Отзыв на автореф. от Дюкова (Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе)

В диссертационный совет Д 501.001.66 отзыв на автореферат диссертации Купреенко Степана Юрьевича "Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе", представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04.- физическая электроника.

Судя по содержанию автореферата, диссертация С. Ю. Купреенко посвящена развитию методов локальной диагностики материалов и микроструктур с помощью растрового электронного микроскопа (РЭМ) с детектированием "быстрых" электронов с селекцией, а также совершенствованию средств их реализации. В работе получены новые результаты, уточняющие закономерности вторичной эмиссии и зарядки образцов с низкой электропроводностью. Можно согласиться с содержащимся в реферате утверждением, что аналитическая электронная спектроскопия на основе РЭМ не получила должного развития у исследователей.

Последние достижения по этой тематике были отражены в монографии (автор А. К1шгзЬеес1), изданной более 6 лет назад. С учетом вышесказанного актуальность темы сомнений не вызывает. В спектре вторичной эмиссии иногда выделяют упруго- и квази- упруго отражйнные, неупругоотраженные (в т, ч. с характеристическими потерями) электроны, а также "медленные" истинно вторичные (ВЭ). В то же время все "быстрые" электроны, создшощие Е-контраст, принято называть обратно рассеянными (ОРЭ или (ВЯЕ)). В реферате же вместо ОРЭ фигурирует ОЭ, что, впрочем, не мешает правильному восприятию содержания. В теоретическом разделе работы приведены полученные автором полуэмпирические выражения, описывающие форму спектров ОРЭ для массивных образцов и структур "плднка на подложке", которые, в частности, позволяют оптимизировать режимы соответствующих измерений.

Основные эксперименты выполнялись с применением РЭМ 1.ЕО-!455 с безмасляным вакуумом в камере образцов, оснащ6нным тороидальным спектрометром, а также оригинального кольцевого детектора ОРЭ. Описанные в работе результаты наглядно демонстрируют повышенные информативные возможности разработанных методик и аппаратуры, и отличаются практической полезностью. Основные результаты, изложенные в работе„были вполне полноценно представлены на ряде специализированных конференций и опубликованы в виде научных статей и тезисов докладов. В заключение можно констатировать, что в диссертации подытожены результаты обстоятельных н оригинальных исследований, которые существенно уточняют закономерности вторичной эмиссии и зарядки электронами диэлектрических структур.

Работа С. К). Купреенко носит законченной характер, имеет научную и практическую ценность„выполнена на высоком уровне и соответствует всем требованиям, предъявляемым ВАК к кандидатским диссертациям, а сам автор, без сомнения, заслуживает присуждения ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04.

- физическая электроника. В,Г. Дюков НП "Лаборатория анализа микрочастиц", г. н.с. д. ф.-м. н., доц., (р. т, 499-! 27-04-96) Подпись Дюкова Валентина Георгиевича Директор, к.т.н., с.н.с. В,А. Стебельков .