«Установка контроля параметров МКП»

Москва 2005

Аннотация

Целью проекта является разработка системы автоматизации по управлению откачной системой установки контроля МКП. Конкретнее, с помощью САУ будет реализован процесс управления клапанами и натекателем.

1. введение

В настоящее время на предприятии «НПО Геофизика - НВ» идет процесс наращивания темпа производства. В связи с этим происходит внедрение нового оборудования, которое обеспечит необходимый прирост производства и более качественный контроль ЭОП III-го поколения.

В частности, для автоматизированного контроля параметров микроканальных пластин (МКП), специалистами предприятия была спроектирована установка контроля качества. Эта установка позволяет осуществлять контроль как автономно, так и в составе автоматизированной линии.

Конструкторские решения обеспечили возможность объединения контроля нескольких параметров в одной рабочей камере.

Контроль параметров осуществляется одним оператором. Простота процесса контроля не требует высокой квалификации сотрудника и больших временных затрат на его обучение.

Эти факторы впрямую отражается на темпах контроля продукции и ее выпуске.

В рамках данного курсового проекта я разработал САУ, предназначенную для управления откачной системой. В частности, для управления клапанами и натекателем.

1. Описание процессной модели

Установка предназначена для контроля электрических и электронно-оптических параметров микроканальных пластин диаметром до 40 мм. Данная установка

применяется автономно или в составе линии.

Для проведения испытаний установку необходимо откачать до остаточного давления Р=10^-4-5*10^-4 Па. Для чего используется откачная система, состоящая из механического, и турбомолекулярного насосов.

Для обеспечения требуемого уровня надежности и удобства работы оператора предложена система полуавтоматического управления режимами откачки.

1. Разделение технологии на процессы

Процесс работы экспериментальной установки можно условно разделить на три этапа:

- подготовительный этап

- этап проведения измерений

- заключительный этап.

На подготовительном этапе проведения эксперимента выполняются все необходимые механические и электрические соединения. Осуществляется монтаж МКП в кассету и нагрузки ее в камеру, проверка элементов энергосистемы и подготовка вакуумной системы. Так же к подготовительному этапу можно отнести процесс предварительной откачки и проверки герметичности, процесс нахождения и устранения течей и настройку приборов.

На этапе проведения измерений требуется исследовать некоторые электронно-оптические параметры:

• рабочее напряжение – U раб,
• номинальное напряжение – U ном,
• испытательное напряжение – U исп,
• сопротивление R,
• память,
• коэффициент неравномерности усиления – ΔВ,
• чистота поля зрения (ЧПЗ),