Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технология и оборудование микро и наноэлектроникиДЗ вариант 17ДЗ вариант 17
2022-05-312024-09-06СтудИзба
ДЗ 1: ДЗ вариант 17 вариант 17
-43%
Описание
Не только копировать, а нужно понимать!
![]()
Компоновка автоматической линии для формирования пленочных структр микросхем методом молекулярно-лучевой эпитаксии.
1 – унифицированный технологический камер-модуль
2 – транспортный коридор
3 – шиберный затвор
4 – шлюзовая камера
5 – реечный транспортер
6 – шибер (затвор)
7 – шибер (затвор)
8 – магнитный манипулятор
На составленной циклограмме изобразены длительности рабочих и холостых ходов.
Для повышения цикловой производительности установки, необходимо уменшить длительность рабочих ходов , значит надо использовать осветитель (в технологических камер-модулах) хорошей мощности с оптимальной длиной волны.
Характеристики домашнего задания
Учебное заведение
МГТУ им. Н.Э.БауманаСеместр
Номер задания
Вариант
Программы
Просмотров
59
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
478,29 Kb
Список файлов
1.docx
![Картинка-подпись](https://s.studizba.com/z.php?f=/uploads/fotos/podpt_101308_49962.jpg&w=1632&h=400&t=1")
Привет всем! Я автор на Студизбе. Я надеюсь что, не только дам Вам файлы с ответом но и знание. Не только копировать, а нужно понимать! Вставьте 5 звезд и позитивные комментарии сразу дам Вам подарок
The Best Choice
31 мая 2022 в 21:17
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
