Для студентов МАИ по предмету Интегральные устройства радиоэлектроникиконспект лекций за второй семестр преподаватель Ляхова 2конспект лекций за второй семестр преподаватель Ляхова 2
2016-04-062016-04-06СтудИзба
Лекции: конспект лекций за второй семестр преподаватель Ляхова 2
Описание
Небольшая вырезка из лекций в качестве примера:
Для настройки, управления миниатюрными устройствами можно пользоваться перемещающимися механо - электрическими микросистемами (МЭМС). В МЭМС непременно есть подвижный упругий элемент: мембрана, консоль, тонкая балка. В деталях большого размера появление механических напряжений может привести к разрушению. В микроэлементах накапливающееся механическое напряжение не достигает предела прочности. Пример балки. Деформация кручения балки является суперпозицией линейной и сдвиговой деформаций. Касательное напряжение увеличивается по мере продвижения от закрепленной точки (0) к поверхности образца. Только для малоразмерных элементов она не является деструктивной. Балка меньшего диаметра подвержена меньшим касательным деформациям, поэтому может поворачиваться на существенно больший угол до разрушения. Балка в качестве поворотной оси не нуждается в подшипниках. Малоразмерные электронные элементы на полупроводниковых подложках не разламываются. Это используется для создания гибких большеразмерных электронных устройств: дисплеев, солнечных панелей.
Рис. Распределение касательных напряжений при кручении.
По электрическим и магнитным параметрам МЭМС могут превосходить традиционные радиоэлементы, например, это более широкие диапазоны рабочих частот, нулевое потребление энергии в состоянии покоя, более высокая добротность подвесной катушки индуктивности. Используются другие виды энергии: механическая (статическая), акустическая (волновая), тепловая.
Изготовление подвесных конструкций. МЭМС изготавливаются по технологии «жертвенного слоя». Для изолирования других элементов микросхемы от тока нагревателя консоли формируют слой из нитрида кремния Si3N4, который получается в газовой среде при регулируемых температуре и давлении.
Для настройки, управления миниатюрными устройствами можно пользоваться перемещающимися механо - электрическими микросистемами (МЭМС). В МЭМС непременно есть подвижный упругий элемент: мембрана, консоль, тонкая балка. В деталях большого размера появление механических напряжений может привести к разрушению. В микроэлементах накапливающееся механическое напряжение не достигает предела прочности. Пример балки. Деформация кручения балки является суперпозицией линейной и сдвиговой деформаций. Касательное напряжение увеличивается по мере продвижения от закрепленной точки (0) к поверхности образца. Только для малоразмерных элементов она не является деструктивной. Балка меньшего диаметра подвержена меньшим касательным деформациям, поэтому может поворачиваться на существенно больший угол до разрушения. Балка в качестве поворотной оси не нуждается в подшипниках. Малоразмерные электронные элементы на полупроводниковых подложках не разламываются. Это используется для создания гибких большеразмерных электронных устройств: дисплеев, солнечных панелей.
Рис. Распределение касательных напряжений при кручении.
По электрическим и магнитным параметрам МЭМС могут превосходить традиционные радиоэлементы, например, это более широкие диапазоны рабочих частот, нулевое потребление энергии в состоянии покоя, более высокая добротность подвесной катушки индуктивности. Используются другие виды энергии: механическая (статическая), акустическая (волновая), тепловая.
Изготовление подвесных конструкций. МЭМС изготавливаются по технологии «жертвенного слоя». Для изолирования других элементов микросхемы от тока нагревателя консоли формируют слой из нитрида кремния Si3N4, который получается в газовой среде при регулируемых температуре и давлении.
Характеристики лекций
Тип
Учебное заведение
Семестр
Просмотров
167
Скачиваний
13
Размер
13,25 Mb
Список файлов
- ReadMe.txt 276 b
- Интегральные устройства радиоэлектроники 2
- 21_Электронные ИС.doc 1,42 Mb
- 22_Фильтры.doc 1,57 Mb
- 23_ Управл_устр.doc 914,5 Kb
- 25_Оригинальные конструктивы ИУР.doc 2,76 Mb
- 28_Углеродные элементы и устройства.doc 1,71 Mb
- 40_Мехатроника.doc 3,91 Mb
- 41_Мехатроника.doc 2,01 Mb
ReadMe
Файлы скачаны со студенческого портала для студенты "Baumanki.net"
Файлы представлены исключительно для ознакомления
Не забывайте, что Вы можете зарабатывать, выкладывая свои файлы на сайт
Оценивайте свой ВУЗ в различных голосованиях, в том числе в досье на преподавателей!
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать