Электроника и наноэлектроника (1037622), страница 2
Текст из файла (страница 2)
3- «нзд.. Иср«рйб. и . Ки! 51.: Машнносгросннс, 2009. 590 с. И?К4. 8. '!'Всрло[сш,н;ш )лск[р(н[нка: у [с(«нособнс.шя в)зов,' Гуртов В, Л. - 3-С нш.. Дон,- 1 ';носфсра. 200Х. - 510 с Фо)0.).!«к(роникй Л(шнснко В. Л., Мовннн С.
М., 11ротасов К). К). - М,: Изл — во ")!Иус-К". 2010, - !'.)лсктроникй. Приклацная з)[сктроника), Ч. 1. - 2010. - 653 с. 10, Фогозлсктроннка, Астаиснко В. Л., Мовнин С. М., Прогасов !О. 1О. - М.: И[д — во "?!нус-К". 2010. - !')Ясктроника. 11рикладная з[[сктроника). Ч, 2.
- 2011, - 663 с, ,'!ИС! ~И112!ИИЛ 2. Проекн)н)?оеанне ооорудованнн знектронной н)ехннкн Мс[ оды нрОскгирования '!'схнолОГич('.скОГО Оборулования;[лЯ [шлучсниЯ «уОмикронных и ншшразмсрных структур. Системный подход к выбору о[ггимальных тсхничсских рсшсний. Ос(гбс[шос ги проектирования многомодульного !кластерного) оборудования.
Системы кои[родя н управления процессами обработки в технологическом оборудовш[нн нансссния и равлслшя «и ! ори[шов, 11ро«ч()ированнс тр шс[н)рпщго и машшулянионно[о оборудовгишя но кригсриям ))щ([[,(д [ьн(Ш нрищнх:нх(ОЙ лсфскгн(гоги. Мнкромсханнка н мсхатроннка в «ос[вас нр«ц[[;ионн(во 00оръ,[овш[иЯ ш«КГронной [схиики. МсГолы п)х)сктирОВаниЯ Высоконгц[сжн0(0 обору;аиишия на основе нс)нн(ьзовання устройств псрсмсщения, нс содержащих иар зрения: )лсктрнчсскнх, ма! Ии н[ых. с ) нру! Ими силами и др. 11роб [смы комнлсксной автоматизации производства на современном уровне.
Обшис нринци[[ы йВ[ох)ВГизацни 060рудовйния. Автоматически«линии В цроизволстВ«изделий )лск[ронноЙ тсхннки. Обсш[счс[шс н нодлсржйнис в чистых номсшсниях с)тсды с зйданнызи! нарамс[рамн, 11робдсма иривносих[ой лсфсктности прн производстве СВИС.
")ко.нинчсскнс йсиск[ь! субмикронш)й и нйнотсхноннии. Принцицы органи[ации чистых пронзволствс)шых номсп[сний. 3сх[н):нина н оборуловаш[с Лля получения и)иких нлспок в вакуумс: гсрмичсскос нсна)тз(ис„).шк) ро[нш-луч«вос ис[шрсння. ВысОкочастОГИО(.' расцьн[снис ли:)лскцв[ков. ш:.н:[рошш«ра«иы.[сни«х рсакпнншс и(щнос раснылснис. Особ«ннос[[! [[Роск[ировання. рас~[с~".! и мо.ш;)ирования )"!.И)в и сисГсм [схно;[0[ич«ско[О Ооору[!Овйш)я на([(.«(.ния нлснок. Мс[олы и оборулованис осажлс[пш нлснок «щжн(но со«(ава.
