Металлизация с использованием источников индукционного нагрева
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Металлизация с использованием источников индукционного нагрева
Идея метода
Схема установки приведена на рисунке. В тигель, обычно изготовленный из нитрида бора, помещают испаряемый материал. Тигель нагревается с помощью высокочастотного индуктора, охлаждаемого водой.
С помощью данного способа возможно испарение алюминия и его сплавов, а также металлов, совместимых с материалом тигля.
Преимущества метода
- отсутствие ионизирующего излучения,
- высокая скорость роста пленок.
Недостатки метода
- наличие тигля, вызывающее дополнительные загрязнения,
- возможное разбрызгивание капель испаряемого материала из тигля.