Cведения об оппоненте Филиппов (Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе)
Описание файла
Файл "Cведения об оппоненте Филиппов" внутри архива находится в следующих папках: Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе, Документы. PDF-файл из архива "Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Фамилия Имя ОтчествоФилиппов Михаил Николаевичученая степень: доктор физико-математических наук (специальность02.00.02 – аналитическая химия);ученое звание: профессордолжность: заведующий лабораторией химического анализа Федеральногогосударственного бюджетного учреждения науки Институт общей инеорганической химии им. Н.С.
Курнакова Российской академии наук.Список основных публикаций по теме диссертации за последние 5 лет:1. Киртаев Р.В., Кузин А.Ю., Маслов В.Г., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А.,Филиппов М.Н. Калибровка растровых электронных микроскопов вшироком диапазоне увеличений. Измерительная техника. 2016. № 12. С.
7-10.2. Васильев А.Л., Митюхляев В.Б., Михуткин А.А., Тодуа П.А., ФилипповМ.Н.Оценкасоставляющейсистематическойпогрешностирентгеноспектрального микроанализа, обусловленной поверхностнымрельефом образца. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016. Т.82. № 12. С. 15-18.3. Амрастанов А. Н., Гинзгеймер С. А., Степович М. А, Филиппов М.
Н. Ободной возможности математического моделирования теплового воздействияостро сфокусированного электронного пучка на однородный полупроводник.Известия РАН. Серия физическая. 2016. Т. 80. № 10. С. 1448-14524. Дарзнек С. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б., Степович М. А., Тодуа П.А., Филиппов М. Н. Измерение неоднородности толщины наноплёнокэлектронно-зондовым методом. Измерительная техника. 2016. №8. С. 24-27.5. Кузин А. Ю., Васильев А.
Л., Карабанов Д. А., Митюхляев В. Б., МихуткинА. А., Пресняков М. Ю., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Экспериментальныеисследования трёхмерной реконструкции рельефных структур постереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе.Измерительная техника.
2016. №8. С. 21-24.6. Гавриленко В.П., Заблоцкий А.В., Корнейчук С.А., Кузин А.Ю.,Куприянова Т.А., Лямина О.И., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., Шкловер В.Я.Измерение структурных параметров по эмиссионным рентгеновскимспектрам при энергодисперсионной регистрации. Измерительная техника.2016. №2. С. 65-67.7. Серегина Е.В., Степович М.А., Макаренков А.М., Филиппов М.Н. Онекоторых проблемах моделирования распределения неосновных носителейзаряда, генерированных электронным пучком в полупроводниковомматериале.
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронныеисследования. 2016. № 4. с. 88-93.8. Кузин А.Ю., Степович М.А., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., ФилипповМ.Н. Тепловые эффекты при низковольтном электронно-зондовомрентгеноспектральном микроанализе с нанометровой локальностью.Измерительная техника. 2016. №10. С. 27-29.9.Серегина Е.В., Степович М.А., Макаренков А.М., Филиппов М.Н.
Овозможности использования рекурсивных тригонометрических функций длярасчета распределения неравновесных неосновных носителей заряда вдвуслойном полупроводниковом материале // Поверхность. Рентгеновские,синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 9. С.
70.10. Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Степович М.А., ТодуаП.А., Филиппов М.Н. Измерение толщины окисной пленки на поверхностикремния электронно-зондовым методом // Измерительная техника. 2015. № 9.С. 13-16.11. Гавриленко В.П., Карабанов Д.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б.,Михуткин А.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н., Баймухаметов Т.Н., ВасильевА.Л. Трехмерная реконструкция поверхностей рельефных структур постереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе //Измерительная техника. 2015.№3. С.
15-18.12. Filippov M.N., Gavrilenko V.P., Mityukhlyaev V.B.,Rakov A.V.,Todua P.A./Novel method for dimensional measurements of nanorelief elements based onelectron probe defocusing in a scanning electron microscope // MeasurementScience and Technology 2014, Vol. 25, No 4, P. 044088.13. Гавриленко В.П., Кузин А.А., Кузин А.Ю., Кузьмин А.А., МитюхляевВ.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н./ Измерение толщиныестественного окисла на тестовой рельефной шаговой структуре на подложкеиз монокристаллического кремния // Микроэлектроника. 2013.
Т. 42. № 2. С.131-133.14. Куприянова Т.А., Миникаев Л.Р., Тангишев Р.Р., Степович М.А.,Филиппов М.Н./ Моделирование пробега киловольтных электронов вдиэлектрической мишени в условиях накопления объемного заряда //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.2013. № 3.
С. 79.15. Гавриленко В.П., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А.,Филиппов М.Н., Шаронов В.А. / Искажение профиля рельефных элементовна поверхности монокристаллического кремния в результате ихконтаминации в низковольтном растровом электронном микроскопе //Измерительная техника, 2013, № 3, С. 12-15..
