Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок (1051257), страница 180

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 180)

С., Зо96 З[а(е ТесЬпо!,, 10 (!2), 33 (1967). 1.оче ггпу, Н. В. !и С. й. На псе (ед.). "И[та-ти!стоит!п!а!пг!хаВоп Ргесндоп РЬо(одгарЬу", р. !79, Зос(е(у о[ РЬо(о9гарЬдс Зс!еп1!з!в апд Епд[иеегз, 1пс., %азМп8[оп, О. С., 1968. А!1 пт а и, Л. Н. атЫ Н. С. 6 сЬ тит11, Лг., 1п С. й. Напсе (ед.), "П1. га-писгоги!п!а1ыг(хв1топ РгесЫюп РЬо!о8гарЬу", р. 24, Зос1е1у о1 РЬо.

1о9тарЫс Зс[еп!!з!з атн1 Еп9!иеетз, 1пс., %азЬдп9!оп, О, С,, 1968 паг Ргос., 1968 ед., чо!. 2, р. 12. Ь н, 3., Ргос. !ЕЕЕ, 56 (1), 116 (1968). Р[е1д, й. К., Е!ес1гоп. Осз!бп, 14 (!5), 17 (1966) К а р!а п, [.. [т[., Л. РЬуз. СЬеит., 68, 94 (1964). Зп1!1чап, М. Ч. апд О. А. Ко! Ь, Е1ес1госЬеит. ТесЬпо!., б, 430 (! 968). В г е п п е пт а и п, А. Е., А. Ч, В г о тч и, М Н в 1 х а [г[ з, А. Л. 3 р е ! Ь апд й.

Р. М. ТЬогп [в у, [ВМ Л. йез. Оече!ор., 11, 520 (1967), Реазе, й. Р. 1Ч. апд %. Е, Нт хоп, Л. Зс!. [пз[г., 42, 8! (1965). Регх[ из, К. О. апд Вепие(1, Кодак РЬо1огез!з! Зепппаг Ргос„ 1968 ед., чо1. 2, р. 39. ТЬогп!еу, й. Р. М. апд Т. Знп, Л. Е1ес(тосЬеит. Зос., 112, 1151 (!965). 1.аг[т[п, М, %. апд й. К. Ма11а, Зо!!д.З(а[е Е1ес(топ., 10, 491 (1967).

К и, Н. У. впд 1.. С. З с а 1 а., Л. Е!ес1госЬепт. Зос., 116, 980 (1969). М1уансЬ1, 3., К, Та па1га апд Л. С. й паз, ЗоИд 8[а[а ТесЬпо!., 12 (7), 43 (1969). С'Кее[!е, Т. \Ч., Л. Ч[пе апд й. М. Напду, Ех[, АЬз1г, О!е!ес1 ° псв 1пзн1. О)ч., ТЬе Е!ес1госЬепт[са[ Зос!е1у, [пс., зрйпд гпеейпд, Во- з1оп, Маза., Мау, !968, АЬз[г. 165. С'Кее![е, Т.

%. апт[ й, М. На иду, Зо1!д-З[а1е Е1ес1гоп., !1, 261 (1968). ПРБДМБТНЫВ У)(АЗАТБЛЬ беррацнн оптические 576, 579 втанонпый микроскоп %9 дгезиа тонких пленок методы для определенна частоты по. верхностк, механические испытания 5%537 дсорбенты (сарбнрующне материалы) 200 дсорбированнме атомы время жизни 222 диаметры 224 монослой 220 энергия связи 222, Жб. 229 Адсорбционные изотермы для области низких давлений газа (закан Генри) 224 Лаигмюра 224 — 226 прн криосорбциоинай откачке 199-200, 203 †2 АдсооБбционные лавушки 182, 189 — !92, 201- Адсарбция газов иа тверлых телах 221 — 226 Аккомолации коэффициент 40.

!13 АлюминиИ давление паров 21 23 нсперителн 69, 70 цроволочиые йрокладки 275. ЗОО Алюминия окись механическая прочность керамики 256 монокрисгалл, свойства Ы8 †5 относительная стоимость подяожек 643 свойства 65, 608-509 поры в обвеме 5!Т вЂ” 5!3 текстура поверхности 5!Π†6 Алюминия окись, пленки, получение анадиым окислением 481 — 482, 485 испарением электронным лучом 9) осаждением из паровой фазы 466 термическим выращиванием 485 Алюминия ллеики. сиорость ВЧ катодиого траалепнн 629 Аннзотролия магнитных пленок, влияние подложки 515 Аноднае окисление, формирование пленок 481 — 485 Аномальный разряд 409 Апертура, числовая 574 Аргоа) захват пленками, получаемыми методом ионного распыления 370-371, 435 Арганная нестабильность 216 — 217 Арсенид галлия испарение методом вспышки !26, 131 испарение методом двух испарителей !22. 123 Арсенид индия, испарение методом двух нспарителей !73 в Верня тнтаиат испарение методом вспышки 126,!32 реактивное испарение 113, П8 Баярда — А,тьперта маяометрм 325-320 откачиаающий эффект 212 Бериллия окись, спеченная, термические свойства 53 Бойля — Мариотта закон 3!9-32) Бустерные насосы 194-195 Быстрые нейтральные атомы 435 коэффициент распыления 374 Вакуумные системы непрерывного нанесения пленок и дла многослойных покрытий 305-309 остаточные газы 296 откачив 292 — 2Щ разбарные 295 сверхвысоковакуумиые 294 †2 конструкции стеклянных 299 остаточные газы 301.

