отзыв на автореф от Рыжкова (1105066)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Петрова Александра Кирилловича «Физические процессы в двухкамерном высокочастотном индуктивном источнике плазмы, помещенном во внешн~~ магнитное поле». предс~~~~~нной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08 — «Физика плазмы». В настоящее время во всем мире бурно развившотся ионно-пучковые и плазменные технологии, прекрасно зарекомендовавшие себя в мнк)зоэлектроиике, оптической промышленности, медицине и при создании новых и изменении свойств хорошо известных материалов. О~об~с внимание в последнее вре~я уделяется ~~~~к~частотным (ВЧ) разрядам, помещенным во внешнее магнитное поле, позволяющим получать высокоплотную плазму при относительно малых затрачиваемых мощностях. Двухкамерная модификация индуктивного ВЧ источника, описанная в данной работе, представляет болыпой интерес в виду возможного использования как в космической промышленности в качестве основы электроревктнвных двигателей нового поколения, так и в различных технологических процессах, в том числе плазменного травления и напыления.

В связи с этим диссертационная работа Петрова А.К., посвященная комплексному сам осогласован ному исследованию физических особенностей индуктивного ВЧ разряда с внешним магнитным полем, представляется актуальной. Несомненным достоинством работы являются полученные фундаментальные результаты. Автором разработана методика измерения компонент ВЧ магнитного поля и тока, проанализированы условия резонансного возбужденна гелнконной и косой ленгмюровской волн, проведено сравнение с результатами математического моделирования, выявлены основные факторы„ оказывшопше влияние на аксиальнос перераспределение концентрации электронов в исследуемом источнике плазмы. Одним из наиболее интересных результатов, полученных Петровьла А.К., являются результаты исследования пространственного распределения продольной компоненты ВЧ магнитного поля в источнике плазмы и сопоставление условий их резонансного возбуждения с закономерностями перераспределения плотности плазмы.

Хочется надеется, по научно-исследовательские работы в этом направлении будут продолжены. К недоситкам автореферата можно отнести отсутствие численных оценок рассматриваемых факторов, влияющих на перераспределение плотности плазмы из газоразрядной камеры источника и~~~мы в технологическую. Сделанное замечание, однако, не снижает достоинств данной работы, выполненной на высоком научном уровне. Автореферат свидетельствует о проведении большой экспериментальной и теоретической работы, результаты которой представляют интерес для специалистов в области физики газовых разрядов, радиофизики и физики плазмы.

Считаю, что автор диссертационной работы Петров Александр Кириллович достоин присуждения ученой степен~ кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.08 — «Физика плазмы». $ Й.--В ФМ.~, Доктор физико-математических наук, доцент .~. чк' — — —" ~ Рыжков С.В, уффя4ь" яффйг'квйбяв 'М~'4В Подпись д,ф.-м.н., доцента Рыжкова С.В. з ' " "$»1ту "вфф~БА7КАЯА «.»":.'.' "д»в ьвМмо'«,.-'.:Ъ 3;,:,: .~;"";", . ':"- Ц, КАгви6 Федеральное государственное бюджетфф'--,~фф$91)аЗ,рдвйре«учреждение высшего профессионального образования «Москове~~4. ц~фЗа~зе))1«й)И"," ' ехнический университет имени Н.Э.

Баумана» ФГБОУ ВПО «МГГУ им. Н.Э. Баумана» 105005, Россия, г, Москва, ул, 2-ая Бауманская, д. 5, стр, 1 Кафедратеплофнзнкн(Э-б) Е-та)1:зкг»хЫЫЗЬшзш.гп тел»»71499)265-79-05 .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации