RAZDEL2 (729865), страница 5
Текст из файла (страница 5)
er = (3p / 8Et2) [R2 (3 - 2m2) - r2 (3 - 3m2)] ü (25)
et = (3p / 8Et2) [R2 (3 - 2m2) - r2 (1 - m2)] þ
Дальнейшее решение сводится к определению абсолютной Dlд и относительной (средней) eср = Dlд / lд деформации участка мембраны на длине тензочувствительного элемента lд . Исходными данными для этого решения являются приведенные выше зависимости для er и et и геометрическая форма решетки.
Для центрального профиля:
Dlд = 2 r0ò0 er dr = (3p / 4Et2 ) [r0 (1- m2) (r02 - R2) / Е ] ü (26)
eср = (Dlд / lд )= (3p / 8Et2 ) [ (1- m2) / Е (R2 - r02)] þ
Собственная частота в герцах (основной тон) жестко заделанной мембраны определяется по зависимости, полученной Ю.А. Шиманским:
f0 = 1,57 Ö Eh3 / 12R4 m0 (1 - h2) (27)
где через m0 обозначена масса единицы площади мембраны.
Собственная частота мембраны, свободно опертой по кромкам,
f0 = 0,94 Ö Eh3 / 12R4 m0 (1 - h2) (28)
В некоторых случаях и кинематическую схему преобразователя давления вводится еще один упругий элемент, например вторая мембрана или консольная балка (рис.13), на котором располагается тензочувствительный элемент.
а) б)
Рис.13 Применение второго упругого элемента
а- дополнительной мембраны
б- консольной балки
Подобное конструктивное решение является рациональным при быстропеременных нагревах мембраны, когда не удается обеспечить хорошую термокомпенсацию при расположении рабочего и компенсационного тензорезисторов на самой мембране.
Для определения чувствительности такого преобразователя находится сила F , передаваемая от наружной мембраны к внутреннему упругому элементу. Эта сила может быть найдена из условия равенства прогибов мембраны и дополнительного упругого элемента.
Если в качестве дополнительного упругого элемента используется также мембрана, то выражение для деформаций в радиальном и тангенциальном сечениях этой мембраны в точке с радиусом r имеют вид:
er = (3F / 2pt2 ) [(1-m2) (ln R/r - 1) / E ] ü (29)
er = (3F / 2pt2 ) [(1-m2) (ln R/r) / E ] þ
Если в качестве дополнительного упругого элемента используется призматическая консольная балка, то средняя деформация тензоэлемента, расположенного вдоль балки будет :
eср. = 6F (l - xД ) / E bh2 (30)
где l, d, h – длина, ширина и толщина балки;
хД – расстояние от середины тензоэлемента до заделки, обычно равное половины базы тензорезистора.
Приведенные выше зависимости для чувствительности и собственные частоты упругих элементов иллюстрируют общее очень важное в практическом применении правило : наибольшей чувствительности преобразователя независимо от его типа при сохранении достаточно высокой собственной частоты можно достигнуть выбором материала с низким модулем упругости. Для любых упругих элементов при заданных нагрузках деформация на поверхности в месте установки тензорезистора обратно пропорциональна модулю нормальной упругости. Что касается собственной частоты, то при неизменных геометрических размерах упругого элемента она падает, но пропорционально отношению модулей упругости в степени 1 / 2 . Это уменьшение частоты легко компенсируется изменением геометрических размеров упругого элемента (например, увеличением толщины). В целом при заданной собственной частоте преобразователя его чувствительность при использовании материалов с низким модулем упругости возрастает.
В качестве основного чувствительного элемента возможно использование серийных тензопреобразователей. Преобразователь состоит из измерительного блока и электронного устройства. Преобразователи различных параметров имеют унифицированное электронное устройство и отличаются лишь конструкцией измерительного блока.
Измеряемый параметр подается в камеру измерительного блока и линейно преобразуется в деформацию чувствительного элемента и изменение электрического сопротивления тензорезисторов тензопреобразователя, размещенного в измерительном блоке.
Электронное устройство преобразователя преобразует это изменение сопротивления в токовый выходной сигнал.
Чувствительным элементом тензопреобразователя является пластина из монокристаллического сапфира с кремниевыми пленочными тензорезисторами (структура КНС), прочно соединенная с металлической мембраной тензопреобразователя.
Схема преобразователя Сапфир 22ДА представлена на рис.14.
Тензопреобразователь 4 мембранно-рычажного типа размещен внутри основания 9 и отделен от измеряемой среды металлической гофрированной мембраной 8.
Мембраны 8 и 14 по наружному контуру приварены к основанию 9 и соединены между собой центральным штоком 6, который связан с концом рычага тензопреобразователя 5 с помощью тяги 13. Измеряемое давление подается в камеру 7; полость 12 вакуумирована и герметизирована.
Фланец 10 уплотнен с помощью прокладки 3.
Воздействие измеряемого давления вызывает прогиб мембраны 8, изгиб мембраны тензопреобразователя 4 и изменение сопротивления тензорезисторов. Электрический сигнал от тензопреобразователя передается из измерительного блока в электронное устройство 1 по проводам через гермовывод 2.