рсактнвнос расиь[:!«Иис к[а!'Ср[[а.[ов. ')!)( р .(0(),.н([[с лля но.[у [ения и[ни[ксив:[ьных слоев. 11ринциниш[ы[ыс с, смы нр(шслглпш )шзгакснальиых нроцсссов. 1!ромышлснные методы )нитаксиального наращивания и ви,[ы нримсняск!Ого ооорудования.,)цитаксия цри нонижснных давлсниях. К[он«)кулярно лучевая )нн) йксия. Оооруловш[ис лля созлйния р-ц нсрсхо;[Ов. М«толы [и)луч«ния [[СРСХ()ЛОВ. )С)СРО[[СРСХО)ШВ 8 Н«!?СХО,[ов МСГЗЦ[Л ПО!)У[Ц)ОВОДНИК.
[!ИффУЗИОНИЫС МС)0 [Ы :[с! и!шв,)ния 1роннос )с! н!)иванне [нмн))ан(вн[и!). Ооорудовш(ис,!)[Я нро[шссов ионной имн.[а[[[а[[и[!. Ооой)ловй)нш Ч)йвлсния к[икрострукгур: воино(... рвйктивнос ион[и)с плазмохимичсскос с ис[н)льзованисм носах)киного тока, ВЧ и СВЧ разрядов. Особс[шости нроск[нро[гания и молслиров[шия процессов. узлов и систем обор)7[овация, Мс голы анизо!роннэн о травления полупроводников. Современное ан шитичсское вакуумное оборудование. Вторично-ионные массГи!сктромсгры, Оже-спектромстры.
оборудование, использукиысе реипеновское и лазерное ИЗ;Гэ'ЧСНИС. ,'1й?0! 1)афичсскос 1»!)1)рэ;и)вгн)йс В н!»ойзводстве !голу))роводниковых г!риборов. СГНИВ 1ВГИ110:1ьн)*!и' а!!!Ьн!! н!»сг)с.!ы1!»!х Воз?иожностсй нрО!Гессйв )н)тОграфии, 1»снованных на нримснгннги ультрафиолстовоп). Иазернгно и рентгеновского излучений.
Ълектронных и ио)шых пучков, ',)!Ск!ронная литография. Классификация и принципиальные схемы злектронной нр01кпйонных усъиговок:):!сь!роййоЙ ~йтографг)и. Соврсмснныс и!»оолемы ,1!)И.ген!!Ии Лазай!'йя 'хгскт!)онной лйтОГ)ъафий. Осйовйые п)ъоблемы ги)злайия й Вйедренйя р и ! ! оно веко! О:НГ! ографическоп) оборудования. Состав рентгснолитографичес кой уи ановкн, Исгочники ргнгпсновского излучения. шаблоны лля рентгенолитографии. Ионно-лучевая ли!01 рафня 1ИЛЛ). 11аправ.)ения развития оборудования ИЛЛ и ээсэ»б?с) ?ис1 И соз;!ання сис)см экспонирования ьоллймированйым ионным пучком 1И11), эс) рос фокэсировгошым И11 и снс'гсм молулыи)й ионной нроскпии изображения.
Конструкции и с!)ИВиитс,*1Ы1ые х!ц)а1ггсристики ионных источииков, ОтклОиякмцих и скани)ъу)ощих сис»'см. сися ем ускорения и фокусировки. Перечень еоирг?сов !. ')»Гн!ы ра!раб)нки технологического оборудования. работы поискового. Теоретичсско!о и ')кснсриыен'га.*н»н01'О харак)сра; 2. Модт:!ьная сис.! Сма нос ц)оения техиОЛОГическОГО 0001»уъХОвания для 1гроизводс)ва из:1слйй мйкро й нано)!Скгрйййкй. Струзгтура технологйческйх модулей !Къ!ас!С)ъов).
гсрсхо шых мо:!улей или и!)позой. Кластерная платформа ИА110ФА!» !ОО: !)!!!»)в),!й С»1С1ВВ.' .э, Ис)дэ,!Ныс положения гсории производительности магнии. Иримсрь ирак! ической рссс1изгнгии ')ео!)ии, ноказа1сли )цъоизВодительнос!и технолО1'и»!сских машин; !!?Ве ! ИчсскаЯ, цикловаЯ и '!Сх)го!Им ичегкая !)рОйзводи!С»зьность.
