тонки» пленок 608 Нормальный разряд 409 О Обработка поверхности подложек 543-544 Обратное катеканне паров нз вакуумных насосов вклад в атмосферу остаточных газов вакуумной системы 292 †2 вращательных с маслямым уплотнением 182 лнффузноннык паромасляных 186 — !83 ,ндентнфнкацня с помощью анализа оста.
точных газов 337-338 нзмеренне скорости !92 турбомолекулярных 185 Обратный поток паров масел вакуумных насосов в распылнтелы1ых системах 426 — !26 2!))вдмбтаыж !(ййййтщйа Общего назначения аввыантеаьмме снсте. мы (см. вакуумные системы, Разборные) Объектнр длз фвтоуменьюевня кннообъектнв 578 мнкраскопнческнй 5?8. 632, 634 рещюлукцпонный ЭП, 831 — '63( Объектнны мнаголннзовые 562 — 58э Одвородность толщины пленок осажденных П вЂ” 59 болученных конным расныленнем 421 — 423 3 же-спектроскапнн 399 кнсные пленки влнянне кяслорада нв вегвпгвные фОторезясты 602 — 634 получение входным окислением 48!†!85 нспзреннен в нвкууне 90-!01, 111 †1 реактнвным нспвреннем 439 †4 3 мегвтроны 336 — 336 рпгнпал для нзгатавлення фотоюаблона 572 — 573, 381 Орнгннзл, устаяоваа для нзгптовлення с управлением от ЭВМ 573, 581, 637-618 Осажленне нэ нароеой фазы 474-480 Осзжденне с Использован»ем «сжн!кенкого» слоя, аппаратура 477 Осажденне танках пленок методом нспареинй а вакууме (см ' га.
1! беар сущастнующвл мпищов 437 в 39 нмнчесхнмк метнвэмн (см. Тл. 26 Осажденна скорост~ ДЭТЭИКН (СМ СКОРОСТИ АЭТЧЕКН) Вейтрпль (щ †!62 Остаточные газы в вакуумных снстемвх ае(гватмвсчъ ваащзвщэв 383 ° зэямодейсгзаа с аврама осаждаемого аер(ествэ !Рд пб дннамаческпе Равно»еснэ И2 — 295 Ортаточких газов Внвдав 33! — 334 ййэерпретэцпя спектра 387 вЂ З Остаточных газов зааавваторм йнЭпезоим месс ВЭ4 квбнбреягл 338 прйкпипы дейстзкя 331, 335-337 рээрйюенае 333 скоРОсть сквянровзнае 333 тнп(4 334 — 337 чувствнтельвссть 332 ОстатОчньи гзэоя вакуумных снстем астр кн впбтуэльные течи 31! (см. также обрей !9 натекамне! г ерние насосы 203 (см. так!не эрго»- Г вя нестабнльность к пзмятн эффекты Вонных насосах) бринзэцнопние мвнометри 330-331 буйврктелн 504 м97еалнческве стенкн щ5 е ессм прОнннаемсстн 244 †2 с(ейлянние стенки 236 омерм 237 — 239 яолйчества в змнюслое едатомов, состав в свстемах отначнваемых 226 нонне-нспэрнтельнымн насосэмн 2!5, Рю нонне-распмаателымзм» насосамв ЮВ, 296 кряосорбцноннимн нзсосамн 203-406 рвэборнынн еысокоеакуумвммя свстемами 197, 296 сверхщйюкпвввууммымк снсгчмамн 333 стенляннымп срстюяан» 245, 300 неоднородное распрэделеяяе 330 частота столкновэная молекул е аоверхВостью 111-112 Осцнлляцнонная модель Испаряющихся атомов 41 Отаачкн бъмтрога, Определенае 179-1б) Отквчкн урвзненн» вывод 292-293 дла интервала от низкого до срэхвюо вакуума 181 для процессов нонной Откачкн 213 учнтывающне процессы адсорбцвн н де.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
