Отзыв на автореферат Ильичев (1091331)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертации Трофимова Александра Александровича «Технология разделения на кристаллы сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем иа гетероструктурах А!СаХ/Са1~Ь>, представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. В мире наблюдается резкий рост количества исследований, посвященных разработке термостойких СВЧ МИС, в том числе МИС на основе гетероструктур А10аМ'баМ. Методы разделения С ВЧ МИС достаточно хорошо изучены на кремнии и арсениде.

Однако, перенести формально разработки этих методов на СВЧ А1(заХ/СаМ МИС не представляется возможным, в силу существенной разницы механических свойств подложечного материала 1сапфира, либо ЯС), да к тому же в условиях применений при изготовлении МИС трехмерных технологий. Повышается риск возникновения дефектов на различных операциях техмаршрута разделения, что усугубляется высокой плотностью размещения элементов, и отрицательно сказывается на выходе годных кристаллов на завершающих этапах производственного цикла. Таким образом диссертация Трофимова А.А., посвященная разработке технологии разделения на кристаллы монолитных интегральных схем на нитридных гетероструктурах со сложными конструктивными особенностями, является чрезвычайно актуальной.

Автореферат написан хорошим языком, оформлен в соответствии с требованиями ВАК и дает полное представление о проделанной работе. Основные результаты работы получены автором впервые, являются новыми, апробированы на различных научных конференциях и семинарах, опубликованы в реферируемых научных журналах. Судя по содержанию автореферата и опубликованных по теме диссертации работ, представленная диссертация выполнена на современном научно-техническом уровне. Она полностью соответствует специальности 05.27.0б, представленные результаты являются научно- и практически значимыми, и работа в целом удовлетворяет требованиям актуальности и новизны. Автореферат диссертационной работы Трофимова А.

А. удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук. Ильичев Эдуард Анатольевич, доктор физико-математических наук, профессор Москва, Зеленоград, площадь им. Шокина, дом 1 тел.89035941858, е-та11 ей144®та1!.гц 18.09.2017 Э.А. Ильичев Должность и подпись Э.А. Ильичева подтверждаю.

Начальник отдела кадров МИЭТ С.В. Заболотный,.' .1,::.-1. .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации