123167 (598567), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Обжиг подложек осуществляют в две стадии - предварительный обжиг для удаления технологической связки и окончательный, в результате которого формируется структура керамики.
Предварительный обжиг проводят в окислительной среде в конвейерных электрических печах. С целью предотвращения коробления подложки укладывают на специальные подставки (бомзы) из глинозема, ограничивающие их деформацию. Температура предварительного обжига (Тк) керамических деталей ВК94-1 и ВК100-2 составляет соответственно 1100 и 1300 оС. Скорость подъема температуры осуществляют ступенчато: от 20 до 300 оС со скоростью 50 град/ч; от 300 до 700 оС – 150 град/ч; от 700 оС и выше – 200 град/ч. При этом время нагрева τк – 1 ч, время охлаждения τо – 12 -14 ч.
Окончательный обжиг осуществляют в электропечах с молибденовыми нагревателями в вакууме (0,013 Па). Конечная температура обжига Тк керамики ВК94-1 и ВК100-2 (поликор) составляет соответственно 1580 и 1750 оС.
После контроля на наличие сколов, трещин и деформаций рабочие поверхности подложек подвергают шлифовке на плоскошлифовальных станках.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
