Диссертация (1150443), страница 23
Текст из файла (страница 23)
. . . . . . . . . . . . . .25Чувствительный элемент зонда и система изменения ориентации плоскогозонда относительно оси разряда: 1-неподвижный корпус, 2-сильфонноесоединение, 3-поворотная втулка, 4-металлокерамический токоввод,5-керамический изоляторзонда,2.5З2 3 ,- диаметр зонда.6-изоляция зонда,Д -диаметрдержателя. . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .26Блок-схема для измерения второй производной зондового тока: УУ узкополосной усилитель; ГВЧ - генератор высокой частоты; СД синхронный детектор.2.6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .27Схема зондовых измерений: 1-3 - синхронные детекторы; 4 - задающийгенератор; 5 - плоский односторонний зонд; 6, 7 - анод и катод разряднойтрубки.2.7ФРИ. . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .+в,27полученные нами зондовым методом при различныхзначениях дифференцирующего сигнала△ = 0.05 ; 0.1 ; = 600; /0 = 20 / , = 0.2 . . . . . . . .2.8ФРИ+в,30полученные нами зондовым методом при различныхзначениях дифференцирующего сигнала△ = 0.05 ; 0.1 ; = 450; /0 = 9 / , = 0.2 . . . . . . . .2.9ФРИ по энергиям ионов +в парахметодом при различных величинах- = 100/2 ;давление -температура атомов2.1031полученные нами зондовым△ = 0.05 ; 0.1 ; 0.2 ; = 10−3 ,параметрплотность тока/ = 400 / ; = 410 .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .32Зависимость от энергии ионов экспериментально измеренных первыхчетырех коэффициентов Лежандра ФРИ для тех же условий разряда, чтои на рис. 2.9. Ширина аппаратной функции△ = 0.05 . . . . . . . . . .
.331682.11То же, что и на рис. 2.10, но для коэффициентов Лежандра 4 - 6.2.12Угловая зависимость восстановленной по измерениям первых семикоэффициентов Лежандра ФРИ ионов = 0.2 ;3 -△ = 0.05 ;2.13 = 0.5 ; +в парах△ = 0.05 .+в+впо полиномам35с номерами n=4,5,6 по△ = 0.05 . . . . . . . . . . .36по полиномам Лежандра для38Энергетическая зависимость экспериментально измеренных+вполиномам Лежандра для условий рис.2.8;с номерами n=3,4 по△ = 0.05 .. . .
. . . . . . .39Энергетическая зависимость экспериментально измеренныхкоэффициентов разложения ФРИ+вполиномам Лежандра для условий рис.2.8;с номерами n=5,6 по△ = 0.05 .. . . . . . . . . .39Угловая зависимость восстановленной по измерениям коэффициентов(первые семь) Лежандра ФРИ- = 0.04 ;2 - = 0.1 ;зондового метода3 -△ = 0.05 ;+в, = 0.5 ;при различных энергиях ионов 1ширина аппаратной функции. .40. . . . . . . . . . .40Условия разряда те же, что и на рис. 2.7.Угловая зависимость восстановленной по измерениям коэффициентов(первые семь) Лежандра ФРИ = 0.04 ; 0.1 ; 0.3 ;△ = 0.05 ;+02 ()в,при различных энергиях ионовширина аппаратной функции зондового методаУсловия разряда те же, что и на рис. 2.8.Функции распределения атомови3.2. .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .коэффициентов разложения ФРИ3.1вЭнергетическая зависимость первых трех экспериментально измеренныхусловий рис. 2.8;2.1935Энергетическая зависимость экспериментально измеренныхкоэффициентов разложения ФРИ2.18+△ = 0.05 . . . . . . . . . . . . . .
. . .полиномам Лежандра для условий рис. 2.7;2.172 -Энергетическая зависимость первых четырех экспериментальнокоэффициентов разложения ФРИ2.16 = 0.05 ;. . . . . . . . . . .условия разряда те же, что и на рис. 2.9.Лежандра для условий рис. 2.7;2.151 -33ширина аппаратной функции зондового методаизмеренных коэффициентов разложения ФРИ2.14 ,. . . . .2 (),ионов2 ()(см. формулу (3.9))- (см.
