ДЗ 1: ДЗ вариант 17 вариант 17
Описание
Компоновка автоматической линии для формирования пленочных структр микросхем методом молекулярно-лучевой эпитаксии.
1 – унифицированный технологический камер-модуль
2 – транспортный коридор
3 – шиберный затвор
4 – шлюзовая камера
5 – реечный транспортер
6 – шибер (затвор)
7 – шибер (затвор)
8 – магнитный манипулятор
На составленной циклограмме изобразены длительности рабочих и холостых ходов.
Для повышения цикловой производительности установки, необходимо уменшить длительность рабочих ходов , значит надо использовать осветитель (в технологических камер-модулах) хорошей мощности с оптимальной длиной волны.
Характеристики домашнего задания
Список файлов

МГТУ им. Н.Э.Баумана
The Best Choice

