рабочис и холос!ыс ходы !о!)срапии): совмс!псиные н пс сонме)данные: 4. 111?к!!1! Ге;!и нй,:!сэжнос!и ма!Гн!й: безо!Казнос ! ь, ремо)поп!ъй! Одйость. до.'!Говеч нос гь. сохраняемость, мсгоды расчета ноказагелей надежности 1ГОггт 27301-95) нли сб ком!1?!Сксн!»!х нок)1)а )1.'. В'и: !)с!»1)сннос?и нос)роения кинсмагических пеней.
переда!очное отион!ение. уравнсшгя бэ.~.,)а!В»!. )вснья нас!1»ойгн! ри у.)йрусмого !Цъивола. Оесс)унснчатая йас!роЙка; двй!агс.!й, в!ц)иа10ры'„ 6, Чехаййзмы поворота и фйксацйи карусе»зыгых маийй, ку!)ачково-роликовый меха)нс)м, ма.ьтнйский механизм. Взаимосвязь геометрии механизма и параметров движения '01ГН1ОВКИ; 7 Ь!сх)1)ронный ).!ск!роыеханический привод, структура х)сха)р!и!ино мо.гля, !и!Ин!ь)с с" смы.
110)рс?нное!и кннсмгпичсскйх нгл1! Й. 1Ц)йволы точных нс)имсисний: к!Вссификання. ь!ч!!?Инге:н,н!!с харакгсрнс!Ики. Ирях)ая и ооратная зачачи нри о!Тснкс ногрснни)с!Сй ки нема гичсских пеней; О, !'оль систем микро- и паноперемегцений В области нанотехноло!Ий и их место в СОВРСМСННОЙ НаУКС И ГЕХНИКС; )О. Исновныс грсбования. предъявляемые к приводу точного позиционирования для нр).*ни)ион)нн О исс:!сд!)ВВ1сл)~ск010 и )ехнолоГического 000)ь),.'1ОВания; 11 Фигичсскис нринпины рга»0)ь! основных )ннов приводов »очного позиционирования.
12. Критерии проск)провалив приводов: по)решность позиционирования. лолговечпосгь. :)ро шогггь и кивок)а)$$»)сская точность; !» Б )вссификация сис)см ВЯОРОизо;)Яппи ОБОруловаииЯ и с)щсс!в)киппс С$$осООы зш$и)ы ~$$$!»Р)и)ии' 14.1)споил))с )ицы ла)чиков для измсрсш)я цон)жсп))Я. )скорспия и скоросги объск)а $И:зцци$»)п)ронапия црщ)изпоппых мехапизмов.
а так)ке меголы обрабо)ки си)иа.)$)В с да)чикоьц ! 5, СКОК!!»! $кгстроепия приводов. миогокоординатные ыехагшзмь) последователи)ой и парса!:)сльной кинематики. манипуляторы; 1$!.!)$:пои!*! теории авгох)$)ги»)секо)о регулирования и управления. принцицы построспия 'пс ! см )з)рав:!си их !$рсцигп)опным црнйо;н)м; 17 «и»ц)мика $$!В)во,щ, в),$$$)яс)с)цп,)с ко))Оба)$5)я: !караме)ричсскис и ав)око.')ебап)$Я. сок)сп)с)шая часто Га Вра)цакипсГОся Вала, расчет по метод)" 1 ')))ся, кр)$'$ичсская час'! $п а Враи)ения Ва))а; 18. Сравп)$)с))ь)$!»)с характеристики гилропривода и пиевмоцривода: развиваемые усилия. ; корос ! ь перемещения испгщпительпо!.о устройства, время срабатывания привода, !)$3!.$ас $ и примеис)гия прив()доьч ! 9.
