Розанов Л.Н. Вакуумная техника 1990, страница 54

СЪ СЪ о СЪ СЪ СЪ СЪ Съ с'ъ о о о о С» НЪ Съ х ь х О х сс О Т СЪ Ъ СР ! СЪ й Н а С СЪ съ о й СЪ СЪ о Ъ о СЪ о СР СЪ О о О к з Ф й Й и о ъ Ъ ф х О, и Ох й Ъ ййо о" О С съ съ й ЪЪ й ! Оай,„ О й С 3 "„ чвохъ9св 'ВРЪВН ВВННВВОЯ ЪНРЪС» "я ЕИ ВЪЪВ ЧСЪОВСНВД СФЧВС х Сй,*"' й Л й йс" „йо, Ях йй"*с хй й й С й Иа Ийй О йо х й С й О с им ЪЪ сй х съ ф О,Х О ОФ ~ЪЬ 3 с',ъ о о 'о о о- о о о оо о о о сч о СР О НР о о о 'Ъ СЪ ъ о о о о Ъо о о о 'о сс СЪ О о о оо Ж СЪ О СЪ о о о о о о о о о ЪО о о о о Ъ' Ъ' о о СЪ О ЪО О сч о оооо оо осчЯ съ съ о$о о СЧ СЪ СЧ сч сч о о о о о ой със л сс ооо о Ъ СОСО НЪ СЧ о о о СЧ СЪ СЪ сс СЧ ОЪОО с» сч ъ с'Ъ ОР ОВЪНЪ О Ъ ОЪСЧ О ОЪ оиъсь о съсссс съ 'Ъ'С ОЪ С СЧ ОЪО О СО Ч" СЧ СОСО Ъ ЪО с О О Ъ" О О Ф.

и х хх 3 х м О Ф ! СЪ > Ъ О о О О х х О Р Ф к х О 'О О А Ъ х О. Ф хм ь х ах Ъ о О' О Ф1 с С4 х 295 294 СЪ с $ о о СР Е" о о о С $ о о о СР о СР В- ! > й й й й съ Ю \" й с с Х й Р й С ОО й съ х сн О Ф Ф х ( х в' съ Ф х ХО Ъ Ъ ОФ Ф х с Ъ о о д х с О о сс О х х ь Ю Ойй О й ФО х ЪО Ъ х Ъ С. Ъ ОО ЪО х о с О Ц ХО О Е й х х о х~ О О О Ф х * ХО О О М х О с Ъ Ъ Ф Ф О Н О. я ь ВС ь о„О„- а. Ъ,с х Ъ с ь о с О оХ О Ф й с х С» С» х Ф Ф «» Ф Ф т С» С» Ю СЧ о о «3 С» Ю Р С» С» СР х» СР о о о 8 Ю О тюо ОО СР 'С' «'» ХР ь.

сч о о с» о о о сч «о :О сО СЧ «О О »О О СР «Р Р С» 4 С С'3 О СЧ ь Я х С» С» ОР СР" СР СР СР со Ю с о о о сч о о с» о Ооо О «Ост » сс О «'О СЧ С'4 о ооо о Ю О» «Ч СО Х» 4 С'4 С4 СР \' «О «Р С» «о С» С» С» С'4 СР СР С'4 В СР о 4» О» 4 О О О О Ф» о С 3." сР «0 Ю »О О ООО О 3 О 3 4 йЪ СО оооо со С О 00 о сч » Ю С4 С» СР СР СЧ С» с» о \:О 00 о о о \' 03 СО 4 С'3 В Р В о х х х О о о о Ю О о «Р «О О О О «О О Ь О ' 4 "Р «'» О«ОО О о о о сч о 04 С» С» СР Ю о о о о «О 00 «О «О О О «» сс со Ч' Х3 О» »О О сч о Ю о о '3' 3 ь'. СР Р о» С» СР оюю о СР« СО О О«ОО Ю С» С» С» СР ВР о сч С» С3 С» С» ВР СР о ! О О о СО 00 00 х'» 3 о ь. о С» о СР О О О«О О сч а о ос со сч О»ОО О с» с.

