Купреенко_Отзыв на автореф. от Боргардт (Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе)

на автореферат диссертации Купреенко Степана юрьевича «Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электрон- ном микроскопе», представленной на соискание ученой степени кандидата физико- математических наук по специачьности 01.04.04 — физическая элекгроника Диссертационная работа Купреенко С.Ю. посвящена развитию аналитической электронной спектроскопии мьггериалов и микроструктур, являющихся важными для современных нанотехнологий. Такие исследования направлены на получение количественной информации с помощью сканирующего электронного микроскопа ~СЭМ) при диагностики микро- н наноструктур, и их результаты представляют больший интерес для специалистов, работакнцих в этой области. Актуальной также является проблема ВзаимОдействия электронного пучка с диэлскгричсскими материалами, процсссы зйрядки которых существенным образом влияют на формирование контраста при исследовании методами СЭМ.

В работе получены полуэмпирические аналитические выражения для коэффициента отражения электронов от свободной пленки, структур «пленка на подложке», а также энергетических спектров„которые находятся в удовлетворительном соответствии с экспериментальными данными, приведенными в автореферате. Автором предложена новая конфигурация кольцевых детекторов отраженных электронов в СЭМ, разработка и совершенствование которых выполняется группой профессора Э.И. Рау на протяжении ряда лет. Благодаря выполненной оптимизации конструкции детектора в несколько раз повысилась их эффективность при разделении контрастов От химичсскОГО состава и топОгрйфии НОВсрхности.

Безусловный интерес вызывают результаты работы, связанные с изучением процессов зарядки диэлектрических мишеней. В работе представлена экспериментальная схема для комплексных измерений параметров заряжающихся диэлектриков: вторичной электронной эмиссии, поверхностного потенциала, позволяющая изучать нх изменения Во времени, Онй реалнзовйнй нй бйзе СЭМ„оснащенного несколькими измерительными устройствами. На основе полученных данных предложены новые сценарий зарядки диэлектрических материалов при электронном облучении и модель усиления эмиссии вторичных электронов за счет первичных термализованных электронов. Полученные автором результаты являются новыми научными знаниями, они докладывались на различных международных и национальных конференциях и достаточно полно представлены в научных публикациях, соответствующих требованиям ВАК, Они представляот интерес для специалистов в обласги электронно- микроскопической диагностики, микро- и наноэлектроники, что отражает помимо научного и прикладное значение диссертационной работы Купреенко СЛО.

Выводы по результатам исследований являются Весомыми. В качестве замечания следует отметить, что хотя В автореферате говорится об использование большого вычислений и экспериментов для получения полуэмпирической формулы для расчета коэффициента отражения от пленок заданной толщины, однако остается неясным, каким образом определялись Входящие в нее параметры, для образцов скольких элементов Выполнялось сравнение расчетных и экспериментальных дйнных, позВоляют ли полученныс Вырйжсния Вычислять коэффициснт Отрйжсния От мегйлличсских пленок„расположенных на поверхности актуальных для микроэлектроники кремниевых подложек.

Зааедуклций кафедрой обп1ей физик~ Национального исследовательского унивараитатв «МИЭТИ И.ф.-и.н., профаааор ~~~/' Н.И. Бортврнт Ьс г ясО-А~©~~~~~ ня,".. ~-ц ьйй)зь2=чь-5+ Подпись Н.И, Боргардта зааеря1о, онн „рж.тт Ученый секретарь МИЭ'1, ~рРо кандидат текнттческик наук, р0фсссор' ' ~: .:,",...,. ви..",-",,;:,"..- И.М, Ларионов В целом, диссертация Купреенко С.Ю. является законченным научным исследоаанием, вьпголненном на аыеоком научном уроане, Она соотаетстаует требонанпям, предьяаляемым ВАК к кандидатским диссертациям, а ее аятор заслу'кнаает присуждения ученой степен~ кандидата физико-математическш наук по специальности 01,О4,04 — физическая электроника. .