вакуумного нанесения дискретно-планарных покрытий»

Москва, 2014 г.

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу

«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

Тема проекта: Установка нанесения дискретно-планарных покрытий

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Функциональная схема...................................1 л.
2. Процессная модель....................................................1 л.
3. Структурная схема..................................1 л.
4. Схема соединений……………...1л.
   1. Содержание расчетно-пояснительной записки.
5. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
6. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
7. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
8. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
9. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
10. перечень элементов ПЭ;
11. перечень потоков и сигналов ПС;
12. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
13. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
14. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
15. Заключение.

Реферат

Графические работы в объеме 4 листов выполнены на ПК с помощью программ Autodesk AutoCAD 2014, КОМПАС-3D V15. Расчетно–пояснительная записка составляет 32 листа выполненных в среде Microsoft Word 2010.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выборе оборудования, необходимого для автоматической работы установки;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Курсовой проект выполнен в следующем объеме: процессная модель (алгоритм работы системы управления установкой); функциональная схема установки, включающая перечень элементов и их сигналов, структурную схему и схему соединений. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения, описания и отражены принципы построения САУ установки.

СОДЕРЖАНИЕ:

Введение.................................................................................................................................... 5

1. Описание функциональной схемы....................................................................... 6

2. Описание процессной модели................................................................................. 7

2.1. Деление технологии вакуумного нанесения мозаично-дискретных покрытий на процессы................ 7

2.2. Выбор сервисных функций.......................................................................................................... 11

2.3. Выбор функций коррекции цели.................................................................................................. 12

3. Технические задания на основные узлы (результаты информационного поиска).................................................................................................................................... 13

3.1 Элементы установки.................................................................................................................... 13

3.2 Обработка подложек................................................................................................................... 18

3.3 Газовая система........................................................................................................................... 21

3.4 Элементы САУ............................................................................................................................. 23

Заключение.......................................................................................................................... 31

Список использованных источников................................................................... 32

Введение

Производственное оборудование становится всё более автоматизированным во многих сферах его применения. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При конструировании необходимо:

• внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции и выбрать оптимальный из этих вариантов, как по цене, так и по сложности изготовления и эксплуатации;

• обеспечить проектируемое оборудование более высоким сроком службы, то есть, чтобы его физическое и моральное старение настало как можно позже (для этого в конструкцию изделия заранее закладывают модули, которые легко можно заменить или доработать).

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант с максимально автоматизированной установкой вместо существующей установки с полностью ручным управлением.