Автореферат (1091351), страница 7
Текст из файла (страница 7)
46, № 3, с. 1-57. Трофимов А.А. «Режимы шлифования и полирования пластин из сапфира и карбида кремния,содержащих СВЧ монолитные интегральные схемы» // Прикладная физика, 2017, № 3, с. 8995другие научно-технические издания:8. Мальцев П.П., Щаврук Н.В., Трофимов А.А., Евсеева Е.М. «Прецизионное одностороннеешлифование и полирование полупроводниковых пластин на основе арсенида галлия, сапфираи карбида кремния» // Материалы 63-й научно-технической конференции МИРЭА 2014 г.9.
Щаврук Н.В., Трофимов А.А., Иванова Н.Е., Михалев А.О. «Разработка базовой технологииразделения пластин карбида кремния на кристаллы методом дисковой резки». // МатериалыМеждународной научно-технической конференции INTERMATIC с. 87-89 МИРЭА 2015 г.10.ЩаврукН.В.,РедькинС.В.,СкрипниченкоА.С.,ТрофимовА.А.,Иванова Н.Е., Кондратенко В.С., Стыран В.В.
«Разделение полупроводниковых пластин изтвердого материала на кристаллы». // Материалы Международной научно-техническойконференции INTERMATIC МИРЭА 2016 г.11.Мальцев П.П., Трофимов А.А., Щаврук Н.В., Евсеева Е.М. «Одностороннее шлифованиеи полирование GaAs. Выход на заданную толщину с точностью 2 мкм при разбросе толщиныпо пластине менее 1 мкм и шероховатости поверхности 2 нм». // 3-я Научно-практическаяконференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники«Мокеровские чтения» Сборник трудов с.
39-41 НИЯУ МИФИ 2013 г.12.Мальцев П.П., Трофимов А.А., Щаврук Н.В., Евсеева Е.М. «Одностороннее шлифованиеи полирование полупроводниковых пластин на основе сапфира и карбида кремния». // 5-яНаучно-практическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧэлектроники «Мокеровские чтения» Сборник трудов с. 41-42 НИЯУ МИФИ 2014 г.13.Мальцев П.П., Щаврук Н.В., Трофимов А.А., Кондратенко В.С., Зобов А.К. «Разделениесапфировых пластин толщиной выше 300 мкм на кристаллы».
// 6-ая Международная Научнопрактическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники«Мокеровские чтения» Сборник трудов с. 54-55 // НИЯУ МИФИ, 2015 г.29.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
