231a_v025 (810494), страница 8
Текст из файла (страница 8)
7. Технические характеристикиСоединительный фланецDN 25 ISO-KFМаксимальное измеряемое давление105 Па | 750 Торр | 1000 мбарМинимальное измеряемое давление5 · 10−7 Па | 3,75 · 10−9 Торр | 5 · 10−9 мбарТочность измеренийв диапазоне 1 · 10−7 – 1 · 10−3 мбар : ± 25%в диапазоне 1 · 10−2 – 100 мбар : ± 15%Метод измеренийдатчик Пирани, терморезисторный вакуумметр /ионизационный датчик с холодным катодомЦикл измерений40 мсИнтерфейс управленияRS-485 / RS-232Корректирующие коэффициенты для ионизационного датчикас холодным катодом или относительная чувствительность в молекулярном режиме (1 · 10−1 мбар): 2,39 (H2), 5,93 (He), 0,80 (Ar), 0,74 (CO2).
Корректирующие коэффициенты для датчика Пирани такие же, как и в вакууметре PPT 100.Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации —Operating instructions MPT 100 Pirani/Cold Cathode Transmitter(PG0017BEN_E)27452.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаРис. 24. Зависимость показаний от типа газа4Б. Кран-натекатель EVN 116 (КН) 28Табл. 8. Технические характеристикиСоединительный фланецDN 16 ISO-KFДиапазон контролируемого потока5 · 10−6 мбар л/с – 1000 мбар л/сУровень герметичности1 · 10−9 мбар л/сМаксимальный перепад давлений2,5 мбарЗапертый «мёртвый» объём0,032 см3Более подробные данные смотрите в руководстве по эксплуатации — Operating instructionsEVN 116 Dosing Valve (BP5005BEN)28462.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаРис.
25. Градуировочная кривая472.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаПриложение В. Работа с файлом данныхПример структуры данных в текстовом файле показан в табл. 9.Ниже представлен способ обработки фала с данными с помощью редактора электронных таблиц Microsoft Excel 29 версии 2007 и выше.
Рассмотримпоследовательность действий для графического выведения записанныхпараметров:В.1.Загрузите данные из текстового файла в программу. ↓Для этого в программе Microsoft Excel откройте необходимыйлист, выделите мышкой левую верхнюю ячейку, перейдите на вкладку[Данные] и в группе [Получение внешних данных] нажмите [из текста]для загрузки данных из полученного в работе текстового файла. В появившемся окне выберите необходимый файл и нажмите кнопку [Импорт]. После этого откроется окно [Мастер текстов (импорт)] для выполнения нескольких последовательных шагов.В.2.Выполните необходимые действия для корректного отображения данных.
↓Для этого на первом шаге окна [Мастер текстов (импорт) — шаг 1из 3] укажите формат данных [с разделителями], укажите начать импортсо строки: 3 (первых две содержат техническую информацию) и нажмитекнопку [Далее]. На втором шаге [Мастер текстов (импорт) − шаг 2 из 3]укажите, что символом-разделителем является [знак табуляции] ([пробел]и [запятая] не выбирайте). При этом образец разбора данных должен поделиться на колонки однотипных данных.
Для завершения импорта в программу нажмите кнопку [Готово]. Выберите, на какой лист следует поместить данные в следующем окне и нажмите кнопку [Ок]. В результатеописанных действий в программе отобразиться таблица с колонками записанных данных.В.3.Удалите все лишние нечисловые данные. ↓Для этого вызовите окно [Найти и заменить] сочетанием клавиш[Ctrl+F] и перейдите на вкладку [Заменить]. В поле [Найти:] введите«mbar» (без кавычек), а поле [Заменить на:] оставьте незаполненным, инажмите кнопку [Заменить всё].
В результате единицы измерения давления в каждой ячейке будут удалены, а останутся только численные значения.Выполните аналогичные действия с другими неиспользуемымипри обработке данными: с текущей датой в формате «YYYY-MM-DD,»,надписью «underrange», надписью «--- no data ---», единицами измерениячастоты «Hz», единицами измерения мощности «W» (см. табл. 9). После29Официальный сайт программы — https://products.office.com/ru-ru/excel482.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаэтого на странице останутся только 5 колонок с данными, необходимымидля анализа.В.4.Переведите время в формате «hh:mm:ss» в секунды.
↓Для этого просто создайте ещё одну колонку с отображениемвремени в секундах: 0, 2, 4, 6, 8, … для всего периода измерений. Достаточно заполнить первых две ячейки числами 0 и 2, выделить их, навестимышь на нижний правый угол рамки выделения отмеченный точкой, идвойным щелчком левой кнопкой мыши продлить зависимость на весьвременной интервал.В.5.Далее можно приступать к построению необходимых диаграмм спомощью группы [Диаграммы] на вкладке [Вставка].
Полезно сначалапостроить зависимости на всём временном интервале для наглядности, адалее выбирать необходимые части для детального анализа согласно плану обработки экспериментальных данных.49Табл. 9 Структура данных текстового файластрока 1строка 2строка 3строка 4строка 5……строка Nстрока N+1строка N+2…____________−−−−−−−−−−столбец 1столбец 2столбец 3столбец 4столбец 5date(YYYY-MM-DD hh:mm:ss)2016-04-23, 13:36:582016-04-23, 13:37:002016-04-23, 13:37:02……2016-04-23, 13:38:362016-04-23, 13:38:382016-04-23, 13:38:40…COM#.00#: PPT 100P740: Pressure (mbar)underrangeunderrange--- no data --……--- no data --7,5E-4 mbar8E-4 mbar…COM#.00#: MPT 100P740: Pressure (mbar)1,1E-5 mbar1,1E-5 mbar--- no data --……--- no data --8,1E-4 mbar1E-3 mbar…COM#.00#: TC 110P309: ActualSpd (Hz)682 Hz679 Hz--- no data --……--- no data --449 Hz446 Hz…COM#.00#: TC 110P316: DrvPower (W)0W0W--- no data --……--- no data --0W0W…строка 1 — названия отображаемых параметров;строка 2 — единицы измерения отображаемых параметров;строки 3, 4, …, N, N+1, N+2, … — значения параметров;столбец 1 — дата и время соответствующих измерений;столбец 2 — данные по измерению давления вакуумметром PPT 100 в миллибарах;столбец 3 — данные по измерению давления вакуумметром MPT 100 в миллибарах;столбец 4 — данные по скорости вращения ротора ТМН в герцах;столбец 5 — данные по потребляемой турбиной ТМН мощности в ватах;underrange — давление ниже предела измерений вакуумметра PPT 100;--- no data --- — данные не получены.2.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаПриложение Г.
Соотношения между часто используемымиединицамиДавление [L−1MT−2]:1 Торр (мм рт. ст.) = 133,3 Па (Н/м2) = 1,333 мбар = 19,337·10−3 psi;1 Па = 0,01 мбар = 1,45·10−4 psi = 7,5·10−3 Торр;1 мбар = 1,45·10−2 psi = 100 Па = 0,75 Торр;1 psi 30 = 51,715 Торр = 6894,8 Па = 68,948 мбар.Быстрота откачивающего действия (скорость откачки), пропускная способность (проводимость) [L3T−1]:1 м3/час = 0,278 л/с = 278 см3/с;1 л/с = 103 см3/с = 3,6 м3/час;1 см3/с = 3,6·10−3 м3/час = 10−3 л/с.Поток, производительность, натекание [L2MT−3]:1 Торр л/с = 0,133 Па·м3/с = 1,33 мбар·л/с = 1,3 sccm;1 Па·м3/с (Вт) = 10 мбар·л/с = 10 sccm = 7,5 Торр·л/с;1 мбар·л/с = 1 sccm = 0,75 Торр·л/с = 0,1 Па·м3/с;1 sccm 31 (атм.·см3/мин) = 0,76 Торр·л/с = 0,1 Па·м3/с =1 мбар·л/с.Фунт-сила на квадратный дюйм (англ.
pound-force per square inch, lbf/in²) — внесистемнаяединица измерения давления.31Стандартный кубический сантиметр в минуту (англ. standard cubic centimeters per minute,cm3/min) — единицы измерения потока в см3/мин при стандартной температуре (0°С) и давлении (760 мм. рт. ст.).30512.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаСписок литературы1. Овчинников К.А. Измерительные приборы в лабораторном практикумепо общей физике. Приложение к сборнику лабораторных работ:Учебно-методическое пособие. М.: МФТИ, 2003.
48 с.2. Сивухин Д.В. Общий курс физики: Учеб. пособие для вузов. В 5 т.Т.2. Термодинамика и молекулярная физика. испр. и доп. 3-е изд.М.: Физматлит, 2013. 792 с.3. Гладун А.Д., Александров Д.А., Игошин Ф.Ф., Коротков П.Ф., КорявовВ.П., Овчинников А.П., Самарский Ю.А., Теврюков А.А.Лабораторный практикум по общей физике: Учебное пособие. В трёхтомах. Т. 1. Термодинамика и молекулярная физика.
испр. 3-е изд.М.: МФТИ, 2012. 292 с.4. Умрас В., редактор. Основы вакуумной технологии. 00.200.07-е изд.Кёльн: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, 2007. 225 с.5. Шешин Е.П. Вакуумные технологии. Догопрудный: Издательский дом«Интеллект», 2009. 504 с.6. Плисковский В.Я. Конструкционные материалы и элементы вакуумныхсистем. М.: Машиностроение, 1976. 64 с.7. Рот А. Вакуумные уплотнения.
М.: Энергия, 1971. 464 с.8. Сивухин Д.В. Общий курс физики: Учеб. пособие для вузов. В 5 т.Т.1. Механика. стер. 6-е изд. М.: Физматлит, 2013. 560 с.52.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