С» С» о «Р С» С» С» С» С» О О О 0» ОР Ю о о ю 3 О о 03 03 о СР Р С» СР о ю со СЧ О ЮО«О Л х»С» О сО сч ЧР 'С' РР о с» о 00 СО С» СЧ Я о сч" а о о о, $ х ы х х о о 4" о С 03 4 С о «О Ф о Ф Ю о с х «О о Ф о о х х н х Ф х о Ю Ф о, т а Ф о о х х н Р 03 н о Я 33 х а 3 Р хх 3 3" ь н ФЗ аф ОХ Ф Ф х о ФЛ ах 44 Ф н „х 3 х хх хх от х„; Б,' с С(х х о Ф Фь ф хх ~( х 3- Х о х й' о ь т о х 3 н х' о ы х о и С» Фх х, 0 н н 3 297 296 т х с 3 33 3 х х В В В о т о ох о х о.

н Ф х 3 х о 4" » от т Ф о. 4 й о Ф Ф Фо » он т Я и и н ц ао 1 Ф 40 н о х о 0 С СР о 3 Я Ф н,о Ф н х И д- 'О Ф» о н Х н" о о н ь х «3 Ф хо О о Мх Ф ь « Ф х Ф о ( о 3 х Ф О\ и Я М х д о н ь о н О х",й %:", о о о т х т с О \ х с О т В о о ох о ас Ф Ф Ф х В Ф ° 3 Ф ФО от х «3 ь х о. 4 х о "н х Ч ЮФ '" 'Ф Ф » о н О с н 43 ао 1" Ф х х с» .С х н о он Ф «О н ф то Х 3 о о ~с х Й Я 3 М х о х С х я х х т 3 Х х СЭ С СЭ Ю СЪ р ь о Сэ-, ю- ' - - ! ! ! ! !!!Ы ! СЪ ао рось о СЧ СО С Э Э Э' СЭ СЧ Ю ЭЭЪ с СЭ 3 3 Ф Ы ю ю съоо о о сэ аосоы ао сч э ю о ! ! ! ! !!!о СЭ Ю ЭСЪ О сэр о 'сч Ю г ОЪОСЪ ЭО Го Г Юч' СО С'Ъ СО СО СЪ Ф О Ф Х 3 1 СР ОЪ 3 Ф О 3 с О сэ С о ' ю р сч ! ! ! ! ! ! ! Оъ О сО Ю с О О Р С'РОЮ ОЪ О СЧ Э' СО Э' СЭ Ю Ю «а«'Э с« 3 Ы о О «О О, Ю СР ОЪ о ! Ю Ор о о о о С'Ъ ~ РЪ эо о «Р р юСО ф О о ю о о ХИ о в 00 о «ОООО О СЪ э'юса «Р «О СО С Ъ СО Х 3 О.

О Э О О Х «с Ф ЭЭЪ о О о .«ч о Э о о ОЪО О 00 Ъ Э' Ю С'Э ОЭ о о а'««э сч Ю Ю э.О Ю аУ о фЕ х" сч Э о о «Р О РО Ого ГО го о г-со сэ о СЪ со со с'ъ Х Ф ь О Ф Р «Э гэ о ю, о СЧ СР с'ъ о о ГО ОЪ Ю юэ гъ ю СО 00 СЧ СЧ о сч сч Сэ И\ Р'Э «ЪОИ О о ° о о Е Оъ о фО о Я Ю !!!- ОЪ ро р Ю « 'сч о о ао о о о г Ф О О О О 3 О Эа аэ О Ф О О О О Э О Р О сэ О О В": К Х Р' О 'О О. 0 О Ф Л О О Ф И а эО «Р О Ф Х О '„' л~ ОЫ О О О,Ф х а Х О Э г О г.

) О О У 299 О Ф О Ф «Э Ф О. «э Ф Э Ф Х Р' О Ф О г и О О О г Ф О Ы О Й Ф я га Ы % О .а Б ЮФ ОО Ф Х Х о ы 3 О О О О 3 О са 3 Э Ф х О 3 Ф Ф О Ф О Я Ф О О « Х Х О. О 3 3 3 О С 32 Х 3 Х и О 2 и О О г О О О Э Х О сэ х г 3 С Э О С о Ф Ф Ф О Ф 0 Х Ф Р' о О 0 О О Эа Х «Э Х Р Ы гэ О О Ф Ф О Ф Ф Э Ф Х О О О Э сэ О с„«„Ф 3ФФ ф О О О О Ф Р' Х О» Ф С Э" 3 Ф :х Зх ФО ЙО д а ОХФ ОФ ыс ос О.Ф,Э Ф Ф о 3 О О Э О Ф г О Ф 9 Ф О Ф ь М «Э ФФ Х Э, О й О Ф,. ЫО о ю »» а Ф О О О б » 3 О3 О,3 г" 3 ь3 3„- 3„- ФХ ФХ 3 ы 3 г йь 3 3 Ф х а 3а 3 «Э ь Я Ф аХ Ф 3! О С Мийа О М О !' О СО и» !'» с» 40 сч С3 о сй СР о 8 о СО с с о сч о о м ООСч о .О 363 04 03 00 Сй М с- М О О О О 3~40 О О О О О Сй сй СЧ о С ЫМ О О 30 3»3м о ммлм — — сч о! МийаООО о О Сой»ОС» ~ ~ ~ М с» 8 Я МСО СО ОО 03 :О.О-,.СОС-О ~ ~ ~ О о ъ 30 6 й 0 С 0 ъ 3 Й й 30 с сй и» о м Я о о о сч" с- С'»»Ос» 40 С»4300 Счй с,» 4О ! с 0 ъ О! О О 6» О о о ! и» о 00 с» о 6» С'4 Моо 40 С» С4О С " СЧ Сч 33 0 Д 3 я 2 с х х ! 03 С» 03 !'» :ос»сйсчмооо 1о о с с сч О 30 о, 3- о л 04 о и» и»оо с» сч ! ! 63 о о О С» 6 0 0 сй й с с» О 30 МО О Сй С» СЧ ! 00 40 сч м с» МСЧМОО О ~ ~ О о ! 03 ю й ы и сч о » 60 4О й 0 ъ й О! 0 й' ы Ф ! СЧСЧООСЧС»С-СЧЧ О ,:0»о .сч сйч 6»о о с!Ими»! о о И! с» о о о о" м сч с» и» о" о" О 3ОО О О СЧ 03 С» 30 СЧ Сч 40 й! о О 2 30 о о о о о 3' сч х х х х 0 0.

4 К С» 6»ОСЧ сй Сй Ь О Сч С'4 Сч о х а \ К 0. ! К О й Е и и 0 О й И й О ! Х 3 Ийи О Ф О О Х Х р й О Х » с ъ ъ Ф 0 й 3- а !" 3 оЕ ъ а 63 ай й О ы й ъ~ъ 3КХ Ф ФИ й,й - а" а й Оаа н аый О К а Ой О а и й Й ъ ! О й й 6! й О И »с 0о и Х аай а ы и К 6 О.х К" х и 2 и 3 ха 0 К О О О си Ф 3 О 3- й ! 3 6 ИО ыМ К 0 О И й Ой И 63 йй И 'ий 1 И й И й Оа о ! а И ~О .0 О й м" Ой 3 3 с 6 с~ й а '3 И 30 й а а й 3- 6\ а 3 3- и ъ й а 3 СЪ с О "ъй ,.Ий 6 И ~~ О Ы а 43 О 36 3О аЫ 63 и и зо~ зоо Ы й к ъ и ъ О О. И с Х ъ й ъ » х ъ Ф Ф Х ь и йа Ф И х 7 С'3 сч о 40 О о, о .! о о Сч С'3 о — о ооо о сч .-мс»сч ! С'3 сч о ! ~ ~о сь О ъ И Ф О а а с Х ъ й. 0 сй й ! и й О.

И к о ооос-счсчоооо С»':3403й» Ч'СО СЧ ! '=' 03 Сй Сй о "» о сч :о ОООМ СОООЬо О с- и» С»СЧ С»' ! О С» СЧСЧ 4 \й! СЧ о сч о 'о ооо! исчммм~ СО О ОС с» ОМСО "! 40 3'О о о о о х О а а а и 1 й 3 д 000 й а "Иъй ЫИ Х О Ф И й ы- ха О .

а а И ! 3 6! О й ъ И й Х»,с 3-й Ий Л ФИФЫ айо 3 ый, к ФИ »О! асс а К И 0 лис Ой а" о О И й Ф Ч й й й а иа к а 'О.Й О Ф ы О й м и си а'и Ок 0ОЗ"Ъййаи ОЙИИФКХЪ 63 Ф КОКИ Окйй!».Ои аййаскэыйй а сии О О и О й О. с:1ЯЕХС"Е[»сРИЪ.'! Ф О О ч а К ъ й й й О й О. 3 И Ф й Ф и й сх з И а 46 М а йй И Ф ОИ О Ф -О их а Ои~ а О 'О Х О а ай И О 3 й О ! Ф а йй йъй ~сй Е х 0О а и Х Х О аа ъ ыы О й О и Х ФО С Ий» 43 Ф ъ й й О. ы и И й 63 а и и Ф а да О ФОКИН Ы'О Ъ Ф О Х ИОИЪИ ,0 43 ыйойй ~уъ. 'д х й ИО а И х 3 3 Х О.

Ой ы я ,х О. й И а Ы Х 3 а и О ъй и йй 43 И й О й 3 и О а И » й~ Таблица П9 о й С» Характеристики криоадсорбционных насосов с» роо 3' 4О и» оо Тип»3 наспспи ЦВН-1,0.2 3.10' 10' 0,004 7 10' Диапазон рабочих давлений, Па Быстрота откачки, м»(с Остаточное давление, Па Количество азата, откачиваемое при остаточном давлении, м'Па Расход жидкого азота для начального охлаждения, дм' С» 1 Се со оо о о Н» Е» 4О ооо со сч о 3' Е» С 3 5 10' ...

1О' 0,005 1 !О' 1 10' ... !О' 0,010 3 1О' 5 1О' 1О 0,002 1 10' 1 оо СО С'4 С'4 Е о, с»сесе ооо со сч о 3' С 3 СО 1 101 3 !0' ! 10' 1.10' 1,3 1 о С» Расход жидкого азота в установившемся режиме, дм»)ч Количество адсорбента, кг 1 оо 3 СЧ о ооо О СЧСОСЧ Е» 43 О (ыо О е с'» со 0,35 0,5 0,25 0,25 1,5 0,3 0,1 ср с» Время регенерации цеоли. та СаА.4в при атмосферном давлении, ч Мощность нагревателя, кВт О о о о оч о о со о сч о сч с» с» ооо ао сч о 3' С 3 С 3 оо 0,35 0,4 192 192 390 1,3 0,14 0,83 124 124 390 4,2 с»" О» 1 во Габариты (длинаХширн.

наХвысота), мм СЧ С» с о о о со о сч 3' Е» С'3 оо Масса, кг о С» С» П! оз О о со СО О О сО о О» » с» О ооо СО О Сс '3' СО С4 Таблица П10 1 оо Характеристики вакуумметров кп ОЕ еи а а е шик Габариты 1ллииаХши римахвысета), мм Наименавание вакуум. метра Типы ва«ту ммет- рпв Диана»ен рабочих вав. лений, Па Ппгрешместь нзкевенив, Тип преебра»евателей 4 л м й а В я и м ш ш 4. ш с м и о ьо ш 1 3 М ОО и О м Я Ш О Х м м ш м О.

О. 3 Ш 4О Я ь Х Ы О О д! Дефорыацн- онный Тепловой !О !О' ... 1.10' 3 10-' ... 1 !04 10» 4 10' ВДГ-1 ПМГД-1 ж15 ВТСО-1 ВСБ-1 80х!50х Х 295 39ОХ248Х Х 257 ш о м м д !4 МТ.6 МТ-Б.З ж30 140 302 о В х ц се О. О са и и О. В О. и зс ы О о ш м о О Ы о м м ш( о м О Мс»' О О кг м М ашм га ИК шм м а 44 43 О о м г- О О 43 и с:1 О О Ы В .Е О. о~ и м мы Хй п(м ш м 43 м ~ о х" О О Х м м м он О.