Розанов Л.Н. Вакуумная техника 1990, страница 55

с'» ш И ВХ ш м 3 о ~~ м 1— ш м и 4" ш О се ы О О и и о )Б Основные характеристики ЦВН.О,)-2 ) ЦВН.0,2 2 ! ЦВН.1.2 Продолжение гобл. 77 70 Таблица П.1! Характеристини течеискателей и Иоз чз о а ° а ем 5 о а им Габариты (дяинзхши- ринзхвьгсотв), мм Дивпвзом Погрешность Нвименоввнне в ° гтум- метра Типы вв«ууммет- ров Тип преоб- Рвзовзтелей Нвнченьшнй регнстряз е ~мй поток, Г Пззе рабочих лений, измерения, % двв Пз Типы тече- нскзтелей Прнииип действия Прнчечвние ПТИ-7А Масс-спектро- метрический Испытание на герметичность объектов, допускающих откачку То же 7.!О " ГАЗО ! 10-' ... 3 10з 1 1 0 ' ...

7 ! О' ВТ-2А-П 226Х248Х Х 257 320Х!85Х Х!50 11О ПТИ-10 СТИ-11 ГТИ-6 7 10-гз 7!О 'з ~30 ВТ-3 С атмосферным датчиком С вакуумным датчиком при быстроте откачки 1 диз,'с Испытание вакуумных систем со стеклянными злеыентами Атмосферный датчик Галогенный !!О ' 710' 1 1Оз... 4 1Оз ! ° 10з 4 10' ВТБ-! РВТ-2М вЂ” 40 200Х 158Х ХЗ!9 1ООХ 158Х Х 206 ИО43.009 13ТЭ-9-001 ТП7101 Искровой 7 10 †' — 40 ... +60 МТ-6 7 1О Электронно- захватный Магнитный То же ~170 2!О ' ВМБ-3 Катарометри- ческий ЗЗОХ290Х Х 240 400Х2ООХ Х 390 240Х 158Х Х 335 150 — 50 ... +80 — 55 ... +130 — 50 ...

+100 100 Таблица П!2 Характеристики измерителей парциальных давлений 75 Разрешающая спо- собность Дивпвзом рабочих дввлеинй, Пв Типы измерителей пвр. Иивльных давлений Дпвпвзон месс, в. е. м. ~70 1 10 110' 120 386Х278Х Х 292 Обозначение 1 1 О ' ... 3 ! О з 1 1 Π— з 5, 1 О- з 110 '..710 з 1 1 0 ' ...

7 1 0 " Цнклотрониый (оыегатрон) МХ 4301 ИПДО-1 ИПДО.2 МХ-6401 1 — 100 2 — 100 1 — 250 25 20 35 50 Ионизацион- но-терыопар- ный ~30 1.1О ' ... 1 10' 1 ! 0 ' ... 1 !О' ПМИ-51 ПММ.3-2 ПМИ-2 ПМТ-2 ПМТ.4М МТ-8 ВИТ-2 320Х 280Х Х2!5 230ХЗООХ Х 485 1 — 56 ВИТ-3 75 1.10 ' 1.10-з 110' 1 1О-' Ионизацвон- ный 110 з 448ХЗ40Х Х 287 480Х220Х Х 360 ВИ-! 2 30 280 20 140 110' 1 1 0 ' ... 1 1 О ' ~50 ВИ-14 Квадрупольный ВИЦБ-11 ВИО-! 2 1 О ' ... 1 . 1 От 7 1 0 ' ... 110' 3,0 100 Х! 58 Х Х 230 228 Х95Х Х 328 Статический ж20 305 304 ВМБ-6 ВМБ-8 ВМБ-11 ВИМ-2 1 1 0 ' ...

