Отзыв ведущей организации (1149970)
Текст из файла
ФедеРАпьное ГОсудАРстВеннбе аюджетное учпеждение нАукн НАП Ран РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК Рижский пр, 26, Санкт. Петербург, 190103, теп., 18121 363.0719, Факс (812) 363.0720, е-тзй; 1арфзпГп.крЬ.ее, ввтглайгккйго Окпо 0к6996зе, Опен 1027610269980, инн 7809003600, кпп 763901001 Г:,"'") -т:,2 атн № ~"'Сбое "д У2,,УГС 7 Директор Федерального государственного бюджетного учреждения пауки Института аналитического приборостроения ИАП РАН) ОфСССОР ОТЗЫВ ведущей оргаиизашш па диссертационнуто работу Е,В, Борисова «Оккт ические свойства лек.ированиык зкштаксиальпых слоев нитрида галлии и вькракцепнык методом магпетронпого распыления оксидов цинка и меди», представлениуко на соискание ученой степени кандидата физико-акат ематнческих наук по специальности 01.04,07- фккзика конденсированного сосготккккккк 1.
Актуальность темы работы В диссертационной работе Б,В. Борисова исследуются Оптические свойства кристаллов ттитрида галттия,вырашснньтх из гас~ой 11)азы, иотссидовттттттка и сфОрмированпых методом высокочастотного магнетронного распыления, На Основе этих исследований прослежена связь между Оптическими свойствами кристалла багк и изменениями, происходяьцими в его электронном спектре при повышении концентрации донорной примеси, дана характеризация оптическими методами качества кристаллической решетки этих веществ в зависимости От условий роста. Нитрид галлия В настоящее Время является очень важным В практическом отношении полупроводниковым кристаллом, рембо~~ по наноструктурам !Оз его Основе занимаот большое место в научной периодике.
Оксид цинка также является популярным обьектом академических и прикладных исследований„в частности, нз его ОС~~В~ удается получать высококачественные системы нитевидных нанокристаллов. Что касается закиси мели, то интерес к ией в значительной степени продикгован уникальными сВойстВами ее экситонного спектра, в том числе и обнаруженными совсем недавно. В последнее время Оксиды меди и цинка рассмагриВаются как перспективные материалы для применения В солнечных элементах, так что Определение качестВЗ тонких кристаллических сЯИ>СВ этих материалов, получаемых магнетронпым способом, представляет интерес, Таким образом, проведенные в диссертационной работе исследования вполне актуальны. 2, Оценка содержании диссертационной работы В первой главе диссертации рассмотрены спектры комбинационного рассеяния света применительно к кристаллам со структурой типа вюрцита, к которым относятся нитрнд галлия и окись цинка, а также плазменные колебания и алазмон-фононнос ВзаимоДействие, которое В Дальнсйшем нсслеДустсЯ В 5!е!"Нрованных криста!!Пах!.!З1Ч, Во второй главе работы приведены сведения об экспериментальной технике, в частности, подробно описаны рамановские спектрометры, В этой же главе обсуждается технология роста легированных кремнием эпитаксиальных слоевба1Ч микронной толщины и не легированных намеренно кристаллов бай толщиной в несколько миллиметров.
В третьей главе изучаются спектры ломипесценцни, отражения и комбинационного рассеяния тонких эпитаксиальных слоев нитрида галлия. Важным моментом этих исследований является использование набора образцов с различными концентрациями кремния — это позволило проследить за изменениями оптических свойств нитрнда галлия в интервале конце!працийдонорной примеси от 1О см' до значений, превышающих 10' см з. В четвертой главе исследованы оптические спектры объемного кристалла ннтрнда га!!Лия, выращенного газофазным методом с применением хлора и имеющего форму цилиндра с диаметром 52 миллиметра и высотой 5миллиметров, "1'акой кристалл можно использОВЗ!'ь практически, поэтому предстаВляло интсрес исследовать е!*О качество и степень однородности, В пятой и шестой главах диссертации исследу!отея оптические свойства кристаллических пленок 7лОИСПЭО большой площади, Выращенных методом ВысокочасготиОГО маГнетрониОГО распыления на подло)кках из кремния и КВарцевог!) стекла, Целью этих технологических экспериментов является получение пленок Доста~очно высокого Качества для приме~ения их В солнечных элементах.
В работе проведена характеризация таких пленок методами спектроскопии комбинационного рассеяния, люминесценции и отражения. В заключении сформулированы основные результагы работы. 3. Научная новизна резуль Гатов работы Впервые изучено изменение спектров фотол)оминесценции Оа)ч при увеличении уровня легирования донорной примесью от !О'~ до 51О' см" для серии образцов эпитаксиальных слоев нитрида галлия, выращенных методом мсталлорганической газофазной эпитаксии, с широким диапазоном концентрации кремн))я, Полученные данные были сопоставлены с данными электрофизических измерений ~ВЛХ). По спектрам комбинационного рассеяния света в эпитаксиальных слоях питрида галлия с различными уровнями легирования кремнием были определены концентрации свободных носителей,Так)кс было проведено сопоставление результатов с да)щыми, полученными электрофизическими методами и из спектров решеточного отражения, показана хорошая согласованность этих данных, Впервые проведена характеризация оптическими методами различных областей обьемного кристалла нитрида ~алли~, в) )рап)енного из газовой !!)азь), На ОснОВс исследоВания Оптических спектров пленок ОксидОВ цин)га и мед!1, полученных методом магнетронного распыления, определены оптим!Гльных условия для получения крис!Вллических слоеВ высокОГО качества, 4.