Ус ! Рой)с! Ва ииора)ц)о)що! о грапспо!г! провалив, касссгировапия и загрузки ))икр»" хомцонгл! ГОВ ) )ск гр0$И$ых црибо«)ОВ $)в И$)".!И!!и)$ соорочных $$втоматогц .$) ! ! )а$)с)арцы!' и ИОИЧ»ро! иыс мсханизмы л)я В)гутр)икамерпых $)орск)еще)$$)й В Вак) ум))ых цапьии тельных установках. '1иповые конструкции приводов и вакуумных )ии)дов дви)кепия в вакуум. $.)с)$!)Впа)! !'Чс'г)иая 5!!!5))е))а)г!)Ра Машипостроспис. '.)Ициклоцедия, Раздел 1!!» том !И-8. Тсхноло)$)я оборудования и системы управления в злектро))иом машинос)роении, — Мл Мап)и~осгрос~ис. 20О0, — 744 с. Ме)о)$!»$ )$$Г)о)рафи)$ в наноиижсиерии: тчеб, пособие,' В.В Макарчск И 3 Ролиоиов.
Ю.Б. 1«ветков. - Мл Изд-во МГТУ им. Н.'.). Баумана. 20! 1. 170 с, Высоковакумныс технологические процессы в $$а))оиг)ягеисри)$: учсбли)собис К).В.1!В$)филов. 82М. Моисеев. В.!1. Михайлов. Мл Изд-во М1'ТУ им. 11.'). Ьаумаца. 2011. $)акуум))ВЯ )сх))их!!: сцрнво )пик пол общ, рсл. «212 Дсьгихг)вв, 10.В. 11аифилова, 3-е изл.. $$срср$$$).
и доп. Мл Машиностроение. 2009. 590 с. ил,4. 5. Волчксвич Л.И. Автоматизация производственных процессов: Учеб, пособие, Мл Машинос гросцис, 2005. 380 с. .7!)иг)гп$5)иге))ьиа» )»чед)!!!5! . )а)пе»ражу)ва 2. 5!$)п!.$$лс$$$$$пй» 1сс!)И$)!!»8»)сь $ог Мас«$)пся о1 рпе 1ц)пгс.- Брппйег уег1а8 1)ег!!и 11е«г«С1«)сг8» «чей Уог«з 2003. 820 р. ' Г«)ар)сг 14. 1!!ее!гоп)с Уасццгп '1ес«)по«$)8«еа 1..1УО1с«$«$ся)с!$. ').У,РапГ)!$)т.- Р.413-448 3. 11анфилов К).!3., Рябов В.Т..! «Встков Ю.Б.
Оборудование л))я производства микросхем н промьццлециыс роо )!!*!. Мл!' )дио и связь. 1988.- 4 Волчксвич 3$!.И., 11апфилов Ю.В,. 1«ветков Ю.Б, и „$р. ')лектропиос мапл)$$$)с!роси))с У гсбпое пособие. 1«ол рсл, Волчкевича Л.И. Мл Изл-ВО М1 "1У им. 1!3),Б$$умапа. 198'). 128 с, 5. Во!шкевич Л.И., 1!анфилов К).В., Цветков )О.)', н лр. ")лектроннос машиностроение; У гсбпос пособие.
Час и, 2..М,: Изл-во МГ ГУ им. 1Г) (!лумана, ! 991. -- 132 с,. ил, Г)РИМЕР билета письменных всгуиительиык испытаний ЬИЛГ Г В("ГУ! П!'Г1:..!(Ы11!!Х ИС11ЬГГА!1ИЙ В МАГИСТРАТУРУ ПО НАПРАВЛЕНИК) 11.04.64 ')лектроиика и иаиозс!елтроиика Вопрос №1. Зави~~~ост~ )дельного потока газопроницаеыости через тонкузо стенку оз !сыпсра !уры и давления газа...................,..........,.............,..........,...,(10 баллов), ..
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
