231a_v025 (810494), страница 6
Текст из файла (страница 6)
Определите скорость откачки системы насосом ДНпо улучшению вакуума во время откачки согласно пп. VII.2. 20 Для получения требуемых параметров используйте файл с записанными данными.III. Измерение скорости откачки турбомолекулярным насосом и определение предельного вакуумаОтсоедините сильфон от установки. ↓Внимание: во время демонтажа ко всем вакуумным поверхностямсоединительных элементов, включая уплотнительные кольца,можно касаться, только используя латексные перчатки! После окончаниядемонтажа поместите все неиспользуемые вакуумные детали в герметичный пакет с замком.Отсоедините сильфон от установки и установите заглушку Зна кран МК3.
Откройте кран МК3, чтобы убрать из установки запертыйобъем с воздухом между заглушкой З и краном МК3. Убедитесь,что натекатель КН закрыт.III.2. Откачайте установку форвакуумным насосом ДН (см. пп. II.2).III.3. Откачайте объём турбомолекулярным насосом ТМН. ↓Откройте шибер ШЗ, закройте кран МК2. Определите по схеме,по каким магистралям и какие объёмы будут откачиваться двумя насосами при данном состоянии кранов.Для включения насоса ТМН снимите его блокировку:[set random parameter value] → [023: MotorPump] → [set value] (переведитеиндикатор в зелёный цвет) → [set to selected value]. Отметьте время началаработы насоса ТМН.Откачайте установку до предельного давления, которое можноопределить по динамике показаний вакуумметров. Если по истечении ~5минут скорость вращения турбины не выйдет на предельные90 000 об/мин (см.
прил. 2Б), остановите откачку (кнопка [pumping station]окна блока БУ [COM#.00#: TC 110]) и ещё раз проверьте состояние кранов.III.1.20Обработку данных рекомендуется выполнять после завершения работы на установке.332.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаПроанализируйтеработувакууметров.Убедитесь,что терморезисторный вакуумметр В1 достиг своего предела измерений,в товремякак комбинированныйвакуумметр В2(точнееего магнетронная часть) продолжает отображать корректное давлениев системе.
Зафиксируйте предельное давление в высоковакуумной частиустановки и время откачки установки насосом ТМН.III.4. Определите уровень течей и скорость откачки системы. ↓Закройте шибер ШЗ, при этом давление в системе начнёт повышаться за счёт наличия течей. Получите таким образом зависимость показаний вакууметра В2 от времени. Когда давление превысит 3·10−3 мбар,снова откройте шибер.Получите зависимость показаний вакуумметра В2 от времени после открытия шибера. Снова зафиксируйте предельное давление.
Времяснятия показаний по пп. III.4 не должно превышать 10 мин.III.5. Измерения по пп. III.4 повторите ещё 1−2 раза, каждый раз фиксируя время закрытия и открытия шибера ШЗ.Если достигается приемлемая повторяемость, можно переходитьк следующей части задания.Расчетное время выполнения части III задания не более 0,5 часа.Если времени на выполнение следующих заданий не остается, переходитек завершающей части VI.Определите скорость откачки системы насосом ТМНпо улучшению вакуума во время откачки согласно пп. VII.3. Определитеуровень течей по ухудшению вакуума после перекрытия откачки шибером согласно пп. VII.4.
Для получения требуемых параметров используйте файл с записанными данными.IV.* Создание искусственной течии определение давления перехода в молекулярный режимIV.1. Убедитесь, что камера откачана до предельного давления (см. пп. III.3).Зафиксируйте предельное давление и мощность, потребляемуютурбиной ТМН.IV.2. Подготовьте натекатель КН к напуску воздуха в камеру.
↓Закройте натекатель КН ручкой тонкой регулировки сверху,плавно вращая ее в сторону уменьшения показаний механического счётчика до упора. После чего переведите нижнюю двухпозиционную ручкунатекателя КН в положение «открыто» (указатель в позиции «open»).342.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаСоздайте искусственную течь в системе натекателем КН.
↓Плавно начинайте поворачивать ручку тонкой регулировки КНв сторону увеличения показаний счетчика, тем самым создаваяискусственную течь в системе. Наблюдайте за показаниями вакуумметра В2, потребляемой турбиной ТМН мощностью и скоростью её вращения. Как только мощность изменяться на 1 Вт зафиксируйте показаниявакууметра В2 и мощность турбины ТМН. При этом показания мощностьмогут «плавать» вокруг среднего значения изменяясь на 1−2 Вт, однакосреднее значение во времени должно быть фиксировано.После фиксации текущих значений продолжайте крайне плавноповорачивать ручку тонкой регулировки КН, увеличивая течь,до очередного изменения мощности турбины на 1 Вт. Поскольку натекание растет нелинейно с показаниями счетчика (см. прил.
4Б), необходимозамедлять вращение ручки тонкой регулировки КН с увеличением давления в системе. Таким образом, снимите подробную зависимость мощности от давления в объеме камеры (до 30 точек).Во время выполнения данной части задания обязательно следитеза скоростью вращения турбины, она всегда должна вращатьсяна предельной скорости 90 000 об/мин. Как только обороты начнутуменьшаться, нужно закончить текущую серию измерений.IV.4. Повторите измерения п.
