Главная » Просмотр файлов » Диссертация

Диссертация (1143290), страница 4

Файл №1143290 Диссертация (Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники) 4 страницаДиссертация (1143290) страница 42019-06-23СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 4)

Зеленоград), ООО «Завод Кристалл» (г. Таганрог), АО«ТНИИС» (г. Таганрог), ООО «Рокор» (г. Зеленоград), ООО «Виброприбор» (г.Таганрог), в учебном процессе кафедры КЭС ИНЭП ЮФУ (г. Таганрог), кафедрынанотехнологий и микросистемной техники ИНЭП ЮФУ (г. Таганрог), кафедрыфизики конденсированного состояния ФГБОУ ВПО Кабардино-Балкарского государственного университета им. Х.М. Бербекова (г. Нальчик), использованы в НИР,выполненных по заданиям Министерства образования и науки Российской ФедерацииАпробация работыОсновные научные результаты работы обсуждались на различных научныхмероприятиях, в частности: X и XII Всероссийских научных конференциях «Информационные технологии, системный анализ и управление» (Россия, Таганрог,2012 г., 2014 г., 2015 г.), 4-й Международной научной конференции «Системныйсинтез и прикладная синергетика» (Россия, Таганрог, 2011 г.), XIX, XX, XXI, XXII,XXIII научных конференциях «Современные информационные технологии: тенденции и перспективы развития» (Россия, Ростов-на-Дону, 2012 – 2018 г.), Международной научно-технической конференции «Нанотехнологии-2012» (Россия, Таганрог, 2012 г.), Всероссийском VII научно-методическом семинаре «Современныетехнологии в образовательном процессе» (Россия, Таганрог, 2012 г.), Всероссийских научных конференциях «Проблемы автоматизации.

Региональное управление. Связь и автоматика» (Россия, Геленджик, 2012 г., 2014 г., 2015 г., 2016 г.),научно-практических конференциях «Миссия молодежи в науке» (Россия, Ростовна-Дону, 2012 г., 2014 г.), III международной научно-практической конференции«Инновации и современные технологии в системе образования» (Чехия, Прага,2013 г.), II Международном симпозиуме «Physics and Mechanics of New Materialsand Underwater Applications» (Тайвань, Гаосюн, 2013 г.), Международной научнопрактической конференции «Состояние и перспективы развития высшего образо17вания в современном мире» (Россия, Сочи, 2013 г.), III Международной научнопрактической конференции «Подготовка конкурентоспособного специалиста какцель современного образования» (Чехия, Прага, 2013 г.), IX международной научно-практической конференции «Перспективные разработки науки и техники»(Польша, Пшемысль, 2013 г.), III Международном симпозиуме «Physics andMechanics of New Materials and Underwater Applications» (Тайланд, Кон-Каен, 2014г.), I и V Международной конференции «OPEN» (Россия, Санкт-Петербург, 2014 г.,2018 г.), Международной научно-технической конференции «Нанотехнологии вэлектронике и МЭМС» (Россия, Таганрог, 2014 г.), 12-й Курчатовской молодежнойнаучной школе (Россия, Москва, 2014 г.), IV Международном симпозиуме «Physicsand Mechanics of New Materials and Their Applications» (Россия, Азов, 2015 г.), IXМеждународной научно-практической конференции «Наука и цивилизация» (Англия, Шеффилд, 2015 г.), IX Международной научно-практической конференции«Будущие исследования - 2015» (Болгария, София, 2015 г.), XII Российской конференции «Физико-химия и технология неорганических материалов» (Россия,Москва, 2015 г.), Национальной молодежной научной школе «Синхротронные инейтронные исследования» (Россия, Москва, 2015 г., 2017 г.), Молодежной научной конференции «NanoTech-2015» (Россия, Таганрог, 2015 г.), Международнойнаучно-методической конференции «Инновационные технологии в науке и образовании» (Россия, Ростов-на-Дону, 2015 г.), Международной научно-практическойконференции «Наука и современность» (Россия, Уфа, 2015 г.), Международнойнаучно-практической конференции «Сотрудничество стран БРИКС для устойчивого развития» (Россия, Ростов-на-Дону, 2015 г.), форуме «Новые материалы» (Сочи,2016), Всероссийской научно-технической конференции «Микроэлектроника иинформатика 2016» (Россия, Зеленоград, 2016 г.), Всероссийской научной конференци «Нано-2016» (Россия, Москва, 2016 г.), научной конференции «Наука настоящего и будущего» (Санкт-Петербург, 2016 г.), первом кристаллографическомконгрессе (Россия, Москва, 2016 г.), Всероссийской научной конференции «Актуальные проблемы микро- и наноэлектроники» (Россия, Уфа, 2018 г.) и других.18Результаты работы были отмечены дипломами ряда конференций и конкурсов научных работ: Всероссийского конкурса научно-исследовательских работ магистров, аспирантов и молодых ученых в области стратегического партнерствавысших учебных заведений (Россия, Санкт-Петербург, 2011 г.), I, II и III городскихконкурсов «Молодой инноватор города Таганрога» (Россия, Таганрог, 2011, 2012г., 2014 г.), Молодежного инновационного конвента Ростовской области (Россия,Ростов-на-Дону, 2011, 2012 г., 2013 г.), III международной научно-практическойконференции «Инновации и современные технологии в системе образования»(Прага, 2013 г.), лауреата Всероссийского конкурса за лучшую научную книгу2012 и 2014 года Фонда развития отечественного образования (Россия, Сочи, 2013,2015 г.), III международной научно-практической конференции «Подготовка конкурентоспособного специалиста как цель современного образования» (Прага, 2013г.), 12-й Курчатовской молодежной научной школы (Россия, Москва, 2014 г.), XIIВсероссийской научной конференции «Информационные технологии, системныйанализ и управление» (Россия, Таганрог, 2014 г., 2015 г.), IX Международнойнаучно-практической конференции «Наука и цивилизация» (Англия, Шеффилд,2015 г.), IX Международной научно-практической конференции «Будущие исследования – 2015» (Болгария, София, 2015 г.), Национальной молодежной научнойшколы «Синхротронные и нейтронные исследования» (Россия, Москва, 2015 г.),Всероссийского форума молодых ученых (Россия, Екатеринбург, 2017 г.) и рядомдругих.ПубликацииПо тематике диссертации опубликовано 128 печатных работ, из них 22 публикации, индексируемые SCOPUS и Web of Science, 18 cтатей в журналах в соответствии рекомендациям ВАК, 1 монография (Германия), 77 работ в сборникахтрудов международных и всероссийских конференций, 8 свидетельств о регистрации электронных ресурсов, 2 патента на изобретение № 2582181 (2016 г.) и №2625096 (2017 г.).Структура и объем работы19Диссертация состоит из введения, шести глав, заключения, списка литературы из 338 наименований и трех приложений.Во введении приведено обоснование актуальности темы диссертации, обозначены цель работы, основные задачи исследований, научная новизна и практическая значимость работы, приведены сведения об апробации результатов диссертации и структуре работы.В первой главе представлен краткий обзор литературных источников, наоснове которых проведен анализ сапфировых подложек как основ электронныхкомпонентов.

