Domashnee_zadanie_Proektsia (1063282)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Домашнее задание

Расчет распределения интенсивности экспонирующего излучения

в плоскости изображения (на поверхности фоторезиста)

Проекционная фотолитография

В проекционной системе фотошаблон представляет собой решетку с периодом Р и шириной прозрачной полосы W. Излучение имеет длину волны , объектив - числовую апертуру А. Интенсивность I излучения на шаблоне распределена равномерно.

Рассчитать распределение интенсивности в плоскости изображения. Оценить возможность проведения фотолитографии при заданных параметрах.

Структура домашнего задания

1. Заданные условия

2. Краткое описание последовательности выполняемых этапов.

3. Математическое обеспечение основных этапов

4. Программное обеспечение

5. Графики

   1. Входного распределения интенсивности (на объекте)

   2. Представления входного распределения Фурье-разложением

   3. Фурье-разложения после объектива

   4. Суммарный профиль распределения интенсивности в плоскости изображения

6. Оценить контраст полученного изображения и сравнить с допускаемым в промышленном производстве

7. Выводы

Примечания.

Фурье-разложение провести в тригонометрическом и комплексном видах, сравнить результаты.

Представить исходное распределение в виде Фурье-разложения, используя для этого как минимум 3 первые гармоники.

Выходное распределение представить в виде набора гармоник и их суммы. Определить контраст получаемого изображения и сравнить его с рекомендуемым для практической фотолитографии.

В разделе математическое обеспечение:

1. Выбрать формулу для оценки контраста формируемого изображения. Математически показать, что именно эта формула соответствует оптическому параметру «модуляция».

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов вопросов/заданий