APG-100-RUS (1032057), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Если нужно провести настройку вакуума – см. пункт выше.Замена фильтраМЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИНе проводите очистку внутренних компонентов и поверхностей трубки, т.к. при этом можноповредить катод.Фильтр установлен внутри вакуумного фланца и обеспечивает защиту от технологических загрязнений.Чтобы заменить фильтр, проделайте следующие действия (см. рис. 11).131. Отключите кабель питание и проведите напуск вакуумной системы до атмосферного давления, затем отсоедините вакуумметр AРG100 от вакуумной системы.2. Используя шипцы (или плоскогубцы), снимите пружинное кольцо.
Старайтесь не повредить уплотняющие поверхности фланца и компоненты внутри измерительной трубке.3. Выньте и утилизируйте старый фильтр.4. Установите новый фильтр в трубку вакуумметра, а затем установите пружинное кольцо.1.2.3.Трубка вакуумметраФильтрПружинное кольцоРисунок 11. Замена фильтраЗамена трубки вакуумметраЕсли трубка вакуумметра стала сильно загрязненной, так что настройка вакуума и атмосферы не выполняется корректно, или если сгорел катод, тогда нужно установить новую трубку.Чтобы заменить трубку, проделайте следующие действия (см. рис.
12).1. Отключите кабель питание и проведите напуск вакуумной системы до атмосферного давления, затем отсоедините вакуумметр AРG100 от вакуумной системы.2. Выньте пружинное кольцо со стороны вакуумметра3. Выньте трубку из блока электронных компонентов.4. Установите новую трубку в блок электронных компонентов, соблюдая корректную ориентацию5. Установите пружинное кольцо.1. Блок электронных компонентов2. Пружинное кольцо3. Трубка вакуумметраРисунок 12.
Замена трубки вакуумметраПосле установки новой трубки необходимо выполнить настройку вакуумметра на новую трубку – см. раздел Настройка для новой трубки .14Поиск неисправностейНеисправностьИндикатор не горитНекорректные показаниядавленияДатчик указывает наошибку калибровкиПричинаНекорректное напряжениепитания или полярностьТечи в вакуумеСмещение показаний трубки– нужна настройкаТрубка загрязненаНастройка проведена принекорректном давленииУстановлена трубка некорректного типаУстановлена новая трубкаДатчик указывает, чтосгорел катодСмещение показаний выходит за пределы диапазонаее нельзя больше настроитьТрубка неисправнаУстановлена трубка некорректного типаСгорел катодСпособ устраненияПроверьте подачу электропитанияи соединения.Проверьте герметичность вакуумной системыВыполните настройку вакуума иатмосферыЗамените трубкуПовторите настройку, но следите,чтобы давление или точно равнялось атмосферному или обеспечьте хороший нужный вакуумПроверьте, что установлена трубкакорректного типа (М или LC)Выполните настройку для новойтрубкиЗамените трубкуПроверьте и установите трубку ипроверьте электрический разъемПроверьте, что установлена трубкакорректного типа (М или LC)Замените трубкуУслуги по калибровкеКомпания Edwards предлагает услуги по калибровке для всех типов вакуумметров.
калибровка выполняется путем сличения с контрольным (эталонным) вакуумметром и соответствуетнациональным стандартам Великобритании.ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯУтилизируйте вакуумметр AРG100 и все его компоненты в соответствии с национальнымитребованиями по защите окружающей среды.Вы так же можете сдать прибор и его кабели на утилизацию – обратитесь к представителямкомпании Edwards.Вакуумметр APG100 и его кабели соответствуют требованиям Инструкции для стран Европейского союза по утилизации электрических и электронных компонентов 2002/96/EC.
Компания Edwards предлагает свои услуги по утилизации компонентов вакуумметра APG100 поокончании его срока службы – обратитесь к представителям компании Edwards.Следует уделить особое внимание в том случае, если вакуумметр APGй00 мог получить загрязнения при работе с опасными веществами.15ЗАПЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИВведениеПри заказе, пожалуйста, учтите, что при обращении требуются:модель, наименование оборудования, номер изделия или запасных частейсерийный номер (если есть)ЗапчастиЗапчастиСменные блоки электронных компонентов дляAPG100-XMAPG100-XLCСменные трубкиAPG100-XM NW16APG100-XM NW25APG100-XLC NW16APG100-XLC NW25Набор замены фильтраНомер изделияD026-01-800D026-03-800D026-01-801D026-02-801D026-03-801D026-04-801D026-01-805ПринадлежностиНиже представлены подходящие к вакуумметру AРG100 кабели.
Эти кабели имеют 8 – штырьковый электрический разъем (вилка) на обоих концах.Кабель длиной0,5 м1м3м5м10 м15 м30 м16Номер изделияD400-01-005D400-01-010D400-01-030D400-01-050D400-01-100D400-01-150D400-01-300Возврат оборудования Edwards – инструкция(Форма HS1)ВведениеПеред тем как вернуть оборудование, Вы должны оповестить об этом своего поставщика, если то, что случилось сВашим оборудованием, может быть опасно.
Вы должны действовать в полном соответствии с законами.Вы должны полностью заполнить Декларацию (HS2) на следующей странице и послать ее своему поставщику прежде чем Вы отправите оборудование. Если Вы не выполните это требование, ваш поставщик решит,что оборудование опасно и может отказаться принять его. Если Декларация будет неправильно заполнена, то приработе с вашим оборудованием могут быть задержки.Правила заполненияОбратите внимание на следующие правила заполнения Декларации:Ваше оборудование будет «не загрязнено», если оно не использовалось или при работе с ним не использовались опасные вещества.
