9. Основы бездефектного проектирования топологического чертежа бис

Основные принципы бездефектного проектирования БИС. Алгоритмы синтеза и контроля эскиза топологического чертежа БИС. Основные операции проектирования. Учёт взаимодействия элементов друг с другом и влияния межэлементных соединений.

Интерактивный метод проектирования топологических чертежей.

Интерактивный метод проектирования стал применяться в практике разработки БИС и СИС ещё в начале 70-х годов с появлением первых интерактивных графических систем (ИГС).

При использовании этого метода в качестве основного инструмента проектирования разработчику предоставляется удобное средство обработки графической информации – гра­фический редактор. Благодаря этому процесс создания тополо­гических чертежей ИС сводится к многократному применению процедур ввода и редактирования геометрических фигур, а роль ЭВМ – к обеспечению надежного способа хранения, удобного отображения и оперативного изменения описания чертежей топологических слоев.

Кодирование топологических чертежей отдельных элементов БИС и СИС и их размещение на общем поле чертежа осуществляется при использовании интерактивного метода совместно с созда­нием (трассировкой) соединений между ними. При этом, как уже отмечалось ранее, в случае необходимости разработчиком в известных пределах модифицируются и сами элементы.

Такое совместное решение задач размещения, трассировки и модификации, осуществляемое широким использованием интеллекта и опыта разработчик, позволяет создавать при небольших объемах информации наиболее компактные тополо­гические чертежи. Это особенно важно при разработ­ке изделий массового потребления, таких, как микросхемы ОЗУ, микропроцессоры, микрокалькуляторы, синтезаторы речи и т. д.

Таким образом, основными достоинствами метода явля­ются технологическая независимость и возможность наибо­лее полного использования особенностей технологического про­цесса производства ИС, позволяющего модифицировать конструкции элементов в процессе разработки топологических слоев.

Главный недостаток интерактивного метода — относительно низкая скорость проектирования (10-20 элементов в день), определяемая большим объемом подготавливаемой проектной информации. Вместе с тем внедрение ИГС позволило в 4-5 раз сократить цикл разработки топологии по сравнению с применением автоматизированных систем изготовления фото­шаблонов (АСИФ), в рамках которых осуществлялось простое кодирование вручную подготовленных топологических чертежей. Интерактивный метод проектирования получил широ­кое распространение как за рубежом, так и в Беларуси.

Рассматриваемый метод широко применяется при проекти­ровании топологических чертежей БИС и СИС, особенно предназна­ченных для серийного выпуска на отечественных и зарубежных предприятиях. Номенклатура ИГС только за рубежом включает несколько десятков типов.

Рекомендуемые материалы

Развитие метода в основном определяется совершенство­ванием технических средств ИГС. Большие возможности используемых в современных ИГС широкоформатных графи­ческих дисплеев, а также расширение набора и увеличение скорости выполнения процедур проектирования за счет использования более мощных ЭВМ и интеллектуальных рабочих станций позволяют проектировать СБИС.

Как уже отмечалось, исходной информацией для начала проектирования топологических чертежей БИС и СИС при использо­вании метода являются полученная на предыдущих этапах электрическая схема и рассчитанные конструкции активных и пассивных элементов. В процессе разработки информация о каждом топологическом слое хранится в ИГС.

Процесс разработки топологических чертежей при исполь­зовании интерактивного метода можно представить в виде следующей последовательности действий:

1) проектирование топологических чертежей;

2) контроль конетрукторско-техно-логических ограничений;

3) в случае нарушения конструктор-ско-технологических ограничений возврат на шаг 1;

4) восстановление из топологического чертежа реализованной электри­ческой схемы;

5) при обнаружении формальных ошибок реализации электрической схемы возврат на шаг 1;

6) сравнение восстановленной электрической схемы с исходной;

7) при обнаружении ошибок несоответствия возврат на шаг 1;

8) анализ работоспособности реализованной электрической схемы с помощью контрольного моделирования или схемо­технического расчета;

9) в случае сбоев в функционировании реализованной электрической схемы возврат на шаг 1;

10) переход к подготовке управляющей информации для генератора изображения шаблонов.

Анализ различных алгоритмов контроля конструкторско-технологических ограничений показывает, что они в основном сводятся к упорядочению математической модели БИС, позво­ляющему выделить из нее элементы изображения топологи­ческого слоя, элементы БИС и соединения между ними, и отли­чаются друг от друга лишь способом выполнения сортировки информации. Поэтому затраты машинного времени на выпол­нение одного из видов такого контроля примерно пропорцио­нальны величине (N/ Iog₂ n_i), где N — число упорядочиваемых объектов (в зависимости от операции контроля n_i  — число координат в описании одного или всей совокупности тополо­гических чертежей БИС). Так как  n_i = 10 (i + 2), где i — степень интеграции БИС, можно считать, что при соответствующей сложности проектируемого изделия полностью выполнить операции контроля конструкторско-технологических ограничений на существующих технических средствах прак­тически невозможно. Частичная же проверка приводит к появ­лению большого числа ложных ошибок, дезориентирующих разработчика.

Для сокращения числа ошибок в состав операций интер­активного проектирования вводятся процедуры, позволяющие создавать библиотеку, в состав которой могут быть включены топологические чертежи как отдельных элементов БИС, так и целых фрагментов (частей) топологического чертежа. Однако при существующих средствах использования библио­теки введение в ее состав элемента равносильно отказу от возможности последующей модификации вводимого в каталог объекта. Поэтому при использовании интерактивного метода библиотека элементов, как правило, не создается, а библиотека фрагментов существует лишь в рамках проектирования конк­ретной БИС.

Обратите внимание на лекцию "Психодиагностическое обследование".

Символический метод проектирования топологических чертежей основан на замене сложного объекта проектирования на его упрощённый вариант. Таким образом символический метод, так же как и метод интерактивного проектирования, является способом автоматизированного проектирования, при котором наиболее ответственные этапы выполняет разработчик вручную, в ПЭВМ выполняет операции преобразования и контроля.

Вместе с тем за счет применения в симво­лическом методе более наглядного изображения топологичес­кого чертежа и более широкого использования при его разработке библиотеки проектирования удается резко поднять производительность труда конструктора, существенно умень­шить число ошибок, а также упростить аппарат их обнаруже­ния. Исходной информацией для начала проектирования топологического чертежа символическим методом является принципиальная электрическая схема.

Рассматриваемый метод является технологически не ориен­тированным. Однако, как будет показано ниже, применяемые при его использовании способы выбора библиотеки и алгоритмы генерации топологических чертежей вызывают ряд трудностей при разработке КМОП-, ТТЛШ-, ЭСЛ-, И²Л-микросхем. Метод получил наибольшее распространение при проектирова­нии МОП ИС.

Существует несколько вариантов реализации символичес­кого метода, рассматривать которые целесообразно, основы­ваясь на использовании при их создании способов перехода от проектируемого эскиза к топологическим чертежам.

Реализация метода на основе применения фиксированной сетки - один из первых, наиболее распространенных и отра­ботанных вариантов символического проектирования. Так как при использовании этого подхода можно полностью отказаться от применения графических изображений, он получил название символьного метода проектирования. Его также называют сеточным проектированием, проектирова­нием на основе коммутационной схемы и эскизно-символьным методом.

Примером использования этого подхода является применение упоминавшейся выше масштабной сетки посто­янного большого шага непосредственно в процессе кодирова­ния.