Химическое газофазное осаждение с различными способами активации прекурсоров (1268245)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Чепиков В.Н., 2 г/оХимическое газофазное осаждение с различными способами активации прекурсоровМетод химического газофазного осаждения (ХГО) широко применяется длясоздания тонкопленочных структур, находящих свое применение в различных областях:создании интегральных микросхем, осаждении сверхпроводящих пленок, разработкесолнечных батарей, получении термобарьерных и прочих защитных покрытий, напылениипрозрачных проводников и так далее.В методе ХГО компонент или компоненты будущей пленки поступают кподложке в составе легко летучих газообразных соединений (прекурсоров). Послеприближения прекурсора или прекурсоров к подложке следует их сорбция на поверхностиподложки с последующей реакцией образования вещества пленки. Иногда реакцияпроисходит непосредственно в газовой фазе и приводит к конденсации пленки нужногосоединения.

В ХГО используются как эндотермические, так и экзотермические реакции. Вслучае эндотермических реакций очевидна необходимость подвода энергии извне, вслучае же экзотермических реакций остается вопрос преодоления активационногобарьера. В связи с чем, подвод энергии для активации исходных соединений, вступающихв реакцию, в обоих случаях оказывается весьма актуальным. В большинстве случаев, вкачестве пути подвода энергии рассматривается теплопередача от нагреваемой подложкии/или стенок реактора.Но это не единственный способ сообщения энергии реагирующим частицамгазовой фазы. В данном докладе будут рассмотрены основные исследуемые иприменяемые в настоящее время альтернативные методы активации прекурсоров: за счетиспользования различных видов света (отИК до УФ, как лазерного, так иполихроматического); с помощью микроволнового (радиочастотного) воздействия; за счетоблучения пучком электронов или ионов; при помощи энергии, выделяющейся присгорании иных компонентов газовой смеси, содержащей прекурсор.

Как правило, но невсегда, эти методы используются в дополнение, а не вместо обычной термическойактивации прекурсоров. Применение данных методов позволяет увеличить скорость ростапленок, повысить выход процесса ХГО, снизить необходимую для процесса температуруподложки.В отдельных случаях активированное ХГО создает принципиально новыевозможности по сравнению с обычным – позволяет создавать не сплошные пленки, ананоструктурызаданнойформы.Примеромслужитлокальнаяактивацияадсорбированного на подложке дихлорсилана электронным пучком, обеспечивающаяосаждение кремния исключительно в областях, подвергнутых облучению, и являющаясядля некоторых задач альтернативой литографии.Помимо практических достоинств, недостатков и особенностей реализацииметодов активации, будут рассмотрены современные, еще не полные и не устоявшиеся,представления о механизмах протекающих процессов..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов семинаров