Ваше оборудование будет «загрязнено», если при работе с ним использовались опасные вещества.Если при работе с данным оборудованием использовались радиоактивные вещества, то Вы должны очиститьего перед тем, как возвратите оборудование поставщику. Вы должны выслать своему поставщику независимоеподтверждение об очистке (например сертификаты анализов) вместе с Декларацией (HS2). Вы можете обратиться к поставщику за советом.Мы предполагаем, что загрязненное оборудование транспортируется в таком транспортном средстве, в котором перевозчик не находится в одном помещении с оборудованием.ПРОЦЕДУРАИспользуйте следующие операции:1.2.3.Свяжитесь с Вашим поставщиком и получите Номер Авторизации Возврата Вашего оборудования.Переверните страницу, сделайте ксерокопию следующей страницы и заполните Декларацию (HS2).Удалите следы всех опасных газов: пропустите инертный газ через оборудование и любые принадлежности,которые будут возвращены поставщику.
Слейте все жидкости и смазочные материалы из оборудования и егопринадлежностей.4. Отсоедините все принадлежности от оборудования. Осторожно снимите фильтрующие элементы со всехфильтров масляного тумана.5. Запечатайте/закройте все входные и выходные отверстия (включая те, к которым присоединялись принадлежности). Вы можете закрыть входные и выходные отверстия с помощью заглушек или полихлорвиниловой ленты.6.
Поместите загрязненное оборудование в толстый полиэтиленовый пакет. Если у вас нет подходящих пакетов,Вы можете завернуть его в толстую полиэтиленовую пленку.7. Если оборудование имеет большие габаритные размеры, поместите оборудование и его принадлежности в деревянный ящик. Желательно, чтобы размеры ящика были не более 510 мм 915 мм (20” 35”); свяжитесь споставщиком, если вы не можете обеспечить выполнение этого требования.8. Если оборудование слишком мало для подобного ящика, то упакуйте его в подходящую крепкую коробку.9. Если оборудование загрязнено, то пометьте коробку (ящик) в соответствии с правилами транспортировкиопасных веществ.10. Вышлете по факсу или почтой копию Декларации Вашему поставщику.
Декларация должна прийти раньше,чем оборудование.11. Предоставьте копию Декларации перевозчику. Вы должны сообщить перевозчику о загрязненности оборудования.12. Поместите оригинал Декларации в конверт; надежно прикрепите конверт к внутренней стороне упаковки оборудования. ЧЕТКО НАПИШИТЕ НОМЕР АВТОРИЗАЦИИ ВОЗВРАТА НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕКОНВЕРТА ИЛИ НА ВНУТРЕННЕЙ СТОРОНЕ УПАКОВКИ ОБОРУДОВАНИЯ.17Возврат оборудования Edwards – Декларация(Форма HS2)Номер Авторизации Возврата:РАЗДЕЛ 1: ОБОРУДОВАНИЕТОЛЬКО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВМодель оборудования___________________________Серийный номер_______________________________ Номер базового инструмента_______________________Процесс__________________________________________Было ли оборудование использовано, тестировано?Дата появления неисправности_______________________Серийный номерДа О (далее в раздел 2)Нет О (далее в раздел 4) Возвращаемого оборудования________________________РАЗДЕЛ 2: ВЕЩЕСТВА, КОНТАКТИРОВАВШИЕ С ОБОРУДОВАНИЕМУкажите, с какими веществами соприкасалось оборудованиеВаш поставщик не примет оборудование, еслионо загрязнено радиоактивными веществами, по РадиоактивныеО даО нетка Вы не: Биологически активныеО даО нет произведете его очистку Опасные для здоровья иО даО нет предоставите подтверждающие это докуменбезопасности человекатыЕсли Вы ответили “нет” на все вопросы, переходитек разделу 4.ВЫ ДОЛЖНЫ ПОСОВЕТОВАТЬСЯ С ПОСТАВЩИКОМ, ПРЕЖДЕ ЧЕМ ВОЗВРАЩАТЬПОДОБНОЕ ОБОРУДОВАНИЕРАЗДЕЛ 3: ПЕРЕЧЕНЬ ВЕЩЕСТВ, КОНТАКТИРОВАВШИХ С ОБОРУДОВАНИЕМНазваниеХимический Меры предосторожности (например Действия в случае утечки илииспользование защитных перчаток) при контакте с человекомсимвол123456РАЗДЕЛ 4: ИНФОРМАЦИЯ ПО ВОЗВРАТУПричина возврата и описание неисправности_____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Если у вас есть гарантийное обязательство у кого Вы покупали оборудование?________________________________________________________________ номер счет-фактуры Вашего поставшика___________________________________________________________РАЗДЕЛ 5: ДЕКЛАРАЦИЯФ.И.О.______________________________________Должность_____________________________________________Организация_______________________________________________________________________________________Адресс________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Телефон ____________________________ дата поставки оборудования_____________________________________Я предоставил точную информацию при заполнении Декларации и не скрыл каких либо сведений.Я действовал согласно Инструкции Возврата Оборудования ВОС Edwards (HS1) на предыдущей странице.Подпись_______________________________________Дата________________________________________________18Компания Интек благодарит Вас за сотрудничество и предлагает квалифицированноетехническое обслуживание оборудования, оригинальные запасные части и расходные материалы.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
