Щука А.А. Электроника (2005) (1152091), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Транзисторы со сверхтонким основанием... 3.4.2. МОП-транзисторы с управляемой проводимостью канала............ 3 4.3. МОП-транзисторы с двойным затвором. 3.4.4. Вертикальные МОП-транзисторы. 3.4.5. Арсенид-галлиевые транзисторы .. Задачи и упражнения. Контрольные вопросы. Рекомендуемая литература. Элементиаи база интегральных схем. Технологии производства интегральных схем.. 5.1.'1'ехнологические процессы изготовления ИС 5.2. Процессы первичной обработки материалов.
5.3. Процессы литографии 5.3.1. Фотолитография 5.3.2. Электронолитография 5.3.3. Ренп енолитоцзафия... 5.3.4 Ионная литография . 5.3.5. Лазерная литография .. 5.4. Процессы локалыюго изменения свойств полупров 5 4.1. Эпитаксия .. 5.4 2. Легирование полупроводников.. Высокотемпературное легироаание... Ионная имплантация.. Ралиациоино-стимулированная диффузия .. Лазерный отжиг.. 5.5. Процессы обработки поверхности .. 5.5.1.
Окисные пленки кремния.. .251 ..... 252 .. 254 ... 257 ,.257 .. 257 ..... 259 .. 260 ..... 263 ..... 264 ..... 265 .265 .266 .267 ..... 268 . 268 ... 269 . 270 ...272 . 283 . 284 ..30! .301 .. 30! ...... 3 04 .. 305 .. 308 .. 311 ..314 ...315 ...... 3 ! б .. 316 .319 .. 320 ..
323 .. 326 .. 327 .. 328 .. 328 Содержание 329 330 .. 331 332 333 . 334 338 ....... 3 39 35 5 3 56 364 3 64 365 365 .371 374 378 . 379 ....... 406 ...,... 408 ... 410 ....... 4!4 5.5.2. Травление. Ионное травление... Ионне-химическое травление.. Плазмохимичсское травление. Лазерно-стимулированное травление.
5.5.3.Металлизация поверхности .. 5.6. Сборка интегральных схем . 5.7. Типовые технологические маршруты производства интсграяьных схем ...... 5.8. Особенности производства интегральных схем... Задачи и упражнения.. Контрольные вопросы. Рекомендуемая литература б. Интегральные схемы и их классификация .. 6.1. Классификация интегральнь>х схем .. 6.2. Условные обозначения...
6.3. Основныс параметры интегральных схем .. 6.4. Применение и эксплуатация и>пегральных схем. Рекомендуемая литература 7. Логические элементы интегральных схем ... 7. !. Классификация логических злемщпов, 7,2. Основные харакгерисгики яогических элементов. 7 3. Логические ИС на биполярных транзисторах. 7.3.1. Логические элементы с передачей тока или напряжения ......., ....,. Транзисторная логика с непосредственными связями.....................
Резисторно-транзисторная логика .. Резисторно-емкостная транзисторная логика.................... Интегральная инжекционная логика 7.3.2. Логические элементы с логикой на входе Диолно-транзисгорная логика. Транзисторно-транзисторная логика... Транзисторно-транзисторная логика с диодами Шоттки................ 7.3.3. Логические схемы на псрекл>очателях тока .. Эмиттерно-связанная логика.... 7.4. Логические элементы, реализованные на МДП-транзисгорах .................. 7.4.1. Схемы на транзисторах с каналами одного типа проводимости ...,. 7.4.2. Схемы на комплементарных транзисторах 7.4.3.
Логические элементы на арсснид-> аппиевых транзисторах............ 7.5. Логические элементы на БиКМОП-транзисгорах ... 7.6. Сравнительный анализ логических элементов... Задачи и упражнения ... Контрольные вопросы Рекомснлуемая литература 8- Запоминающие устройства.. 8.1. Классификация запоминщощих устройств .. 8.2. Запоминающие устройства на биполярных транзисторах ............ 8.3. Запоминая>щие устройства на МДП-транзисторах 8.4. Запоминающие устройства на арсеннл-галлиевых структурах..... 380 380 383 385 ....... 3 85 .......
3 85 3 86 3 87 3 87 3 89 3 89 3 9 1 ,... 391 391 39! ....... 393 ....... 3 93 395 ....... 3 97 399 .. 400 401 ....... 4 04 ....... 405 Содержание .415 .420 .420 Задачи и уцражнения Контрольные вопросы.. Рекомендуемая литература .. . 421 .429 .. 437 . 437 . 439 ... 441 .. 445 . 446 .446 .447 Триггеры 9 1.
Бистабильные ячейки, 9 2. Триггер Шмитта., 9.3. КЗ-триггер 9.4. КБТ-триггер . 9.5. В-триг ср. 9.6. '!-трипер. 9.7. !К-триггер. Задачи и упражнения.. Контрольные вопросы.. Рекомендуемая литература .. О. Цифровые устройства на основе триггеров... 1О.1. Счетчики .. 10.2. Регисгры сдвига. 10.3. Сумматоры.. 104. Шифраторы и дешифраторы... 10.5.Мультилзексор.... Задачи и уиражнения Контрольные вопросы .. Рекомендуемая литература.. !1. Микропроцессоры и компьютеры...... 1!.!. Микропроцессоры.. ! 1.2. Мировой рынок микропроцессоров . 11.3. Микропроцессорные систсмьз.