[98], формула (3.20)) при различных значениях параметра= 0.1; 0.01; =√ .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55То же, что и на рис. 3.1, но при различных значениях величины отношенияамбиполярного поля к аксиальному0() = 0; 0.5; 1; 2и ФРИ2 ()при= 0.02. . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .561693.3ФРИс учетом зависимости сечения перезарядки от скорости и без нее. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . = 0; 0 = 0.01; = 300 .для3.4+Сравнение зависимости от параметрав+ , +в парахи+в/056+дрейфовой скорости ионовв сильных полях, рассчитанной пофункции распределения (3.8), с экспериментальными данными [48],[96],[97],. . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .0 = 273.16 ()3.5Угловое распределение функции распределения ионов по скоростям при0= 0.01,=03.657различных относительных скоростяхи наличии=1 = 0.1; 5при отсутствии. . . . . . . . . . . . . . . .амбиполярного поля.Сравнение нормированной на 1 функции распределения ионов +57в парахпо энергиям, рассчитанной по формуле (3.9) и измеренной плоскимодносторонним зондом (см. Гл. 2); величины дифференцирующего сигналазондового метода 0.05; 0.1; 0.2 V; плотность тока давление атомов3.7 = 10−3 ,параметр = 100/2 ;/ = 400 / ;температура = 410 .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58Зависимость от энергии ионов первых четырех коэффициентов Лежандра вразложении ФРИ по направлениям их движения для тех же условийразряда, что и на рис. 3.6. Ширина аппаратной функции. .
.58. . . . . .59△ = 0.05 .3.8То же, что и на рис. 3.7, но для коэффициентов Лежандра 4 - 6.3.9Сравнение угловых зависимостей рассчитанной ФРИ (формула (3.9)),рассчитанной суммы первых семи членов разложения ФРИ по полиномамЛежандра и этой же суммы, найденной из измерений для энергии ионов = 0.05 ;ширина аппаратной функции зондового методаУсловия разряда те же, что и на рис. 3.6.△ = 0.05 .. . . . . . . . . . .
. . . . . .593.10То же, что и на рис. 3.9, но для△ = 0.2 . . . . . . . . . . . . . . . . .603.11То же, что и на рис. 3.9, но для△ = 0.5 . . . . . . . . . . . . . . . . .603.12Зависимость дрейфовой скорости+3.13вот параметра/для+ви; = 300.[48],[102],[103],[110]. . . . . . . . . . . . . . . . . . .
.Зависимость приведенной подвижности иона2+в2от параметра/ , = 300.[48],[100]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3.14Зависимость средней энергиииона+вот параметра7171/ , = 293.[110]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .721703.15Сравнение ФРИ по энергиям (нормированных на 1) для,+ви+врассчитанных с помощью формул (3.33) и в приближении сильногополя [89], с экспериментальными данными, полученными нами зондовымметодом при различных значениях дифференцирующего сигнала; условия3.16для : = 600; / = 20 / · , = 0.2 ,0 = 0.124;для : = 450; / = 9 / · , = 0.2 ,0 = 0.689.
. . . . . .+впо полиномам Лежандра для условий рис. 3.6;△ = 0.05 .73Энергетическая зависимость первых шести коэффициентов разложенияФРИ.3.1872Энергетическая зависимость первых шести коэффициентов разложенияФРИ.3.17условия+в△ = 0.05 . .по полиномам Лежандра для условий рис. 3.6;Угловая зависимость ФРИ по энергиям (нормированной на 1)+в73,рассчитанная по формулам (3.33) и полученная из суммы первых семичленов разложения ФРИ в ряд по полиномам Лежандра с использованиемкоэффициентов, рассчитанных по (3.33) и определенных экспериментальнозондовым методом (см.
Гл.2) при различной энергии ионов; условия теже,что и на рис.3.6;△3.19= 0.05 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Угловая зависимость ФРИ по энергиям (нормированной на 1)+в74,рассчитанная по формулам (3.33) и полученная из суммы первых семичленов разложения ФРИ в ряд по полиномам Лежандра с использованиемкоэффициентов, рассчитанных по (3.33) и определенных экспериментальнозондовым методом (см. Гл. 2); условия те же,что и на рис.3.6;= 0.04 ;△ = 0.05 . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3.20Угловая зависимость ФРИ по энергиям (нормированной на 1)+в75,рассчитанная по формулам (3.33) и полученная из суммы первых семичленов разложения ФРИ в ряд по полиномам Лежандра с использованиемкоэффициентов, рассчитанных по (3.33) и определенных экспериментальнозондовым методом (см. Гл.
2); условия те же,что и на рис.3.6;= 0.1 ;△ = 0.05 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3.21Угловая зависимость ФРИ по энергиям (нормированной на 1)+в76,рассчитанная по формулам (3.33) и полученная из суммы первых семичленов разложения ФРИ в ряд по полиномам Лежандра с использованиемкоэффициентов, рассчитанных по (3.33) и определенных экспериментальнозондовым методом (см. Гл. 2); условия те же,что и на рис.3.6;= 0.3 ;△ = 0.05 . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .771713.22Зависимость отношения полных сечений упругого рассеяния и резонанснойперезарядки для+в,при использовании данных о сечении упругого. . . .рассеяния из работы [13], а резонансной перезарядки - из [13] и [92].3.23Сравнение экспериментальных данных по дрейфовой скоростирасчетами по разработанной теории.[48],[102],[103],[119].3.243.25Зависимость средней энергии иона+ввс.