3 1 0' ! 1 0 ' .. 1 ! 0 - ' 1, ! О- в 1 !О-' 110 '... 110' ПМТ-2 ПМТ-4М МТ-8 ПМТ-2 ПМТ-4М МТ-8 МТ-6 ПММ-13 ПММ-32 ПММ-32 ПММ-46 ПМЫ-14 ПМИ-12 ПМИ-12-8 ПМИ-27 ПМИ-12 ПМИ-!2-8 ИМ-12 ПМИ-10-2 ПМИ.39.2 Радиочастотный (топа- трон) Времяпролетный (хро- нотрон) Линейный резонансный (фарвнгрон) Радиочастотный однопо- лярный РМС-2М МСХ-ЗА АПДП-2 МХ7301 АПДМ-1 ЭФМ-1 КМ-2 МСХ-2М МСХ-4 МСД-1 МХ-1304 МХ.1306 45 ЗО 20 200 400 50 300 !00 100 60 100 800 2 ...200 1 ...250 2 ...200 1 ...200 1 ...400 1 ...!00 2 ...300 1 ... 250 1 ...600 2 ...!50 1 ...120 2 ...900 7 10 110' 1!О з 1,!Π— з 1!О ' 1. И-з 1 10' 1 1О' 1 10-' 1 10 ' 110' 1 10 ' 1 1О 1.! 0-т 110' 1,10-г 110 в 110 з 110 г 110' Продолжение табл. П 13 Обозначения Эяементы вакуумной системы графнчесное текстовое Обозначения Злементы вакуумной системы граФическое текстовое Адсорбционный яда Насос вакуумный (общее обозначение) Геттерный Вращательный Крносорбционный Двухроториый Ионне-сорбционный е о Турбоыолекулярный Магниторазрядный Водокольцевой Ловушка (общее обозначение) Зжекторный Охлаждаемая жидкостью, проточная Диффузионный ВА Охлажлаемая воздухом 307 Таблица Г113 Условные обозначения элементов вакуумных систем Д- 4 2" Обозначения Овозначения графическое текстовое графическое текстовое Тепловой РГ Заливная ВТ Сорбционная Ионная а/г а/2 РА Жидкостный РЕ.

РА Магнитный РМ 308 009 Элементы вакуумной системы Термоэлектрическая Манометрический преобразователь (общее обозначение) Деформационный Ионизациоиный Продолжение табл. ПЛЗ Элеиевты вакуумной системы Течеигкатель (общее обозначение) Масс.спектрометр Клапан (общее обозначе ние) Клапан с ручным приводом Клапан с дистанционным управлением Клапан с электромагнитным приводом Клапан с пневматическим или гидравлическим приво- дом Продолжение табл, ПЛЗ Обоэнэчения Обоэнечения Элементы вакуумной систелгы грэфическое текстовое грэфнческое текстовое Тройник ТТ Крестовина ТК ТБ Натекатель 5 РТУ Рлу Рхг СУ СТ Колено 31! 310 Элементы вниуумноа системы Клапан с злектромашннным приводом Клапан проходной Клапан угловой Камера вакуумная (общее обозначение) Нрогреваемая часть вакуумной системы Трубопровод (общее обозначевне) Трубопровод прямой Продолжение табл.

ППЗ Гребенка Пример изображения прннцнпнальной вакуумной схемы Продолжение таба П.д з Iг натела пгель нк -20(от ь. 465 225 ГУЗ Окоп/с Клапан Ругб(ЯН(-1 УЯ5 !О 10' УЯ1 Га трубапробоб РУ 10(аегп.ббб. 005-ТЬГ Тт.л Ту 1 =50 пп Трубопробод Ру Гба(ОСТ И ббб 010 -741 1к200пп ТЬ, Тб Т1... ТЗ 1к200пм ТГ...Р1 2...(ИЗЗ 5 куба Гс 5, пг(т 5 = 1'Ус Насос ЗНВР-1( Н1 Камера бакуумнол О5О0,1=50О Уп 100л 10' Наименобание Приннганил Кол „3 Зе Г (ае 10' 10-г 10-г 10-1 10 г ,.г Щь р,аа 1О з га' р Па 10 Р и с. П.!. Характеристики объемных вакуумных насосов: — — бвв лавушки; — — — — с лавушкой ТП2 Клал н Оугб(ЯН).2 Затбор ЗЭПМ -100(ПВШМО.ЗЗБ.баггу( Клапан КЭУ-б5(ОТМО.5Зб.0751У( Труболробод Пу бу(ГООТ24055-ОГУ Лнапизатор апегапоонний рМО-йс Преодразобатель тернопарннй ПМТ-2 Преабразобатель иолизоционннй ПМИ -12 Препбразобатель илнизоционний ПМИ -2 Насос НМО -0.25 робу а Л(11-25 Лабушпа Л(11-05 О =улус 0 кЗЗЕО лУс а =170'Ус 0 = улус У игал(с 10-г гае р,Па йл Р и с.