Задачи и упражнения.. Контрольные вопросы .. Рекомендуемая лизература.. 12. Аналоговые интегральные схемы. 12.1 Классификация аналоговых схем. 12.2. Ооерациоцный усилитель 12.2.1. Дифферснциалызый усилитель 12.2.2, Структурная схема операционного усилителя ................ 12.2.3. Аццаратурные включеззия операционных усилителей .. Линейные включения ОУ 11елинейные включения олерациоиного усилителя ....... 12,3.
!'!реобразовагели типа ЦАП вЂ” АЦП .. !2.3.!. Цифроаналоговый преобразователь . 12.3.2. Аналого-цифровой орсобразователь... Задачи и упражнения Контрольные вопросы Рекомендуемая литература .. 42! ..422 .423 ... 424 . 424 .425 .426 .427 .427 .423 .429 .430 .430 ..432 .434 .435 .436 .. 436 .447 ...449 .449 .... 450 .... 452 . 452 .... 455 . 457 . 457 .457 .458 .459 .459 Содержание ...... 460 460 .... 464 466 .... 466 467 467 . 468 471 473 474 474 475 Заключение. ...... 50 1 503 51! 511 .514 ......
515 .... 517 .... 524 ..... 524 13. Базовые матричные кристаллы................................, 13.1. Классификапия базовых матричных кристщщов.. 13 2 Программируемые логические интегральные схемы ...... Контрольные вопросы .. Рекомсндусмая литература.............................................. 14.
Интегральные схемы СВЧ-диапазона.. 14.1. Общис положения 14.2. Элементная база электроники СВЧ 14.3. Интегральные транзисторы СВЧ-диапазона. 14.4. Мо!!олитные арсенид-галлиевыс ИС. Контрольные вопросы Рекомендуемая литература... 15. От микро- к ианоэлектронике. 15.1. Барьеры на пути персхола от микро- к наноэлекгронике .... 15.2. Начала наноэлектроникн.. 15,3.
Квантовые ограничения. 15.4. ТУннелирование электронов.. 15.5. Квантовые точки ! 5.6. Кваптовыс эффскгы в наноструктурах 15.6.1. Одноэлектронное туннелирование.. 15.6.2 Транспортный эффект Ааропова — Боча ................ 15.7. Новые транзисторные структуры. 15.7.1. Полевые транзисторы... 15.7.2.
Транзисторы с резонансным туннелированиеч ...... 15.8. Квантовые приборы наноэлектроники 15.8.1. Квантовый вентиль... 15.8.2. Квантовый интсрферомстр . 15.8.3, Квантовый каскадный ливр .. 15.9. Одноэлсктронные приборы. 15.10. Новые материалы напоэлектроники .. Контрольные вопросы Рекомендуемая литература ЧАСТЬ П!.
КВАНТОВАЯ И ОПТИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ..- Краткая н стор и ч еска я справка ... 1. Физические основы квантовой электроники ... 1.1. Спонтанное и вынужденное излучение. 1.2. Спектральные линии 1.3. Поглощение и усиление. Задачи и упражнения... Контрольные вопросы Рекомендуемая лиз ература ....... 475 ... 476 478 . 481 483 484 ... 484 ....... 4 86 ... 487 488 490 ... 491 . 492 ... 493 ... 497 499 .
499 Содержание .. 525 . 530 . 534 . 535 Приннипы работы лазера Задачи и упражнения. Контрольные вопросы., Рекоменлуемая литература Типы лазеров.. .. 559 .559 .565 .567 .568 4.1. Плоские волноводы. 4.2. Волоконные световоды Контрольные вопросы. Рекомендуемая литература. .
569 .573 . 573 .. 574 . 574 . 577 .579 .581 .532 .583 .. 583 ..... 584 587 . 589 590 .. 591 .. 591 591 3 1 Лазеры на основе конденсированных сред.. 3.1.1. Твердотельные лазеры.. 3.1.2. Полупроводниковые лазеры .. 3.1.3. Жидкостные лазеры. 3.2.
Газовые лазеры 3.2.1. Лазеры на нейтральных атомах 3 2.2. Ионные яазеры.. 32.3. Молекулярные лазеры... „, 32.4. Эксимерные лазеры. 3.2.5. Газолннамичсские лазеры. 3.2.6. Химические лазеры. 3.2.7. Лазеры на парах металла. 3.2.8. Лазеры на свободных злектропах.. Задачи и упражнения. Копз рольные вопросы .. Рекомендуемая литература. !.
Оптические волноводы... 5. Устройства управления световыми потоками. Контрольные вопросы.. Рекомендуемая литература, 6. Приемники излучения.. 6.1. Фотадиоды ... 6.2. Фотоприемники с внутренним усилением... 6.3. Гстеродинный прием оптического излучения,. Контрольные вопросы. Рекомендуемая литература. 7. Введение в интегральную оптику 7.1. Элементы интегральной оптики. 7.2. Устройства и злемеитная база интегральной оптики ...... 7.3. Интегрально-оптические схемы ..