Рассмотрены современные проблемы существующих методов получения изделий из сапфира. Проведен анализ существующих установок для выращивания монокристаллов сапфира. Представлен анализ моделей процессов получения монокристаллов сапфира. Проведено сравнение существующего программного обеспечения для получения изделий из монокристаллических материалов, егопреимуществ и недостатков. Представлен анализ существующих методов созданиягазочувствительных пленок на поверхности сапфира.

На основании полученныхрезультатов были сформулированы цели и задачи диссертационной работы.Во второй главе представлены результаты расчета проплавления шихты впроцессе роста сапфира методом направленной кристаллизации. Проведено исследование роста кристаллов сапфира, полученных методом Киропулоса. Исследовано влияние параметров процесса получения монокристаллов сапфира на их качество, представлены пути оптимизации технологического процесса получения монокристаллов сапфира.В третьей главе представлены результаты теоретического и численного исследования методов снижения дефектов, внутренних напряжений и трещин на различных стадиях роста кристаллов сапфира.

Проведены численные расчеты температурных полей, формирования газовых пузырей при росте сапфира. Установленызакономерности тепловых процессов при получении кристаллов сапфира, позволяющие находить температурные градиенты в зоне кристаллизации. Данные закономерности могут быть использованы для исследования тепловых полей при фор20мировании кристаллов из разных материалов.

Найдены расчетные соотношения,позволяющие выявлять главные факторы, от которых зависит динамика кристаллизации, механизм формирования газовых пузырей и примесей, которые образуются в процессе роста кристаллов в расплаве.В четвертой главе представлены экспериментальные исследования формируемых дефектов в сапфире и их влияния на качество кристаллов. Получены результаты распределения дефектов в сапфире методом поверхностных акустическихволн, виброакустическим методом, оптическим и тепловыми методами, что позволяет следить за изменением морфологии структуры, что в конечном случае позволяет рассматривать динамику изменения дефектов в структуре сапфира.В пятой главе проведены экспериментальные и численные исследованиявлияния лазерного излучения на монокристаллы сапфира и структуру пленкасапфир.

Проведено исследование влияния дефектов подложки сапфира на качествопленок, полученных на ее поверхности. Представлены результаты исследованиялазерного отжига пленок и лазерного управляемого термораскалывания сапфира,позволяющие определить оптимальные режимы лазерной обработки сапфировыхпластин. Приведены результаты экспериментальных исследований лазерногоуправляемого термораскалывания сапфировых пластин. Проведено теоретикоэкспериментальное исследование процесса лазерной обработки сапфира на границе «прозрачное твердое тело/поглощающая жидкость», осаждения пленок на поверхности сапфира при использовании лазерного излучения, которые могут найтиширокое применение для газочувствительных датчиков и защитных покрытий вмикроэлектронике.В шестой главе рассмотрена реализация разработанных технологий создания изделий микроэлектроники на основе сапфира. Проведена модернизация теплового узла для получения монокристаллического сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации для подложек больших диаметров в оптоэлектронике.

Приведены результаты оптимизации технологического процесса получения подложек из сапфира высокого качества для микроэлектроники. Реализована21разработанная технология создания пленок на поверхности сапфира для газочувствительных датчиков и защитных покрытий. На базе разработанных физикотехнологических основ создан спай сапфир-стекловидный диэлектрик-керамикадля защитных панелей.Содержание диссертации изложено на 421 странице, включающих 42 страницы с таблицами, 146 страниц с рисунками и список использованных источников,состоящий из 338 наименований.22Глава 1 АНАЛИЗ СОВРЕМЕННЫХ ПРОБЛЕМ ИЗГОТОВЛЕНИЯПОДЛОЖЕК САПФИРА ДЛЯ ПРИБОРОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ1.1 Сапфировые подложки как основа интегральных схем микроэлектроникиВыращивание кристаллов сапфира большого размера с повышенным структурным совершенством стало первоочередной задачей современной науки и техники.

Характеристики

Список файлов диссертации

Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники
0753-3-opbiblio.pdf
Свежие статьи
Популярно сейчас
Почему делать на заказ в разы дороже, чем купить готовую учебную работу на СтудИзбе? Наши учебные работы продаются каждый год, тогда как большинство заказов выполняются с нуля. Найдите подходящий учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6537
Авторов
на СтудИзбе
301
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее