Автореферат (1150371), страница 5
Текст из файла (страница 5)
По всей видимости, распыление происходит ступенчатои существует механизм формирования отрицательной обратной связи в направлении травления.Через 1-2 мин после начала распыления сапфира формируется поверхность, скоростьраспыления в каждой точки которой одинакова. Механизм возникновения этой обратной связи,по-видимому, обусловлен неоднородным распределением потенциала по поверхности пробы,величина которого зависит от локального значения ионного тока.В более мягких условиях распыления, при длительности разряда 2 мкс вместо 5,возможно еще больше увеличить разрешение и проследить промежуточные слои алюминия (см.рис. 11). Показана линейная зависимость частоты колебаний сигнала Al от длительностиимпульса, также подтверждающая обусловленность колебаний структурой кристалла (см.рис.12).20Рис. 11.
Временной профиль распыления монокристалла сапфира (ориентация 001) спокрытием Ta (200 нм) в импульсном тлеющем разряде с TaКПК (длительность разряда — 2мкс) и Фурье-спектр наблюдаемых колебаний Al.Рис. 12. Зависимость частоты колебаний сигнала алюминия Fs от длительности импульса ti длясапфира с ориентацией 001.ВЫВОДЫ1. Показана высокая эффективность импульсного разряда тока смещения в КПК посравнению с другими типами тлеющего разряда.2.
Установлен механизм распыления непроводящих образцов в импульсном тлеющемразряде с комбинированным полым катодом.3. Показано, что разрядная ячейка с танталовым вспомогательным катодом за счет егогеттерных свойств обеспечивает практически полное устранение влияния воды и кислорода нарезультаты анализа.214. На основе установленного механизма разработаны методические подходы кэлементному и изотопному анализуразличных видов непроводящих материалов методомвремяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом.5. Напримересапфираобнаруженмеханизмраспылениядвухкомпонентныхкристаллов в импульсном тлеющем разряде, позволяющий регистрировать параметры ихкристаллической структуры.1.2.3.4.5.6.7.Список работ, опубликованных по теме диссертацииСписок статей, опубликованных в журналах, содержащихся в перечне ВАК РФ:Губаль А.Р.
Дискриминация газовых компонентов и кластеров во времяпролетной массспектрометрии с импульсным тлеющим разрядом / А.Р. Губаль, А.А. Ганеев, С.В. Потапов,Р.В. Тюкальцев, А. Злоторович // Масс-спектрометрия. - 2009. - Т. 6, № 1. - С. 67-76.Губаль А.Р. Исследование относительных чувствительностей компонентов пробы прианализе образцов методом времяпролетной масс-спектрометрии с импульсной газоразряднойионизацией / А.А. Ганеев, А.Р. Губаль, С.В. Потапов, Р.В.
Тюкальцев // Журналаналитической химии. - 2009. - Т. 64, № 7. - С. 715-723.Губаль А.Р. Анализ кремния с помощью времяпролетного масс-спектрометра симпульсным тлеющим разрядом Люмас-30 / А.А. Ганеев, А.Р. Губаль, С.В. Потапов, Р.В.Тюкальцев // Масс-спектрометрия. - 2009. - Т. 6, № 4. - С. 289-294.Губаль А.Р. Аналитическая масс-спектрометрия с тлеющим разрядом / А.А. Ганеев, А.Р.Губаль, К.Н. Усков, С.В. Потапов // Известия Академии наук.
Серия химическая. - 2012. - №4. - С. 748-764.Губаль А.Р. Устранение мешающего влияния воды во времяпролетной масс-спектрометриис импульсным тлеющим разрядом / А.А. Ганеев, А.Р. Губаль, С.В. Потапов, С.Е. Погарев,С.Е. Шолупов, К.Н. Усков, И.С. Иванов // Масс-спектрометрия. - 2013. - Т. 10, № 1. - С. 5562.Губаль А.Р. Direct determination of Uranium and Thorium in minerals by time-of-flight massspectrometry with pulsed glow discharge / A. Ganeev, O. Bogdanova, I.
