0752-9-freview (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)
Описание файла
Файл "0752-9-freview" внутри архива находится в папке "Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры". PDF-файл из архива "Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
на автореферат диссертации Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры»„представленной в диссертационный совет Д 212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Современные тенденции развития изделий микроэлектроники и микросистемной техники предполагают использования нелинейных эффектов для гюлучения приборов с принципиально новыми качествами и характеристиками. К таким устройствам можно отнести бистабильные микроприводы, основные рабочие параметры которых основываются на явлении потери устойчивости механических подвесов.
Решение технологических и конструкционных проблем создания таких устройств является острой и важной задачей, слабо отраженной как в отечественной, так и в зарубежной литературе. Исходя из этого, тема диссертационного исследования Эннса Я.Б., связанная с изучением технологических методов формирования нелинейной арочной микростукруры, и изучением ее физических свойств, является безусловно актуальной. Согласно автореферату, автор поставил перед собой задачу изучения потери устойчивости нелинейных микромеханических структур на базе металлических пленок и объемных кремниевых балок.
К основным результатам работы следует отнести получения качественных и количественных данных о характере возникновения и методах управления внутренними напряжениями металлических пленок, а также теоретические и экспериментальные результаты исследования потери устойчивости пленочных и кремниевых микромеханических элементов.
Полученные результаты работы были использованы в ряде НИОКР, были внедрены в производство и опубликованы в ведущих российских и зарубежных изданиях. Однако к тексту автореферата имеется ряд вопросов и замечаний: — В тексте автореферата остались недостаточно раскрытыми методы для решения нелинейных эффектов; — Из текста автореферата не ясно оценивались ли погрешности результатов, полученных при численном моделировании, влияние сетки, а также степень влияния параметров моделирования. — Текст автореферата содержит ряд погрешностей стилистического и редакционного характера .