Автореферат (1137120), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Корпачев М.Ю. Алгоритм оценки дискретных параметров технических систем[Текст] / Болнокин В.Е., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Федотов К.Д. // Вестникмашиностроения (перевод). 2016. № 2. С. 42-47.2. Корпачев М.Ю. Многокритериальная задача принятия решения припроектировании УФ-литографического модульного оборудования [Текст] / Васин В.А.,Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С., Степанчиков С.В. // Автоматизация исовременные технологии. 2013. № 4. С. 19-24.3. Корпачев М.Ю.
Критерий качества в автоматизированном проектированииэлементов формирования топологии в ультрафиолетовой литографии [Текст] / Балан Н.Н.,Васин В.А., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Степанчиков С.В. // Электротехнические иинформационные комплексы и системы. 2012.
№ 3. С. 46-51.4. Корпачев М.Ю. Обработка информации о предпочтениях при поиске решенийотражательных фотошаблонов для ультрафиолетовой литографии [Текст] / Балан Н.Н.,Васин В.А., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Степанчиков С.В. // Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С. 77-85.5.КорпачевМ.Ю.Характеристикикачествафункционированиянанолитографических систем в автоматизированном проектировании [Текст] / Балан Н.Н.,Васин В.А., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Степанчиков С.В. // Вестник компьютерных иинформационных технологий. 2012.
№ 12. С. 8-15.В других изданиях:6. Корпачев М.Ю. Коррекция эффектов оптической близости в литографии [Текст] /Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С. // В кн.: Инновационные информационныетехнологии: Материалы международной научно-практической конференции / Отв. ред.: И.А.Иванов; под общ. ред.: С.У. Увайсов. Т. 3. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 436-440.7. Корпачев М.Ю. Построение управляющей системы для современноголитографического оборудования [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С. //В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: Материалымеждународной научно-практической конференции (2013) / Отв.
ред.: И.А. Иванов; под общ.ред.: С.У. Увайсов; науч. ред.: А.Н. Тихонов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 447-448.8. Корпачев М.Ю. Техническое обслуживание автоматизированных системуправления [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С. // В кн.: Инновации наоснове информационных и коммуникационных технологий: Материалы международнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И.А.
Иванов; под общ. ред.: С.У.Увайсов; науч. ред.: А.Н. Тихонов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 439-441.9. Корпачев М.Ю. Алгоритм выбора технологического решения в ультрафиолетовойлитографии [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С. // В кн.:20Фундаментальныепроблемырадиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря2012 г., Москва / Отв. ред.: А.С. Сигов. Ч.
7: Проблемы надежности и качества. М.: МГТУМИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 82-87.10. Корпачев М.Ю. Задача морфологической коррекции в литографическойтехнологии для опто- и наноэлектроники [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., КостомаровП.С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XVмеждународной конференции. Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 54-55.11. Корпачев М.Ю. Задача снижения размерности для опто- и наноэлектроники влитографической технологии [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Костомаров П.С.
// Вкн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международнойконференции. Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 52-53.12. Корпачев М.Ю. Критерий качества в УФ – литографии [Текст] / Балан Н.Н.,Васин В.А., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., Лучников П.А., Степанчиков С.В. // В кн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря2012 г., Москва / Отв. ред.: А.С. Сигов.
Ч. 7: Проблемы надежности и качества. М.: МГТУМИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 75-78.13. Корпачев М.Ю. Литографическая нанотехнология для создания устройствснабжения организма лекарственными препаратами [Текст] / Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю.,Костомаров П.С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: ТрудыXV международной конференции. Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51-51.14.
Корпачев М.Ю. Методы снижения характеристического размера приавтоматизированном проектировании элементов СБИС [Текст] / Ивашов Е.Н., КорпачевМ.Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:материалы международной научно-технической конференции (2012) / Отв. ред.: И.А.Иванов; под общ. ред.: С.У. Увайсов. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284-287.15. Корпачев М.Ю. Надежность функционирования технологического оборудованиянанолитографии [Текст] / Балан Н.Н., Васин В.А., Ивашов Е.Н., Корпачев М.Ю., ЛанцевА.Н., Степанчиков С.В.
