Розанов Л.Н. Вакуумная техника 1990, страница 56

лучевая 264 Силнкагель 130 Сильфон 265, 278, 283 Скорость газовых молекул 14 — испарения 32 — конденсации 32 — адсорбции 41 Совместность работы насосов 196 Соединения металлической прокладкой 272 — резиновой прокладкой 269 — разборные 266 — фторопластовым уплотнителем 272 Сопротивление трубопровода 57 Сорбция 24 Спаи металла со стеклом согласованные 26! — несогласованные 262 Средняя длина свободного пути 19 Степень покрытия поверхности 41 Степень черноты 48 Схема вакуумная 205, 317 — принципиальная 205 — типовая 205 — централизованная 2!1 Сюзерленд 20 Теплоемкость газа 47 Теплообмен 46 Теплота испарения 26 — миграции 27 — хемосорбции 26 — физической адсорбцин 26 Теченскание высокочастотным разрядом !81 — люминесцентным методом 181 — пробным газом 178 — пузырьковым методом 18! — радиоизотопным методом 181 Течеискатель масс-спектрометрический !83 — галогенный 185 Течь 177 Торр 13 Тройная точка 29 Трубопровод эквивалентный 190 Уголь активный 130 Уравнение газового состояния 1! — вакуумной техники основное 80 Условие нестационарности потока 234 Устройство для передачи в вакуум вращательного 280 — возвратно-поступательного 28! — качательного 283 Энергия — взаимодействия двух молекул 24 — взаимодействия молекулы с поверхностью 25 — ионизапии 51 Электрические вводы высоковольтные 286 — снльноточные 285 — термопарные 285 Эффекты взаимодействия молекул — дисперсионный 24 — индукционный 24 — ориентационный 24 Глава 4.

Механические методм получения вакуума 3 4.1. Общая характеристика вакуумных насосов 9 4.2. Механические вакуумные насосы 3 43. Объемная откачка 9 4.4. Конструкции объемных насосов 9 4.5, Молекулярная откачка 9 4 6. Конструкции молекулярных насосов 9 4.7. Пароструйная откачка 9 4 8. Конструкции пароструйных насосов Контрольные вопросы ОГЛАВЛЕНИЕ Глава 5. Физико-химические методы получения вакуума 9 51. Общая характеристика 9 52. Ионная откачка й 5.3. Хемосорбционная откачка 3 5 4. Конструкции нспарительных насосов й 5 5.

Криоконденсационная откачка $ 5.6. Криоадсорбционнаи откачка 3 5 7. Конструкции криогенных насосов $ 5 В. Ивино-сорбционная откачка 9 5.9. Конструкции ионно-сорбцнонных насосов Контрольные вопросы Сгр. 3 Предисловие 9 11 н единицы 12 13 18 19 22 23 6 6.1, Классификация методов н приборов лений $ 6 2. Деформационные преобразователи 9 6 3. 1 идростатические преобразователи 3 6.4. Тепловые преобразователи 3 6.5. Электронные преобразователи 9 6 6. Магнитные преобразователи 9 6 7. Радиоизотопные преобразователи 9 6 8.

Градунровка преобразователей для Контрольные вопросы Г л а в а 7. Измерение парцнальных давлений $7.1. Методы измерения 9 7.2. Магнитный газоанализатор 3 7 3. Панорамный газоанализатор 9 7.4. 1!иклотронный газоанализатор (омегатрон) 9 7.5. Времяпролетные газоанализаторы 9 7.6.

Электрические фильтры масс 9 7.7. Градуировка ионизационных газоанализаторов 9 7.8. Термодесорбционный масс-спектромегр $7.9. Оже-спектрометр Контрольные вопросы Глава 3. Физические процессы в вакууме 9 3,1. Вязкость газов 9 3.2. Перенос теплоты в вакууме 9 3 3. Электрические явления в вакууме $3.4. Диффузии в газах $3.5. Режимы течения газов $3.6. Расчет характеристик течения газа методами механики сплошной среды 9 3.7.

Течение газов через отверстия $ 3.8. Течение газов в трубопроводах $3.9. Расчет молекулярных потоков методом угловых коэффициентов 9 3.!О. Имитационное моделирование молекулярных потоков Контрольные вопросы 43 43 46 50 52 56 59 60 63 68 73 78 $8.1. Методы измерения газовых потоков $8.2. Методы течеисканин 9 8.3. Требования к герметичности вакуумных систем 9 8.4. Аппаратура длн определения герметичности Контрольные вопросы 318 Введение 6 В.1. История развитии вакуумной техники 9 В.2. Применение вакуума в науке и технике Г л а в а 1.

Физика вакуума $ 1.1. Понятие о вакууме и давлении $ !.2. Газовые законы 9 !.3. Частота соударений молекул газа с поверхностью давления $ 1.4. Распределение молекул газа по скоростям 1.5. Атмосферное давление 1.6. Средняя длина свободного пути 9 1.7. Понятие о степенях вакуума Контрольные вопросы Глава 2. Сорбционнме делении в вакууме $ 2.1. Энергия взаимодействия 9 2.2. Время адсорбции 9 2.3.

Конденсация н испарение 9 2.4. Адсорбцня газов и паров й 2.5. Растворимость газов в твердых телах 9 2.6. Степени покрытия поверхности Контрольные вопросы 23 23 28 29 34 38 41 43 Глава 6, Измерение общих давлений Глава В. Измерение газовых потоков дли измерения общих дав измерения общих давлений Сгр. 79 79 81 82 66 95 99 102 10Й 1!4 115 1!5 1!6 1!7 119 121 123 128 131 132 136 136 136 137 139 14! !45 149 151 !53 155 155 155 158 160 16! 163 165 167 170 17! 172 173 173 178 !82 183 185 3!9 Глава 9. Стационарный режим работы вакуумных систем $932 Распределение давления в вакуумной системе $9,2. Соединения арматуры и откачиваемых объектов $ 9.3.

Соединения насосов 9 9.4, Расчет газовых нагрузок $ 9 5. Выбор коэффициента использования насоса при стационарном режиме работы $96. Типовые схемы вакуумных установок ф 9.7. Проверочный расчет вакуумной системы в стационарном режиме работы $9.8. Пример проверочного расчета вакуумной снстеиы в стационарном режиме работы $ 9.9. Проектировочный расчет вакуумной системы в стационарном режиме работы $ 9 !О. Пример проектировочного расчета вакуумной системы в стационарном режиме работы $9,11. Расчет централизованных вакуумных систем Контрольные вопросы Стр.

186 Гбб !88 !92 197 201 205 217 218 222 231 233 объектов 292 294 Приложения Литература 314 315 315 Г л а в а 10. Нестационарный режим работы вакуумных систем $ !03. Условия квазистационарности ф 10.2. Расчет газовых нагрузок 9 10.3. Расчет времени откачки сосредоточенных объектов $ 10.4. Расчет времени откачки распределенных вакуумных 9 !0.5. Расчет форвакуумных баллонов 9 10.6. Методика проверочного расчета $ !0.7. Методика проектировочного расчета Контрольные вопросы Глава 11. Конструирование вакуумных систем $1!.1.

Конструкционные вакуумные материалы ' 11.2. Вакуумно.герметиччая пайкз ' 11.3. Сварные герметичные соединения ф 11.4. Разборные вакуумные соединения 9 11.5, Вакуумные трубопроводы 2 11.6. Устройства для передачи движения в вакуум 9 11.7. Злектричесие вакуумные вводы 9 11.8. Вакуумные затворы Контрольные вопросы Заключение Обозначения основных физических величин Предметный указатель 233 233 234 240 244 2,16 246 247 250' 250 250 258 264 266 276 279 285 286 292 .