303 откачка 302 с металлическими проклвдиами 300-30! Вакуумные соединения 246 влияние иа предельный вакуум в ваку. умных снстемак 295 †)Ц ф)7 — ЗО! во вводах движения ш) †2 металла с керамикой ЖО-ШЗ металла со стеклам МИ вЂ” 2(б ивяные мягким припоем 254 твердым припоем 255, 2(9-261 резборные 268 †2 с органическими компаундами М8-269 Вакуумная техника (см. гл. 2) Ваиуумные уплотнения влияние на предельное аавление в ваку умных системах 295 †! для вводов движения 23! — 283 разбориые ШЗ вЂ” 2ТО с металлическими сильфонамн 263 — 284 Вакуумные шлюзы 308 Вала уплотнения 272 — УТЗ в вентилях 286-290 во вводах движения 261 †2 Вводы высоковольтные 278 передачи движения 28! †2 с мегнятимм приводом 284 †2 с механическим приводом 28) †2 снльноточиые 278 слзбогочиые, низновольтные 279 Вентили вспомогательные 290 высокова«уумиые Юэ прогрев«смыв 290, 301 †3 форвакуумиые 286 Внртуалыше течи 311 Витонэ А прокладки механические свойства 270 проницаемость 244-245 разэоженне при повышенных темпервту.

рзх 237 скорости газовыделения 238. 297, 299 Влажность адсорбция нз поверхность подложек и связанные с этим эфФекты 522-523 Внутрен«не соедин«ими, тонкопленочные, влияние ооллаж«н ЫЗ Воздух, «зрцнальмое да«евине газов 245 Вольфрам во«аренас в вакууме 77 пайка 200. 250 свойства 57 скорости ВЧ «атодиого травления 629 Вращательные насосы с масляным уплотнеянем 180 — 183, 295 Врекя жизни здсорбированиых атомов, зависимость от энергии десорбции 222 Время пролетное, авализзтары оствточнык газов 537 Вспышки, испарение конструкция иснарателн 133 кантрпаь состава 122 метод 125-133 механизм подачи испаряв«ого вещества 130 таблица сведений об испарении различных веществ 126 — !29 характеристика испарателв 86 Вторичной электронной эмиссии «озфбз».

циент 407 Выращивание из паровой фазы 474. 479, 487 — 488 Высокочастотное «ажщное распылеиме 443— 448 (см. также креынкл двуокиси павк«и, ВЧ расвыаенне! Валкий поток газов 33 Газа давление в расвылителыгых системам, выбор 427 измерение в вакуумных свстемак 316 интервалы !70 кинетическая теория 23 мвмометры дан язюсюмм в све1щнысаиого вакуума 323-32$ манометры длв вжзкого к срелиего ваку. ума 316-322 о«избив 370 Газовое анодирование.

скособ получения пленок 485 Газовыделение в вакууинык системах при отжиге 297 Э04 в системах 292 — 295 из геттериых нлысоа $79 на нспарнтелей 304-305 из материалов в вакууме ВИ-ЭЗЭ Газовыделения вакуумиьщ материалов зависимость от времени 294 металлов 235 †2 с«орость 2ЭЭ вЂ 2 ПреджетйыА уддййтбцб стекол 236-237 «лвстомеров 237 — 239 Газовыделения процессм за счет десорбцнн 226 †2 за счет диффузии П9-233 (сн. также проницаемость) нилуцнроианные бомбардировкой попами 212 †2 герм«чщпн вктивированные 210 211 Газопоглошеине парами аснар«ского веще.

став 115. 306 Газы вдсорбция на твердых телах 221 †2 вероятность ионизация 32Э вязкость 33 диаметр молекул 32, Э4 зависимость тыхлппроасдносгн от павле. нии Э20 кинетическая энергия молекул 53-М поток 33 — 37 средняя ллннэ своболаого пробега маза. «ул 31, 32 частота столкновений молгжул с поверк. постыл (см частота столкновений ча. стнц газа с ноаерклосгью! через течи 311 Гсллеэач течь «ел«Проев« зз ЭН вЂ” ЗИ Гелиевый течеискатель 313 †!5 Генри закон 224.