// В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународнойнаучно-техническойконференции«INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.: А.С. Сигов. Ч. 3: Материалыи технологии. М.: МГТУ МИРЭА-ИРЭ РАН, 2012. С. 83-87.16.Корпачев М.Ю. Стратегия развития ультрафиолетовой литографическойтехнологии [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.: Научно-техническая конференция студентов,аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В.
Арменского. Материалыконференции / Под общ. ред.: А. Н. Тихонов, В. Н. Азаров, У. В. Аристова, М. В. Карасев, В.П. Кулагин, Ю. Л. Леохин, Б. Г. Львов, Н. С. Титкова, С. У. Увайсов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ,2015. С. 259-260.17.Корпачев М.Ю. Методика разработки комплексных производственныхмодулей в современном микроэлектронном производстве [Текст] / Болнокин В. Е., ИвашовЕ. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // Успехи современного естествознания.
2014. № 5.С. 137-145.18.Корпачев М.Ю. Методика улучшения качества изображения в различныхлитографических системах [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.: Научно-техническаяконференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ. Материалыконференции / Под общ. ред.: А. Н. Тихонов, В. Н. Азаров, У. В. Аристова, М. В. Карасев, В.П. Кулагин, Ю. Л. Леохин, Б. Г. Львов, Н. С. Титкова. М.
: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. С. 244245.19.Корпачев М.Ю. Моделирование процесса формирования изображения вультрафиолетовой литографии [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.: Научно-техническаяконференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ. Материалы21конференции / Под общ. ред.: А.
Н. Тихонов, В. Н. Азаров, У. В. Аристова, М. В. Карасев, В.П. Кулагин, Ю. Л. Леохин, Б. Г. Львов, Н. С. Титкова. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. С. 243243.20.Корпачев М.Ю. Проектирование технологического оборудования в случаемалых выборок на основе опорных точек [Текст] / Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., КостомаровП. С., Корпачев М. Ю. // Успехи современного естествознания. 2014. № 5. С. 132-136.21.Корпачев М.Ю. Анализ вариантов литографических систем при выборепроектных решений для микроэлектронного производства [Текст] / Ивашов Е.
Н., КорпачевМ. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:Материалы международной научно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И. А.Иванов; под общ. ред.: С. У. Увайсов; науч. ред.: А. Н.
Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ,2013. С. 442-444.22.Корпачев М.Ю. Построение литографических отображений в двухмерномпространстве / [Текст] / Корпачев М. Ю. / В кн.: Научно-техническая конференциястудентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов / Подобщ. ред.: А. Н. Тихонов, В. Н. Азаров, М. В. Карасев, В. П. Кулагин, Ю. Л.
Леохин, Б. Г.Львов, У. В. Аристова, Н. С. Титкова. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 263-264.23.Корпачев М.Ю. Принятие технического решения из ряда недоминируемыхальтернатив при разработке литографических процессов [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.:Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМНИУ ВШЭ. Тезисы докладов / Под общ. ред.: А. Н. Тихонов, В. Н.
Азаров, М. В. Карасев, В.П. Кулагин, Ю. Л. Леохин, Б. Г. Львов, У. В. Аристова, Н. С. Титкова. М. : МИЭМ НИУВШЭ, 2013. С. 265-265.24.Корпачев М.Ю. Обобщённый критерий качества технологическогооборудования ультрафиолетовой литографии [Текст] / Корпачев М. Ю. // В кн.: Научнотехническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ,посвященная 50-летию МИЭМ / Под общ. ред.: В. Н. Азаров, Л. Н.
Кечиев, Ю. Л. Леохин, С.Н. Никольский, И. Смирнов, Н. С. Титкова, В. М. Четвериков. М. : Московскийгосударственный институт электроники и математики, 2012. С. 293-294.25.Корпачев М.Ю. Применение литографических технологий для обработкигенетической информации в молекулах ДНК и РНК [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: ТрудыXV международной конференции. Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 50-50.26.Корпачев М.Ю. Проектирование и экспертиза технически целесообразныхрешений отражательных фотошаблонов для УФ - литографии [Текст] / Балан Н.
Н., Васин В.А., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Степанчиков С. В. // В кн.: Фундаментальныепроблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научнотехнической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.:А. С. Сигов. Ч. 3: Материалы и технологии.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