Ivanov, B. Burakov, N.Agafonova, B. Korotetski, A. Gubal, N. Solovyev, E. Iakovleva and M. Sillanpaa // RSC Advances.- 2015. - V. 5. - pp. 80901-80910.Губаль А.Р. Масс-спектральные методы прямого элементного и изотопного анализатвердотельных материалов / А.А. Ганеев, А.Р. Губаль, С.В. Потапов, Н.Н. Агафонова, В.М.Немец // Успехи химии.
- 2016. DOI: 10.1070/RCR4504Список публикаций в сборниках материалов конференций:Губаль А.Р. Silicon analysis with aid of time-of-flight mass-spectrometry with pulsed dischargein combined hollow cathode / A.A. Ganeev, S.V. Potapov, A.R. Kravchenko // Conferenceabstracts. 12th European conference on applications of surface and interface analysis ECASIA, Sept.9-14, 2007, Brussels, Belgium, p.
281.2. Губаль А.Р. Time-of-flight mass-spectrometry with pulsed discharge ionization in combinedhollow cathode for the analysis of semiconductors CdTe, ZnSe / S.V. Potapov, A.A. Ganeev, A.R.Kravchenko // Conference abstracts. 12th European conference on applications of surface andinterface analysis ECASIA, Sept. 9-14, 2007, Brussels, Belgium, p. 281.3.
Губаль А.Р. Determination of relative sensitivity factors in pulsed glow discharge TOFMS system/ A. Kravchenko, A. Ganeev, S. Potapov, R. Tjukaltzev // Conference abstracts. Winter Conferenceon Plasma Spectrochemistry 2008, Jan. 7-12, 2008, Temecula, California, USA, p. 355.4. Губаль А.Р. Time-of-flight mass-spectrometry with pulsed discharges in combined hollowcathode and Grimm source for silicon analysis / A. Ganeev, S. Potapov, A. Kravchenko, R.Tjukaltzev // Conference abstracts. Winter Conference on Plasma Spectrochemistry 2008, Jan. 7-12,2008, Temecula, California, USA, p. 355.1.22Губаль А.Р. Исследование относительных чувствительностей компонентов пробы прианализе образцов методом времяпролетной масс-спектрометрии с импульсной газоразряднойионизацией / А.Р.
Кравченко, А.А. Ганеев, С.В. Потапов, Р.В. Тюкальцев // Тезисы докладовIII Всероссийской конференции “Аналитические Приборы”, 22-26 июня 2008, СанктПетербург, С. 44.6. Губаль А.Р. Application of relative sensitivity factors for investigation of processes in pulsedglow discharge plasma with TOFMS ion detection / A.
Kravchenko, A. Ganeev, S. Potapov, R.Tjukaltzev, A. Zlotorowicz // Conference abstracts. 24th Symposium on the Physics of IonizedGases SPIG, Aug. 25-29, 2008, Novi Sad, Serbia, pр. 365-368.7. Губаль А.Р. Pulsed discharge in combined hollow cathode as source for analytical GD TOFMS.Dynamic discrimination of clusters and discharge gas ions in afterglow / A.
Ganeev, S. Potapov, A.Kravchenko, R. Tjukaltzev, A. Zlotorowicz // Conference abstracts. 24th Symposium on the Physicsof Ionized Gases SPIG, Aug. 25-29, 2008, Novi Sad, Serbia, pр. 431-434.8. Губаль А.Р. Метод относительных чувствительностей во времяпролетной массспектрометрии с импульсным тлеющим разрядом. Корреляционный подход для выявленияроли различных процессов ионизации / А.Р. Губаль, А.А. Ганеев, С.В. Потапов // Тезисыдокладов III Всероссийской конференции с международным участием «Масс-спектрометрияи ее прикладные проблемы», 18-22 мая 2009, Москва, С.
34.9. Губаль А.Р. Времяпролетная масс-спектрометрия с импульсным тлеющим разрядом какэффективный метод элементного анализа полупроводников и диэлектриков / А.А. Ганеев,С.В. Потапов, А.Р. Губаль // Тезисы докладов III Всероссийской конференции смеждународным участием «Масс-спектрометрия и ее прикладные проблемы», 18-22 мая2009, Москва, С. 31.10. Губаль А.Р. Discrimination of clusters in time-of-flight mass-spectrometry with pulsed discharge/ A.A. Ganeev, S.V. Potapov, A.R.
Gubal // Conference abstracts. Colloquium SpectroscopicumInternationale CSI XXXVI, Aug.30-Sept.3, 2009, Budapest, Hungary, р. 175.11. Губаль А.Р. Создание и исследование метода анализа тонких пленок и многослойныхпланарных наноструктур на основе времяпролетной масс-спектрометрии с импульснойгазоразрядной ионизацией / А.Р. Губаль // ХII Конкурс бизнес-идей, научно-техническихразработок и научно-исследовательских проектов “Молодые, дерзкие, перспективные”, 30сентября 2009, Санкт-Петербург, С. 151-152.12. Губаль А.Р. Разработка нового метода анализа тонких пленок и многослойных планарныхнаноструктур на основе времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющимразрядом / А.Р. Губаль // XIV Санкт-Петербургская ассамблея молодых ученых испециалистов, 11 декабря 2009, Санкт-Петербург, С.
57-58.13. Губаль А.Р. Послойный анализ тонких пленок с помощью времяпролетной массспектрометрии с импульсным тлеющим разрядом / А.Р. Губаль // Тезисы докладов IVНаучной конференции студентов и аспирантов химического факультета СПбГУ, 20-23апреля 2010, Санкт-Петербург, С. 9-10.14. Губаль А.Р. Послойный анализ тонких пленок и многослойных планарных наноструктур спомощью времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом / А.Р.Губаль // Тезисы докладов VII Всероссийской межвузовской конференции молодых ученых,20-23 апреля 2010, Санкт-Петербург, стр.
9-10.15. Губаль А.Р. Прямой высокочувствительный анализ твердотельных проб с помощьювремяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом: от проводников кдиэлектрикам / А.Р. Губаль // Тезисы докладов V Всероссийской конференции студентов иаспирантов «Химия в современном мире», 18-22 апреля 2011, Санкт-Петербург, С. 14.16. Губаль А.Р. Прямой высокочувствительный анализ полупроводниковых материалов спомощью времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом / А.Р.Губаль // Тезисы докладов XLIX Международной научной студенческой конференции«Студент и научно-технический прогресс», 16-20 апреля 2011, Новосибирск, С.
92.5.2317. Губаль А.Р. Прямой анализ твердотельных проб с помощью времяпролетной массспектрометрии с импульсным тлеющим разрядом: от проводников к диэлектрикам. / А.Р.Губаль, А.А. Ганеев, К.Н. Усков // Тезисы докладов IV Всероссийской конференции смеждународным участием «Масс-спектрометрия и ее прикладные проблемы», 5-9 сентября2011, Москва, С. 36.18. Губаль А.Р. Высокочувствительный послойный анализ полупроводниковых наноструктур спомощью времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом.
/ А.Р.Губаль // XVI Санкт-Петербургская ассамблея молодых ученых и специалистов, 15 декабря2011, Санкт-Петербург, С. 63.19. Губаль А.Р. Прямой анализ полупроводниковых и диэлектрических проб на основетлеющего разряда с оптической и масс-спектральной регистрацией. / А.Р. Губаль // Тезисыдокладов VII Всероссийской конференции молодых ученых, аспирантов и студентов смеждународным участием «Менделеев-2012», 3-6 апреля 2012, Санкт-Петербург, С.
57.20. Губаль А.Р. Аналитическая масс-спектрометрия с тлеющим разрядом / А.А. Ганеев, С.В.Потапов, А.Р. Губаль, К.Н. Усков // Тезисы докладов IV Всероссийской конференции«Аналитические приборы», 26-30 июня 2012, Санкт-Петербург, С. 31.21. Губаль А.Р. GD TOFMS with pulsed combined hollow cathode for direct analysis of dielectricsamples / A. Ganeev, A. Gubal, I. Ivanov, S. Potapov and V.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