П 2. Характеристики турбомолекулнр- ных насосов 10' 10',а' Ю' 0,7а Р и с. П 3. Характеристики пароструйных насосов: — — бвв ловушки; — — — — с ловушкой Рис. П.4. Характеристики ионна-сорбкионных насосов ЛИТЕРАТУРА !. Вакуумная техника: Справочник/Е, С. Фролов, В. Е, Минайчев, А. Т. Александрова и др.— Мс Машиностроение, 1985.— 360 с. 2, Востров Г. А., Розанов Л.

Н. Вакуумметры.— Лл Машиностроение, 196». — 235 с. 3. Кузьмин В. В., Левина Л. Е., Творогов И. В. Вакуум-метрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания. — Мл Энергоатамиздат, 190. — 240 с. 4. Данилин Б. С., Мннайчев В. Е. Основы конструирования вакуумных систем.— Мл Энергия, 197!.— 392 с. 5 Дэшман С. Научные основы вакуумной техники.— Мл Мир, 1964.— 7!5 с, 6. Мннайчев В.

Е, Вакуумные крионасасы — М: Энергия, 1976.— 152 с, 7. Пипка А. И., Плисковский В. Я„Пенчко Е. А. Конструирование и рас. чет вакуумных систем.— М: Энергия, 1979.— 504 с. 8. Розанов Л. Н. Вакуумные машины и установки.— Лл Машиностроение, 1975, — 336 с. 9. Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. — Мл Атомиздат, 1980. — 216 с. 10. Фролов Е. С. Турбомолекулярные вакуум-насосы.— Мл Машиностроение, 1980. — 119 с.

11. Пейтлин А. Б. Пароструйные вакуумные насосы.— М.— Лл Энергия, 1965. — 400 с ОБОЗНАЧЕНИЯ ОСНОВНЫХ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН ПРЕДМЕТНЫИ УКАЗАТЕЛЬ 315 а — количество адсорбированного газа С вЂ” Постоянная Сюзерленда Р— коэффициент диффузии л — диаметр молекулы Š— тепловой поток е — степень черноты Р— сила Р— массовый поток газа 8 — ускорение земнога притяже. ния, я=9,80665 м/сз / — энтальпия Кп — критерий Каудсеиа й — молекулярная газовая постоянная, й=!,38 10 гз Дж/К Е вЂ” средняя длина свободного пути М вЂ” молекулярная масса газа пг — масса молекулы У вЂ” молекулярный поток газа На — число Авогадро, /т«=6,02 !О'« кмоль1 1«ц — критерий Нуссельта п — молекулярная концентрация газа р — давление газа /7 — универсальная газовая постоянная, /7=8,31 10' Дж/(хмель К) Абсорбция 24 Авогадро 12 Адсорбат 24 Адсорбент 24 Адсорбция — физическая 24 — мономолекулярнав 35 — палимолекулярная 34 Бар 13 Больцман 12, 19 Блистер-эффект 132 Быстрота откачки 79 — действия 79 — геометрическая 83 — эффективная 79 Бурдон 137 Вакуум низкий 22 — средний 23 — высокий 23 Вероятность конденсации 32 Водородная «болезнь» 254 Время адсорбцин 28 Ке — критерий Рейнольдса д — электрический заряд Π— гззовый поток в условных единицах 3 — быстрота откачки з — растворимость газа в твердых телах à — время Т вЂ” абсолютная температура о — скорость молекул газа У вЂ” объем Вг — мощность Р— проводимость элемента ваку.