229, 240 Герца — Киудсшы уравнен«в 37 Геттерироезиие парами осаждаемого вещества 115, 305 кнмическое 207-210 элекгрвческое (ионное! 210-215, 219 Геттернрующие металлы 208 — ВЮ «геттерное» распыление 430-432 Геттерные насосы 206 — 221 Гидриды. использопввке в рев«твввом рзс. пЫлег1Н« 442 — 443 Гнлрофильный метод жыученмя ващюк н(0 Глазурованные подложки 498. 530 Глубвиа пронекновенив распыллющнх ао. нов 354 Графат. Флзнчесиае свойства 69-70 Датчикм скорости 134 — 158 влияние температуры подложке !20-12Э данные по «спаренвю разя«тима вещее П5 — 122 Дауа повара«елей.

з.етца а*парс«па 116 125 ем«остапа !53 ионнзационный !34-1Э9 кварцевый кристалличесяий резонатор 145-150 контроль составь 117 нв основе мнкровзэешнванмя 141-НЭ оптический 154-158 соироти«зев«я (я — 154 эфбыкт давленая молекул !39-140 Демпстерз анализатор остаточных газов 334 — 336 Десорбция изотермнческая скорость Ж6 — 22$ скорость «р» гнжы геенам тщныра гуры зиергня активации 222 Днодиые ионные рвспылнгельные насосы ЭП Днсгоаые вентил» 286, 287 Пбфдшбка53й бцазауедь Днсцрено!щпоннровввне, способ осаждения пленок И5 $ нссоцнвция соедннеииВ 26-101 ифрвкция, нвлеии» в производстве фото. шаблоноз 584 Диффузии коэффициент, температуривя зависимость 231 — 2Э2 Днффузвонвые насосы в высоковввуумных системах 293-Эй конструкция 188 отражатели и ловушки !88-103 принцип действия !85 — 186 рабочие жидкости !36 — 187, 191 — 192 рабочие хврактернстмки 193-195 Ртутныв 194-300 Диффузия гвзов.

растворенных в твердых телах 220 — 233 дифференциальные урввнения 2Э( роль в эффекте проницаемости 241-242 (см, также поверхностная диФфузия) Днэлентрнков пленни, получение ВЧ распылением, свобствз ИЗ испарением 90-101, 118 реактивным распылением 439-441 Диэлектрические пленки (см. также изолирующие пленки! Диэлектрические свойства подложек Н)Э— М9, 521 Дьюара ловушки 163 Е Емксстные манометры 3!6 Емкость рассеяная 522 Затворы 287-НЩ Затрудненный рвзряд 410 Эолотые проволочные проклалки 275 Н Игольчатый кетеквтель 93) — НН Измененная область иа поверхности мише. ни прк ионном распылении соедннеиид 453 Изображение, контрвстиость 576, 579 Изображение мнимое, оптические свойства 573-577 Изображение, ресширеиное в пленках фо. торезиста в зависимости от толщины плеини 615 обусловленное передержкод 601 обусловленное расходимостью пучке све.

тз 601 обтсловлеицс» явлением дифракцни бщ Изображения в фоторезистц достижимое РвзРешение 5!Т, 614, 617 Изолирующие плейкн, снособм псаучеиия внодироввнкем 481 — 437 ввкуумиыи испарением 92-101„118 ВЧ распылением 541 ревктнвным распылением 439 †! термическим вырыцнввиием 465-467 Импедаисов скенз согласования ещ Индиевые проволочные прокладки 278,МЭ- 297 Иидукцнонвмд нагрев лля пайки 256-259 нсяврнтелеб 68 Инертные газы. внедрение в мишень в процессе ионного распыления 370, 436 толщина скип-слоя 258 Интерференция, явления в пленках бюто. ревиста 632 И нтерферометр лазерный 581 Ионизацин ток в внвлнзатарах остэгочяых газов 332, 338 ионио-распылмтельных нвсосвх 219 манометрвх с термокэтодэми 324 Ионизационные манометры измерение ошибок 330 — 331 (см.

также ниже реитгеиовски3 порог) нсподьэованне дл» контроля скорости осзждення 134-139 испольэовзиие для поиске течи 3!3 калибровке 320 принцип действия ЭЮ-326 реитгеиавскнп порог 325 †3. ЖЗ вЂ” 329 с иензкалнваемыми катодами 326 †3 с териакатолеми 324 †3 Ионизацнщшые нвсосы 210 †2 Ионизация обычных газов, веРоятность 324 Ионного осаждения теория 392 — ЭШ ионное осаждеине 4ш «ие прострел 398 (см. твкз)е гл. 3 в 4) со смещением 432-434 с помощью ионных пучнов 430 Иоииоп оболочнн толщина 411 Ионне-рвспылнтелькые ивсосы 215 — 221 Ионные пучки, испольэоввние для копыто распыления 370-371 Искривление бочкообразное 563 Испарение методом вспышки 126-!ЗЗ методом двух испаритслеВ И — 125 окислов 97 — 101. )И-ИЭ очень чистык металлов 305 при тлеющем разряде 471 реактивное 111-116 соединения 89 †1 )П 1) саединеииП группы А — Е 100-101 сплавов 101-104 квлкогеиидов %-97.

Характеристики

Список файлов книги