Условия теста №1 (1072727)
Текст из файла
Тест №1 по курсу «Микро и нанотехнологии»
Студент ……………………….. Группа ………………………
Задание: Отметить знаками «+» или «-» методы, с помощью которых можно или нельзя нанести в вакууме тонкопленочное покрытие из следующего материала:
Метод | «+» или «-» | Примечание |
D00 | ||
D01 | ||
D02 | ||
D03 | ||
D04 | ||
D05 | ||
D10 | ||
D11 | ||
D20 | ||
D21 | ||
D22 | ||
D30 | ||
D31 | ||
D40 | ||
D41 | ||
D42 | ||
D43 | ||
D50 | ||
D51 |
Оценка в баллах зависит от количества правильных ответов N:
N | 19 | 17 | 15 | 12 | 9 | <9 |
Баллы | 15 | 13 | 11 | 9 | 7 | 0 |
Тест №2 по курсу «Микро и нанотехнологии»
Вариант 1
Рассчитать в указанных точках подложки диаметром D стехиометрический состав тонкой пленки (весовой и молекулярный), состоящей из (Cu) и (Zn) и наносимой термическим методом из двух источников согласно прилагаемой схеме (D=100 мм; H=250 мм; a=10 мм; b=35 мм).
Вариант 2
Рассчитать максимальную неравномерность толщины пленки, осаждаемой из точечного источника на внутреннюю поверхность конуса с углом при вершине ά=60о и высотой H=100 мм. Источник размещен на одной оси с конусом и отстоит от линии его основания на величину a=10 мм, согласно прилагаемой схемы:
Вариант 3
Рассчитать необходимую частоту вращения n (об/мин) барабана диаметром D=500 мм для нанесения на движущуюся ленту тонкопленочного покрытия из Al толщиной 3,2 мкм методом термического испарения. Расстояние от источника до барабана h=100 мм.
Вариант 4
Рассчитать давление p (Па) реактивного газа (N2), необходимое для получения методом термического испарения тонкой пленки Si3N4 на подложке диаметром D=150 мм, расположенной на расстоянии r=200 мм от испарителя. На сколько отличается стехиометрический состав пленки в центре и на периферии подложки?
Вариант 5
Рассчитать неравномерность тонкопленочного покрытия из Al, нанесенного методом термического испарения на две полусферы радиусом R= 130 нм при h=100 мм, а=10 мм.
Вариант 6
Определить температуру Т, до которой необходимо нагреть подложку для получения кристаллической пленки …….. при скорости осаждения Vо= ………… кг/(м2с). Энергию активации диффузии принимаем равной 0,5 эВ, энергию активации десорбции 1,5 эВ. Как изменится Т при осаждении пленки из ……………..?
Вариант 7
Рассчитать частный (по параметру γ) коэффициент выхода годных тонкопленочных ИС при нанесении пленки ………….. методом ……………………………………………………. (скорость осаждения принять равной скорости испарения или распыления). Разброс параметров составляет: σp= ………….. Па, σT= ………… К, σV0= ……….. нм/с. Остальные параметры стабильны, γд= ………..
Тест №3 по курсу «Микро и нанотехнологии»
Вариант 1
Рассчитать минимально допустимое расстояние от системы сканирования до подложки диаметром 200 мм в установке ионной имплантации при энергии ионов As, равной 150 кэВ.
Вариант 2
Рассчитать параметры отклоняющей системы установки ионной имплантации, обеспечивающей постоянный угол внедрения ионов P и сканирование пучка с энергией 300 кэВ по пластине диаметром 100 мм.
Вариант 3
Рассчитать индукцию магнитного поля, при которой 2-x зарядные ионы B с энергией 500 кэВ имеют радиус траектории 0,5 м. Определить тип нежелательных ионов в отсепарированном пучке, если диаметр выходной диафрагмы масс-сепаратора равен 2,5 мм.
Вариант 4
Сравнить погрешности размеров обрабатываемых элементов ИС при проведении процесса ИХТ двумя методами: с автономным источником ионов и диодным на постоянном токе.
Вариант 5
Рассчитать расстояние между электродами при ИПТ диодным на постоянном токе методом, при котором атомы распыляемого материала начнут возвращаться на обрабатываемую подложку.
Вариант 6
Рассчитать погрешность ионного травления слоя W толщиной 0,4 мкм через маску из С в установке триодного типа.
Вариант 5
Рассчитать погрешность ионно-химического травления слоя Si толщиной 0,5 мкм магнетронным методом с Cl-содержащим рабочим газом.
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.