Майсел Л. - Справочник - Технология тонких плёнок, страница 183

629 пульвернзацией 605 тоикнг пленок видоизменение сиоростей травления 620 подтравливание 618, 619 проникновение травнтеля под защитный слой фоюрезисгв 620 — 623 фотохимичесиое 636 химические растворы 604-612 Трехтемпературный метод испарения 123 Трнодные ионные насосы 217 Трубчатые снап с заточкой кромки 264 Тугоплавкие металлы испарение с помощью нагреве электрон. иой бомбардировкой 77 физические свойства 57 Туюплавкие окислы Реакции с металлами 65 — 66 термодинамическая стабильность 84 физические свойства 58, 63 (см.

также керамические подложки) Турбомолекуляриые насосы 184 †1 Угле падения ионов, влияние иа коэффициент распыления 374 Углерод, физические свойства 70 Угол пвлеиия, влияние иа состав пл«нкв 117 Удельное сопротивление подложен 519 — 521 Уплотияющие компаунды, применение лля герметизации вакуумных камер 268-269 Фаралеево темное пространство 409 Физическая сорбция 221 — 223 Фика диффузионное уравнение 230, 239 — 240 Фокусируюшие столкновения при ионнам Распылении 278, 394 Форвакуумные ловушки 182, 295 Фотолитография обратная 624 — 625 Фотомультипликаторы 577, 680 †5 Фотоповторитель 581 Фоторезнст, образование вуали на рисунках в слое 595.

599 Фоторезист, установка для выжигания 614 Фоторезиста пленки адгсзия 6!7 — 620 методы формирования 597 скорости ВЧ катодного травленн» 62)в 630 толщина как функция числа оборотов центрифуги 598 влияние иа образование проколов 620— 623 влияние иа разрешение 614-617 пРактические величины Ит удаление методом разложения па летучие продукты Я4, 6(Ю экспонирование, требуемая энергия 599- 602, 630 источники свет» 600, 631 явления интерференции в ионохроматическом свете 632 Фоторезнста рисунки в слое адгезия бш достижимое разрешение 564, 614, 615 качества 614 †6 окончательная сушка (задублнвание) 603 отклонение размеров 615 †!7 проколы 620 — 623 проявление 589, 594, 602 — 604 Фотореэистов растворы вязкость как функция седержаиия тяердога продукта 597 очнстка 596 — 597 разбавление (разжижение) 59), 693, 594 фильтрация 596-И7 Фоторезнсты основные техиологачеспле трецоваивн $94 МО сфцав н сзойстяв тинных 5$)-62$ йОЯВтнвных 593-596 Фстоуымшшеиве методы 577-м3 объективы 573, ОМ разрешение н требования к полю язобрэ.

жених 578 Фо)чкнзблов. дмэнозитнв лромежугочныя Фотошаблонов дефекты 586. 567 ясследованач МО рвОпространенне з вытравленных тонко. Плэпочных рвсунКэх 0$)-623 Фотошзблонь вакууиное напыление пленок (см. маски для напыления) дла фотолитографии изготовление 571-Огл 577-886 Цетзллнзкровазныа 536-МВ семпсОряпо-гзлондпые, змульснониыа583- стокмость 588 эталонные 577 сОстзвленне рисунка 586 хйомирозанне 588 †5, ОМ Х Хелмерз манометр М7 Хемасорйныа ХЦ-Ж4 обмякни Газов на ги)терирую)цих метая. лОх 207 ИО Хнцвкескве реакции иосвтановкызпя (Ккмнчолгос осаждаюю) 47! — 472, МТ вЂ” 466 прв осаждении пленок 473-477, ЯТ вЂ” (М Хякйческпе соединения, ионное расиыдение 462 — 455 Химическое распыление 443 Хладмш)гонты аля криогенаой откачка !96- Хром зарйат кваьорода в процессе аспарания (ы Нз.

30о ашыфптела И-61 травление тонких пленок 606 Хром-ыоиоякась кремния, планка испарение методом вспышки 86, !33 Ц Цеолнт сиитеючесйий (см, иолысулярные свтз) цпкдондальиые аязлпзаторы остаточных газов 315 Цнлйндрнческэя геометрия электродов при Йсмиом Распылении 416 Ц Чэс$)та переменного неприменна, запалые йа ионное распыление 445 Частота столкновений частиц мэа е яе верхиостью 30, 111-112 Б еровой кран 237 евроиные отражатели 190 Шероховатость Поверхности срааивврифметнчсскав 506 среднехвадратнчная 507 карактернзапия 507-6!О Эвтеятический праной, зайка 2$7, ИВ ЭВРп днсю! 578, 5$6 Эйрн формтлв 576 Энвстомеры механпческяе сво6стэв 270 проницаемость 246, ЗИ скорости газовмделенва 267 †2 Электродуговав сварке М — МО с аоаьфрамоемм пагодам Э)9-ЯМ Электронна.

законы 464 Электролвтическое осаждение (см, лимане. скпв реекцвк восетпшнншияп й раакинн замещения) Электронно.лукавив сварка МО-ЯВ! Электронные васесы (М Электронные пушкк длкннофокусные 76-74 с цагином траекм)рпи влектгоинего лу. чэ 75 с нспаряемым анодом 7$ с веаависнмым анодом 74 Электростатические геттерно-конные цасо сы (см. нспзритюыиыа иэпп!за песо сы) Электрохнмпческнй потенциал 6)4-»М р лектрохнмнческий эквавалент 464 лектрохнмическое осежденпе 464-4Т), 46Т вЂ” 488 элементов 4М вЂ” 4М Энергетические нейтралн 435 я геттерно.яоиных насосах МВ Эпитзкскк давление прн реактивном Рвспыхаввк 4М температура 118-!2), !И-)29 Эталоны масс.спектров остаточных газов 337-338 Эффузноииые ячейка, распределение осэм.

денных пленок по толщине 45-47. И- 84 Эффузия 38, 45 — 46 Юнее модуль упругости влияние нз стойкость подложек к тер. моудзру ИЯ ИБ МИН технологии тонких пленок СПРАВОЧНИК Под редакцией Л. Майсселв, Р. Глвиги Перевод с английского под редакцией М. И. Елиисоиа, Г, Г. Смолко Редактор В. Г. Мажарова Художественный редактор И. Б. Вендрева Обложка художника В. Р Караева Технвческкй редактор А.

А. Белоус Корректор Л. А. Макскнова Сдаяа в набор ге~У.уб г. Подписана в печать 344И-уг г. Формат 60хЯО'йз Бумага ткпограбыкая ю 3 ОбъеМ 4пб уел. я. л.. 6К930 уч.-ввд. л. Ткраж 90000 зкв. Зак. 3Щ. Иена 4 р. 00 к, Издательство «Советское радио», Москва, Главпочтамт, а/я 693 Московская типография Ю 4 Союзпслвгрвфпрома прн Государственном комитете Совета Мннкстров СССР по делам издательств, паляграфнн к княжной торговли Москва, И-4К Б, Переяславская, 46, В справочнике приведены данные: по различкым методам получения пленок, по структуре пленок, методам ее исследования н зависимости структуры и параметров пленок от технологии; по фнзическин свойствам полупроводниковых, диэлектрических, ферромагнитных, пьезозлектрических н сверхпроводящих пленок.

Справочник является универсальным справочным пособием для инженеров и конструкторов радио. злектронной аппаратуры, разработчиков интерральных микро. схем и радиоэлектронных элементов, научных работников, ас. пнрантов и студентов. Книга издается в дй:ъ:томах, В первый включены гл. 1 — 7; во второй — гл. 8 — 2!. $0407-988 Т 0481йЦ 77 84-77 0ФО. 3 Технология тонких пленок (справочник), Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Пер. с англ. Под ред. М.

И. Елинсона, Г. Г. Смолко. Т. 1. М. «Сов. радиои, 1977. 664 с. с ил. .