сведения о вед.орг (Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе)
Описание файла
Файл "сведения о вед.орг" внутри архива находится в следующих папках: Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе, Документы. PDF-файл из архива "Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физикотехнологический институт Российской академии наук (ФТИАН РАН)адрес: 117218, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 36/1телефон: +7 (499) 129-54-92e-mail: lukichev@ftian.ruсайт: ftian.ruСписок основных публикаций работников организации по теме диссертацииза последние 5 лет:1) Привезенцев В.В., Куликаускас В.В., Затекин В.В., Кириленко Е.П.,Горячев А.В., Батраков А.А., Исследование кремния, легированногоионами 64Zn+ в условиях горячей имплантации // Известия РАН. Серияфизическая, 2016.т. 80, № 2, с.
168.2) Privezentsev V.V., Kulikauskas V.S., Palagushkin A.N., Steinman E.A.,Tereshchenko A.N., Batrakov A.A., Ksenich S.N., ZnO nanoparticleformation in 64Zn+ Ion implanted Al2O3 // Solid State Phenomena, 2016.Vol. 242, p. 396-401.3) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Стрельцов Д.Р, Кальнов В.А., Спирин А.В.,Рогожин А.Е., Некоторые особенности нового метода формированиямикрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста //Компьютерная Оптика, 2015. т. 39, № 2, c. 204-210.4) Privezentsev V.V., Shemukhin A.A., Petrov D.V., Trifonov A.Y., SaraykinV.V., Lutzau A.V., ZnO nanoparticle formation in Si by co-implantation ofZn+ and O+ ions // Solid state phenomena, 2014. Vol.
205-206, pp. 502-508.5) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Стрельцов Д.Р, Кальнов В.А., Спирин А.В.Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа)путём прямого электронно-лучевого травления резиста // В кн. ТрудыФТИАН, 2014. т. 24 “Квантовые компьютеры, микро- инаноэлектроника (физика, технология, диагностика и моделирование)”,М: Наука, 264 с. – с. 155-162.6) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Кальнов В.А., Спирин А.В., Стрельцов Д.Р,Новый сухой метод формирования маскирующего изображения(рельефа) непосредственно в процессе электронно-лучевогоэкспонирования // Микроэлектроника, 2013.
Т. 42, № 5, с. 331-340.7) Кальнов В.А., Новиков Ю.А., Орликовский А.А., Работа электронноголитографа в режиме растрового электронного микроскопа //Микроэлектроника, 2012. Т. 41, № 6, с. 426..