Артефакты_Рубцова (1027525)
Текст из файла
Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана
Ж У Р Н А Л
практического занятия
«Артефакты СЗМ»
Фамилия и инициалы студента____Рубцова Л.А.______________________
Факультет _____МТ________ Группа _____11-38_____ 2016 учебный год
Практическое занятие
«Артефакты СЗМ»
-
Цель работы:
Изучение источников артефактов в сканирующей зондовой микроскопии. Восстановить реальную геометрию объектов.
-
Анализ возможных искажений изображения вследствие неидеальности сканера
Заполните недостающие ячейки в таблице 1.
Таблица 1
| Источник искажения | Вид искажения |
| Нелинейность пьезокерамики | Изображение объектов микроструктур одинакового размера, отсканированных в начале и конце сканирования, будут иметь разные размеры |
| Гистерезис пьезокерамики | При прямом и обратном сканировании может возникнуть сдвиг области сканирования и изображения |
| Ползучесть пьезокерамики | При больших площадях и скоростях сканирования может возникнуть искажение начального участка |
| Температурный дрейф пьезокерамики | Температурный дрейф вдоль координаты z приводит к наклону плоскости образца на изображении. Вдоль координат x и y приводит к масштабированию изображения |
| Упругие деформации | Под действием зонда получаемое изображение искажается, что приводит к масштабированию изображения. Объекты, сравнимые с величиной деформации неразличимы |
| Конволюция зонда и образца | Появляется искажение реальной поверхности изображения |
| Загрязнение зонда | Происходит размазывание отображаемых деталей |
| Разрушение зонда | Иногда приводит к раздвоению изображения |
-
Описание исследуемого образца и параметров зонда (при наличии)
Заполните недостающие ячейки в таблице 2 сведениями об образце, соответствующем фрейму ________9____________ файла ________mt11.mdt______
| Параметр | Значение |
| Материал образца | Сферы SiO2 на поверхности ситалла |
| Особенности | Отдельные сферы или соприкасающиеся между собой |
| Геометрические параметры особенностей | Диаметр сфер 150..300 нм |
| Геометрические параметры зонда | Диаметр зонда 17.5 нм |
-
Анализ изображения образца и составление расчетной схемы
Изобразите расчетную схему для определения латеральной разрешающей способности.
где:
R и r – радиус кривизны зонда и объектов, Z – предел разрешения, d – латеральный предел
-
Результаты расчета ___________________________________________
Заполните таблицу 3
Таблица 3
| Значения геометрических параметров | Расчетное выражение | Результат расчета |
| R=17.5 нм r=75 нм Z=27 нм Θ=1 |
| d=151,4 нм |
|
| r≈76 нм |
-
Выводы
Сформулируйте краткие выводы по работе.
Исходя из того, что на точность измерения с помощью АСМ влияет множество факторов, которые связаны с особенностями зонда, материала, размерами и т.д., полученный рельеф отличается от реального. На практике, зная факторы, которые влияют на точность, можно приблизить полученные результаты к реальным.
Отметка о защите практической работы ___________________Дата_________________
ФИО преподавателя_______________________Подпись преподавателя______________
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