Обоснованность и достоверность научных положений и выводов Об~~нованно~т~ и ))Остоверность наручных положений, результатов и вь)волов диссертационной работы Г. В, Борисова определяется их хорошим согласием с известными экспериментальнымн и теоретическимиданнь)ми, уже полученными другими авторами, Приведенные в работе экспериментальные результаты и выводы неоднократно представлялись на конфере)щиях и Опубликованы в рецензируемых нау~)н)1х изда~~~~, 5. Рекомендации по практическому использовани!о результатов и выводов диссертации Полученные в диссертации результаты расширянп существу)ощие представления об оптических свойствах кристаллических слоев нитрида галлия — не легированных намеренно и легированных кремнием в широком интервале ко>гцентраций донорной примеси кремния, В работе представлены важные для практики данные о соотношении оптических и электрофизических свойств исследованных кристаллов. Оптическая характеризация полученных методом магнетронного распыления кристаллических пленок оксидов меди и цинка показывает, что их качество позволяет рассматривать их как перспективный материал для практическогоприменения и области солнечной энергетики, Используемый метод выращивания оксидных пленок позволяет з»ачительно сократить за~рат~ на их произволе~~~ при оп~~мально подобранных пара~~тра~.
Результаты диссертации могут быть использованы на предприятиях, связанных с изготовлением различного рода датчиков, устройств солнечной энергетики и ианокомпозитных материалов, в научных лабораториях соответствующего профиля и у~~б~ых орга~изаци~~, осуц!ествляюгдих ~од~о~о~ку специалис>ов в облас~~ физики конденсированных сред, физического материаловедения, эпнтаксиальных технологий.
В частности, в АО «НИИ «Полюс» им, М.Ф. Стельмаха», ООО «Коннектор Оптико>, ОЛО «Авангард», ФТИ им. А.Ф, Иоффе РЛН„Московский государственный университет имени М. В, Ломоносова, Санкт-Петербургский Академический университет РЛН и др. б. Замечания. 1.В диссертации отсутствует удовлетворителыюе объяснение причин уширеиия н смещения максимумов в зарегистрированных спектрах фотолюминесценции эпитаксиальных слодв нитрида галлия при увеличении концентрации кремния, 2.Остался не освещенным вопрос, возможна ли количестве>пгая оц~н~~ качества исследуемых слоев предло>кенными в диссертации методами, или возможна толькоих качественная характеристика. 7.
Закл>очецие о соответствии диссертации критериям, установленным Положением о порядке присуждения ученых степеней. Указанные выше замечания пе снижают общую положительную оценку диссертации, Она является законченной научно-исследовательской работой,и>полненной на высоком профессиональном уровне.
Следует отметить большой объем проведенных исследований и тщательное оформление диссертации и автореферата. На основании изложенного считаем, что рассматриваемая диссертационная работа удовлетворяет требованиям пункта 9 Положения о присуждении учешлх степеней. утвержденного Постановлением Правительства РФ № 842 от 24,09.20!3 г, (ред. от 28.08.2017), предъявляемым к кандидатским диссертациям, ее автор - Борисов 1:;вгеш>й Вадимович зйслуживйст присужДсния учсной степеии канДиДйтй физико-математических наук по специальности 01.04,07- «Физика конденсированного состояния».
Диссертация рассмотрена и отзыв утвержден на заседании нйув~ного семинара Федерального государственного бюджетного учреждения науки «Института йийлитического приборостроения РОСИЙСКОЙ йкйдемни наук». Протокол № 2 от 12 апреля 2018г, Руководитель научного семинара Главный нйучиый сотрудник Доктор физико-математических наук по специальности 01.04.05 Яков Андреевич Фофанов 198095, Санкт-Петербург, ул. Ивана Черных, д.31-33, лит,А Тел: (812) 3630719, е-та11: уа1йиез1®уймах,гп Зйведуюгций лабораторией приборов и методов эпитаксиальных нанотехнологий, кандидат физико-математических наук по специальности 01.04.07 .
ч.~.,„ф Игорь Викторович Штром / 198095, Санкт-Петербург, ул, Ивана Черных, Д.31-33, лит.А Тел: (812) 3630719, е-гпа11: 18огз1го11ПН®ва11,гп Подписи Я,А. Фофанова и И,В, Штрома:,удеставсрн ц '-. .; ""ЙРЦ=Е Све ения о ве п ей оп1а1изагщи: ':-':.':,';,,.".:Й:,",":::...,;." Федеральное государственное 61оджетйЩ':.' учреждение науки Институт аналитического приборостроения Российской академии наук 198095, Санкт-Петербург, ул.
Ивана Черных, 31-33, лит. А. Телефон: 1812) 3630719„факс: 1812) 3630720. Сайт: 1н1р://~же,1а1газ.гп ы.вваьВ: щва~вв|в.вВЬ вв 10. Швапова .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.