отзыв на автореф от Киреева (1105064)
Текст из файла
ОТЗЫВ авзорсферат диссертаипи Петрова А.К., иредсгайлепйой йа соискание ученоЙ степени кандндаззз физико-математических йаук, йа тему: "Фйзйческпе проиессь~ В дйу яка мерйом ВысокОчастОтнОм индуктивном нстОчнике плазмьз~ помешеииом во внешнее магнитное поле" по снецпальиости 01.04АŠ— физика илазмь$ Плазма индуктивного ВЧ ~высокочастотно~ О) разряда низкого давления, начиная с последней трети 20-го века, превратилйсь из предмета исследования физиков в технологическую среду для проведения преиизионных операиий травления, нйнесенйя, окисления и модификййий в пропсссе производства изделйй микро- и нйнозлектроники.
Кроме того, Такая плазма начинает все шире использоваться при СОздании знсрГОэффсктивных ионных двигателей для космических аппаратов и газоразрядных технологических источников света с максимальным выходом требуемого ИЗЛУЧСНИЯ. Такое широкое применение плазмы индуктивных ВЧ разрядов связано с ее уникальными физико-химическими свойствймй, сочетающими Высокие хймйческую ак~~~ность и конпснтрапию возбужд~нных зарязкснных и незйря~кснных части и с низкой ГЙЗОВОЙ температурой. Од~а~~ микрозлсктронном технологическом Оборудовании ПЛЙ~М~ индуктивйых ВЧ разрядОВ дОлжна зажигаться и испОльзОВаться В двухкамерных конструктивных системах, отличающихся от кварцевых труб, в которых пр~~~дятс~ физические ис~лед~~ания ТЙКОЙ плазмы.
Позтому работа, посвященная фундаментальным теоретическим н экспериментальным исследованиям влияния Внешних парамстрОВ фода и давлсния инсртнОГО Газа, чйстОты и мОщнОсти ВЧ генератора, величины мЙГнитнОГО пОля) на механизмы физических процессов н парамстры плазмы индуктиВИОГО ВЧ разряда В двухкамернОм истОчнике, предназначенном для технологическОЙ Обработки пластин, Является важйой и актуальной в научном и практическом планах. В Качестве ййиболее ййжйых результатов работы следует ОТМСТНТЬ: 1. ВперВые проведены комплексныс систематические экспериментальные и теоретические исследОвания пространственного распределения параметров разряда: концентрации и температуры электронов, потенциала плазмы, продольных кОмпонент ВЧ маГнитнОГО пОля и тОка, а Также эффективности поглощения ВЧ мощности плазмоЙ, В Двухкамерном индуктивном ВЧ источнике пла~мы.
Обнаружен Эффект аксиального перераспределения плОтности плазмы с ростом индукции маГнитнОГО пОля. Доказано, что этот эффект вызван самосогласованным действием следующих факторов: изменением аксиального распределения ВЧ полей, связаннОГО с Возб~ждением Волн В плазме; изменением Величин кВазистзциОнарных скачкОВ пОтенцнала В разряде вблизи Металлически~ элементов конструкции источника плазмы; - действием силы Миллера, вьггалкивающей электроны и ионы из области больших ВЧ полей. 2. Пров~денн~е сис~ематические экспериментальные и Теоретические исследования позволили оптимизировать операционные параметры 1частоту и мощность ВЧ Генератора, Давление и расход рабочего газа„величину внешнего магнитного поля) для получения максимальных значений концентрации ионов и их равномерности по диаметру в области расположения подложек в технологической камере.
3. Проведенные систематические экспериментальньге и теоретические исследоВания показали эффективность испОльзоВания диэлектрическОГО фл~~ца между разрядноЙ н ~ехнологическоЙ камерами ВЧ индукционного источника. Новизна работы подтвержда~тся полученными результатами исследований и моделирования, а, достоверн~сть, их повторениями намерениями, а также сОвпадением результатоВ моделирОВания с экспериментальными данными„пОлученными с испОльзОВанием СОВРЕМЕННЫХ МЕТОДИК И КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СРЕДСТВ. Практическая ценность результатов работы заключается в возможности их использования при моделировании, разработке, оптимизации и контроле йовых йонно-плазменных технологйческйх процессов ооработкй матерйалов иа оазе дВухкамерных ВЧ индуктивных истОчников плазмы.
ПО содержанию и Оформлению автореферата мОжнО сделать следующие замечания: 1. Основное замечание по содер>канию работы связано с отсутствием эксперйментов по йоййому травленйю пластйй какого-лйбо тесто~о~о матерйала, напрймер кремнйя, В йсследуемом двухкамерном ВЧ ййдуктйвйом йсточнйке плазмы. Действйтельйо, Основное уравйенйе для скорости иОннОго травления, используемое В технолОгическнх п1юцессах„ имеет следующий Вид: Ъ'й = 6,25*19~~" Ъ',(Кьа) )> Сова/п, 1нм/с), где Ъ',(Еьа) - коэффициент распыления материала, зависящий от энергии Е~ и угла падения ионов на поверхность материалов а, атом/ион; Й - плотность йоййого тока йа поверхйостй материала, мА/см; п~ - атомйая плотйость материала В атом/см', Важно экспериментально пОдтВердить, что проведенная на ОснОВе результатов дйссертацйойнОЙ работы оптймйзацйя операцйойных й конструктивных параметров двухкамерного БЧ индуктивного источника плазмы пОзВОлила увеличить скОрость и/или равномерность травления материалов, 2.
На стр. 3„последнйй абзац, 2-ая строчка сверху, ~впечатано «моделирование методом крупных частиц (Р1С)» более корректно надо печатать «моделирование методом частиц в ячейках (рагг(С1е-1п-се11 — Р1С) или методом макрочастиц». 3. На стр. 8» Верхний абзац, 2-ая и 3-ья строчки сВе1>ху, напечатано «Индуктор был выполйей йз полоЙ медноЙ проволоки диаметром 3 мм с Водяным охлаждеййем» надо печатать «Индуктор был Выполйей йз медноЙ трубкй с Внещнйм диамет1:>ом 3 мм с водяйым охлаждением», влияния Внешних параметров 1рода и даВления инертнОго Газа.„частОты и мощности ВЧ генератора, величины магнитного поля) на механизмы физических процессов и параметры плазмы двухкамерного индуктивного ВЧ разряда, а так~~ по ~птимизации распределения параметров плазмы по длин~ и влечению Технологической камеры.
Содержание авто1зеферата отра~кает научную новизну и практическую значим~~~~ диссертации, а результаты иссл~дОваний опубликованы В 7 статьях в рецензируемых научных курналов из перечня ВАК РФ и 16 тезисах в сборниках трудов конференций, Исходи из вышеизложенного, работа Петрова А.К. удовлетвориет требоваипим, иредзпвдмеязы~ ВАМ к кандидатским диееертапимм, а автор заслуживает нрпевоенми искомой степени кандидата физикоматемзтииеских наук но енепмадьиоетп Я*64.03 — физика плазмы.
Ведущий инженер НТЦ ИНЗНО- и микросистемная техникаа, НИУ МИЭТ, доктор технических наук .4н,с; .' '.,"-'Зъ „", ~"" ВЛО. Киреев -М ':... $ '1: Подпись Киреева В.Ю. удостоверяю ~,, начальник отдела кадров НИУ МИЭТ ~~~:.. ' ф: С.В. Заболотнов Т~тцьон, 8-~499 ~731-36-72 А ес злект онной почты: ~а1епЫгее~фпи11.гп .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
