Расчетно-пояснительная записка к курсовому проекту

по теме:

«Установка двухстороннего совмещения и экспонирования на базе ЭМ-576»

Москва, 2005

Оглавление

1.Введение……………………………………………………………………………….…...3

2.Описание процессной модели……………………………………………………….……4

2.1.Разделение технологии на процессы…………………………………………………4

2.2.Описание функций установки…………………………………………………….…..6

3.Описание комплексной принципиальной схемы………………………………………..7

3.1.Механический интерфейс установки……….………………………………………..8

3.2.Энергетический интерфейс установки……………………………………………….9

3.3.Информационный интерфейс установки…………………………………………….9

4.Выбор стандартных компонентов………………………………………………………...10

4.1.Клапан электромагнитный…………………………………………………………….10

4.2.Клапан-натекатель……………………………………………………………………..11

4.3.Датчик давления термопарный………………………………………………………..11

4.4.Блок подготовки воздуха………………………………………………………………11

4.5.Распределитель…………………………………………………………………………12

4.6.Насос вакуумной системы……………………………………………………………..13

5.Технические задания на оригинальные узлы…………………………………………….14

5.1.Блок питания……………………………………………………………………………14

5.2.Блок ключей…………………………………………………………………………….14

5.3.Блок нормализации сигналов………………………………………………………….14

5.4.Блоки ключей управления пневмораспределителем ,УФ лампой, двигателями…..14

5.5.Персональный компьютер……………………………………………………………..14

6.Расчёт и описание интерфейсных схем……………………………………………………17

6.1.Блок нормализации сигналов…………………………………………………………..17

6.2.Блок ключей для управления клапанами и натекателем……………………………..19

Заключение……………………………………………………………………………………21

Список использованных источников………………………………………………………..22

1.Ведение

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических, электронных и программных компонентов оборудования САУ. Проведена разработка системы автоматического управления установки двухстороннего совмещения и экспонирования сконструированной на базе установки ЭМ-576.

1. Описание процессной модели

Установка предназначена для двухстороннего совмещения и экспонирования кремниевой пластина. У установки имеется вакуумная , пневматическая, электрическая, механическая системы. С целью упрощения процесса и увеличения скорости цикла необходима централизованная система автоматического управления.

Для двустороннего совмещения сначала необходимо совместить рамки-шаблонодержатели с зафиксированными (при помощи вакуума) на них шаблонами, Далее между ними помещается заготовка, происходит выравнивание поверхностей ,зажим заготовки между шаблонами с целью создания статичной совмещённой системы .Следом идёт операция экспонирования.