IV.3. в обратном порядке. ↓Плавно поворачивайте ручку тонкой регулировки в сторонууменьшения показаний счетчика. Таким образом, снимите подробнуюзависимость мощности от давления в объеме камеры (до 30 точек).IV.5.* Измерения по пп. IV.3−IV.4 повторите ещё 1−2 раза.Если достигается приемлемая повторяемость, можно переходитьк следующей части задания.Расчетное время выполнения части IV задания не более 0,5 часа.Если времени на выполнение следующего задания не остается, переходите к завершающей части VI.Постройте зависимость мощности турбины от давления, оцените давление перехода в молекулярный режим течения согласно пп.VII.5, укажите её на графике зависимости.IV.3.352.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумаV.* Откачка объема через диафрагмы 21Остановите откачку установки.
↓Нажмите кнопку [pumping station] окна блока БУ [COM#.00#:TC 110]. Зафиксируйте время выключения откачки. Когда ротор ТМНполностью остановится (частота ротора 0 Гц), зафиксируйте время егоостановки. К следующему подпункту задания можно переходить не дожидаясь полной остановки ротора.V.2.Установите диафрагму Д перед входным фланцем насоса ТМН. ↓Внимание: во время монтажа ко всем вакуумным поверхностямсоединительных элементов, включая уплотнительные кольца,можно касаться только используя латексные перчатки!Пока ротор останавливается, приготовьте диафрагму Дс отверстием10 ммдляустановкивместоцентрирующегои уплотнительного колец ISO-K DN63 (см.
прил. 2А) между шибером ШЗи камерой К. Тщательно протрите все поверхности диафрагмыи соответствующего уплотнительного кольца обезжиривающей жидкостью. Соедините их между собой и разместите рядом с камерой Кна алюминиевой поверхности шибера ШЗ, также предварительно протерев его поверхность обезжиривающей жидкостью.После остановки ротора выровняйте давления по обе сторонышибера ШЗ открыв кран МК2. Откройте шибер ШЗ.
Напустите воздухв установку через натекатель КН (см. пп. I.2). После напуска атмосферыпереведите нижнюю двухпозиционную ручку натекателя КН в положение«закрыто» (указатель в позиции «close»).Отвинтите гайки-барашки, постепенно и попарно ослабляя вручную противоположные крепления. Снимите все гайки-барашки, шайбыи соответствующие струбцины, оставив только резьбовые шпильки.Аккуратно приподнимите камеру К и извлеките из под нее центрирующее и уплотнительное кольцо ISO-K DN63.Во время этой процедуры, заглянув в отверстие шибера ШЗ,можно увидеть лопатки ротора насоса ТМН. Оцените «на глаз» размерызазоров между лопатками ротора. Также посмотрите на механизм заслонки шиберного затвора, несколько раз закрыв и открыв его.Вместо извлеченных центрирующего и уплотнительного колецISO-K DN63установитеприготовленнуюзаранеедиафрагмус уплотнением.Установите камеру К на диафрагму Д и закрепите её используяструбцины, шайбы и гайки-барашки.
Для попарного и постепенного затя-V.1.21Данный пункт рекомендуется выполнять только с ассистентом.362.3.1А Современные средства получения и измерения вакуумагивания вручную гаек-барашек можно дополнительно воспользоватьсяшестигранником, который поможет зафиксировать положение соответствующих резьбовых шпилек.После установки диафрагмы Д и затягивания креплений можнопереходить к следующему пункту.V.3.Подготовьте установку для откачки насосом ДН через диафрагму. ↓Закройте кран МК2, а остальные, включая шибер ШЗ, оставьтеоткрытыми. Определите по схеме, по каким магистралям будет откачиваться форвакуумным насосом камера К при данном состоянии кранов.V.4.Откачайте установку форвакуумным насосом ДН (см. пп.II.1−II.2, но с вышеуказанным состоянием кранов!).Зафиксируйте время включения насоса, время откачки, предельное давление в системе.
Во время откачки можно дополнительно затянутьвинты-барашки для уменьшения возможных течей.V.5.Откачайте установку турбомолекулярным насосом ТМН, сняв егоблокировку (см. пп. III.3, краны уже находятся в правильном состоянии!).Зафиксируйте время включения насоса, время откачки, предельное давление в системе.V.6.Проведите измерения аналогично пп. III.4−III.5.V.7.Проведите ещё одну серию экспериментов аналогичнопп. V.1−V.6, используя диафрагму Д с отверстием диаметром 3 мм.V.8.Снимите диафрагму Д с установки.
↓Внимание: во время демонтажа ко всем вакуумным поверхностям соединительных элементов, включая уплотнительные кольца, можно касаться только используя латексные перчатки! После окончания демонтажа пометите все неиспользуемые вакуумные детали в герметичный пакет с замком.Вновь установите центрирующее и уплотняющее кольца ISOK DN63 вместо диафрагмы и откачайте установку до предельного вакуума (см. пп.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
