Френель 12 (Готовые ДЗ по Френелю)
Описание файла
Файл "Френель 12" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по Френелю". PDF-файл из архива "Готовые ДЗ по Френелю", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
ДЗ по френелю. Рубцов Максим, МТ11-61Заданные условия- ширина окна на фотошаблонеW 4- микрозазорz 6.25019531707773 6.25λ 0.405 0.405 - длина волны актиничного излучения2. Краткое описание последовательности выполняемых этаповРасчет проводится в предположении, что окно на фотошаблоне представляет собой длинную узкую щель.
Вэтом случае окно можно считать одномерным. Расчетная схема имеет вид, показанный на рис. 1.Рассмотрим положительную область изображения шириной W, в которую входит облас ть геометрической тенишириной W/2 и разобьём её на 30 отрезков.i 0 149n 150Координаты точек :k 2πλX i iWn- волновое числ оПределы интегрирования для каждой из точекk W X i ξ2i 2 π z ξ1i Wk X i 2 π z Интегралы Френеля:ξ1 i ξ2 C1i cos π dξ 20ξ1 i ξ2 S1i sin π dξ 20ξ2 i ξ2 C2i cos π dξ 20ξ2 i ξ2 S2i sin π dξ 20Значеня интенсивности для каждой из точекI i 1222 C2i C1i S2i S1i i Xi ξ1i ξ2i C1i C2i S1i S2i Ii 00-1.7781.778-0.3270.327-0.4720.4720.65910.027-1.8011.754-0.3340.322-0.450.4950.66220.053-1.8251.73-0.3450.321-0.4280.5190.6730.08-1.8491.707-0.3580.323-0.4090.5430.68440.107-1.8731.683-0.3730.328-0.3910.5660.70350.133-1.8961.659-0.3910.335-0.3760.5880.72860.16-1.921.636-0.4110.345-0.3630.610.75970.187-1.9441.612-0.4330.358-0.3530.630.79680.213-1.9671.588-0.4560.373-0.3470.6480.83890.24-1.9911.564-0.4790.39-0.3440.6640.886100.267-2.0151.541-0.5030.409-0.3440.6780.939110.293-2.0381.517-0.5260.43-0.3480.690.996120.32-2.0621.493-0.5490.451-0.3560.71.057130.347-2.0861.47-0.570.474-0.3660.7071.121140.373-2.111.446-0.5890.497-0.380.7121.186...........................Профиль распределения интенсивности в плоскости изображения(в положительной области)21.5Ii10.5001.22.43.64.86Xi7.28.49.610.812.