мт11-61 анизотропа (1063099)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Московский ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции,ордена Трудового Красного Знаменигосударственный технический университет им Н. Э. Баумана.Домашнее задание«Анизотропное травление»Выполнил:Куликова Л. А.Группа: МТ11-61ПреподавательЦветков Ю.БПервых проход1 способтаблица спогрешностямидо 10%T, CKOH, %101520253035404550556020304050607080901001,431,541,661,471,391,401,131,030,880,630,463,243,393,443,303,152,972,482,161,831,321,166,727,027,166,966,575,995,154,623,862,922,1913,2014,0314,0813,5712,8211,8510,478,967,435,984,4825,5126,4226,7725,8324,4122,3919,8117,0514,2311,178,4846,0449,0649,0546,9745,0141,0036,0230,9826,0021,0415,0682,0086,0486,0984,0678,9371,9963,9455,0746,0235,9227,05140,00146,96147,94144,09134,98123,91109,9895,0378,9062,0846,93233,05245,08246,02238,94225,09205,94183,97158,03131,00103,9377,93Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)165y = -6929,2x + 23,992R² = 0,999941Линейная (1)3Линейная (1)Линейная (1)2Линейная (1)y = -6929,2x + 23,992R² = 0,99991000,00050,0010,00150,002Получили следующую зависимость:a= -6927,60,00250,0030,00350,004Ea  a  kBEa=9,59417E-20b=23,998A  exp(b)A=2,46E+10 E R  A  exp   a  k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 10%СлучайныечислаRIn( R)R расч.-0,021,42 0,3478361,330,003,10 1,13075672,90-0,086,43 1,86019666,03-0,0412,76 2,546315311,990,0824,48 3,197856522,87-0,1044,90 3,804437842,000,0479,04 4,370004774,550,09135,09 4,9059042 128,20-0,08224,92 5,4157403 214,14Темп.

С Темп. К1/TR (30)20293,15 0,0034112231,4430303,15 0,0032986973,140313,15 0,0031933586,550323,15 0,00309453812,860333,15 0,00300165124,470343,15 0,0029141774580353,15 0,0028316587990363,15 0,002753683135100373,15 0,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,001210,001,00100908070605040Возьмем две точки на графике с координатами:А(30;3)В(100;210)30203После преобразования получим(1/T1)*10^-3ln(R1)(1/T2)*10^-3ln(R2)3,3003300331,0986122892,6809651475,347107531Рассчитываем Ea и A по формуламEa (ln R2  ln R1 )  1,38  10201/ T1  1/ T21/ T1 A  exp  ln R1  EakB EaA9,46602E-202,04E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,48 0,003193358 0,0030017 6,5722402R(40C) табл.6,425Второй проход1 способтаблица спогрешностямидо 15%T, C2030KOH, %101,343,23151,63,47201,63,47251,593,45301,352,96351,22,79401,242,61451,072,23500,91,7550,661,37600,441,16Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)4050607080901006,797,157,196,86,535,855,164,673,752,872,2213,2613,9713,913,7212,6511,8310,499,117,446,034,525,5326,3526,6525,8324,4322,3819,9617,1914,1411,18,5245,9349,0248,8646,9744,8741,0535,8631,0825,921,151581,9385,8986,118478,9671,8664,0554,924636,0827,02139,89146,87147,98144,04134,86124,14110,0595,0978,9461,9447,09233,15245,02246,06239224,98205,99184,02157,9130,94104,0478,131654321y = -6989,6x + 24,162R² = 0,9999000,00050,0010,00150,0020,0025Получили следующую зависимость:a= -6989,6Ea= 9,64565E-20Ea  a  kBb=24,162A= 3,11E+10A  exp(b)0,0030,00350,004 E R  A  exp   a  k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 15%Темп.

С Темп. К20293,1530303,1540313,1550323,1560333,1570343,1580353,1590363,15100373,15СлучайныечислаRIn( R)R расч.-0,091,35 0,3001051,38-0,142,96 1,0851893,020,036,53 1,8764076,31-0,15 12,65 2,53765712,580,03 24,43 3,19581224,09-0,13 44,87 3,80376944,39-0,04 78,96 4,36894179,03-0,14 134,86 4,904237136,30-0,02 224,98 5,416012228,301/TR (30)0,0034112231,440,0032986973,10,0031933586,50,00309453812,80,00300165124,40,002914177450,002831658790,0027536831350,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,0010,001,0010090807060504030Возьмем две точки на графике с координатами:А(30;3)В(100;205)После преобразования получим:(1/T1)*10^3ln(R1)(1/T2)*10^-3ln(R2)3,30033 1,0986122892,6809651475,323009979(ln R2  ln R1 )  1,38  1020Ea 1/ T1  1/ T2201/ T1 A  exp  ln R1  EakB EaA9,41233E201,79E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,43 0,003193358 0,003001651 6,60792R(40C) табл.6,53Задний проход1 Способтаблица спогрешностямидо 20%T, CKOH, %101520253035404550556020304050607080901001,6361,4481,7581,441,5461,4341,3261,1960,6580,5880,553,163,3183,3163,2443,0862,772,5222,2821,7021,2341,036,8847,1647,2286,8926,5745,8585,3444,6563,942,9122,3613,1113,82814,12813,66212,72811,62810,3088,937,5085,9484,47625,4826,56626,63225,77824,58222,30619,91817,00814,19811,328,2846,09448,84848,88846,8245,13640,9136,09431,1725,98221,0415,17682,0686,16486,15284,0987972,13264,04854,93446,06836,19427,018139,852147,196147,816144,14135,052123,822109,83895,14478,8561,92447,08233,082245,01245,954238,974224,854206,014183,954157,944130,884103,9177,922Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)654y = -6859x + 23,79R² = 0,999832100,00250,00260,00270,00280,00290,0030,0031Получили следующую зависимость:a= -6859Ea= 9,46542E-20Ea  a  kBb=23,79A= 2,15E+10A  exp(b)0,00320,00330,00340,0035 E R  A  exp   a  k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 20%СлучайныечислаRIn( R)R расч.0,111,55 0,4356711,48-0,013,09 1,1268763,200,076,57 1,8831226,60-0,07 12,73 2,54380412,990,18 24,58 3,20201424,570,14 45,14 3,8096844,780,00 79,00 4,36944878,860,05 135,05 4,90566134,62-0,15 224,85 5,415451223,33Темп.

С Темп. К1/TR (30)20293,15 0,0034112231,4430303,15 0,0032986973,140313,15 0,0031933586,550323,15 0,00309453812,860333,15 0,00300165124,470343,15 0,0029141774580353,15 0,0028316587990363,15 0,002753683135100373,15 0,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,0010,001,001009080706050Возьмем две точки на графике с координатами:А(20;1,5)В(100;208)После преобразования получим(1/T1)*10^-3 ln(R1)(1/T2)*10^-3 ln(R2)3,412969283 0,405465108 2,680965147 5,33753808Рассчитаем Еа и А :403020(ln R2  ln R1 )  1,38  1020Ea 1/ T1  1/ T21/ T1 A  exp  ln R1  EakB EaA9,29812E-201,46E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,582 0,003193358 0,003001651 6,755372СравнениерезультатовПогрешность Ea(способ№1) Ea(способ№2) A(способ№1) A(способ№2)10%9,59417E-209,46602E-202,46E+102,04E+1015%9,64565E-209,41233E-203,11E+101,79E+1020%9,46542E-209,29812E-202,15E+101,46E+10R(40C) табл.6,574.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов домашнего задания