умной системы 2 — сопротивление элемента вакуумной системы сз — коэффициент аккомодации Т вЂ” вероятность конденсации моле. кул Ч вЂ” коэффициент динамической вязкости )г — коэффициент теплопроводноности газа р — плотность газа е — телесный угол Газ балластный 95 Газоаиализатор времяпролетный 163 — динамический 157 — квадрупольный 165 — магнитный !58 — монополярный 165 — омегатранный 161 — статический !57 Газовыделение диффузионное 199, 235 — десорбционное 234 Газовроницаемасть 40, 197, 238 Геде 5 Гей-Л1асак ! 2 Герметичность 182 Гигроскопатор 209 Градуировка преобразователей об.

щих давлений 153 — парциальных давлений 167 Давление запуска 81 — наибольшее выпускное 82 — — рабочее 81 Френдчих 242 фоторопласт 256 Хемосорбция 26 Цеолит 130 316 — наименьшее рабочее 80 — предельное 80 Дальтон 11 Десорбция 24, 42 Диффузия 52 Закон Бойля †Мариот !2 — косинусный 33 Затвор 286 Измерение газовых потоков 173 Изотерма адсорбции 34 — э-образна 35 Испаритель прямоканальный 1!9 — подогревный !19 — электронно-лучевой 1!9 — дуговой 119 Керамика алундовая 255 — стеатитовая 255 — форстеритовая 255 Клей эпоксидный 258 Кнудсен 6, 22 Концснтрация газа 9 Коэффициент адсорбируемости 123 — аккомодации 48 — диффузии 53 — захвата 70 — использования насоса 80 — компрессии 97, 106 — подачи 83 — относительноьй чувствительности 148 — стоимостной 203 — угловой 68 — чувствительности 146, 150, 152 Лэнгмюр 6, 35 Ловушка адсорбционная 93 — ионная 93 — конденсациоиная !!1 — механическая 93 — сорбционная !12 Масло вакуумное 90.

109, 299 Масс.спектрометр 158 Манометрический преобразователь гидростатический 139 — деформационный !3? — компрессорный 140 — магнитный !49 — мембранный 138 — радиоиэотопный !51 — тепловой 141 — электронный 145 Моделирование имитационное 73 Насос бустерный 108 — вакуумный 79 — диффузионный ! 02 — двухроторный 91 — жидкостно. кольцевой 87 — золотниковый 89 — ионна-сорбционный 132 — криосорбционный 129 — магниторазрядиый 133 — механический 81 — молекулярный 95, 99 — пароструйный 109 — пластинчато-роторный 88 — пластинчато-статорный 89 — поршневой 86 — ротационный 88 — турбумолекулярвый 101 — фракционирующий 110 — эжекторный 102 Натекание 182 Натекатель 286 Нестабильность зргонная 135 Нуссельт 47 Оже.спектрометрня 17! Откачка ионная 116 — криадсорбционная 123 — криоконденсационная 121 — молекулярная 95 — объемная 82 — параструйная 102 — хемосорбционная 117 Паскйль 12 Пайка мягкая 258 — твердая 258 Пеннннг 149 Пицеин 258 Плотность газа 11 Проводимость 57 Производительность нзсоса 79 Поток газа массовый 56 — прямой 83 — обратный 83 — условный 57 Рамзай 30, 258 Разрешающая способность 156 Расчет вакуумной системы провепочный 214, 246 — проектировочный 218, 247 — времени откачки 240 — централизованный систем 231 — форвакуумного баллона 245 Растворимость газов 38 Режим течения молекулярный 58 — квазистационарный 234 — молекулярно-вязкоствый 58 — вязкостный 58 — нестационарный 234 — стационарный !86 Резина белая 257 — черная 257 Рейнольдс 58 Сварка газовая 264 — газодуговая в защитной среде 264 — лнффузионная 264 — холодная 264 — электродуговая 264 — электронно.