В.Г. Блохин - Современный эксперимент (1062943), страница 42
Текст из файла (страница 42)
шенин размеров площадок, расположенных по периметру модуля, до 0,6М0,6 мм, в применении коммутирующих проводников постоянной шарипы 0,)5 мм (вместо ступенчато изменяющихся по шпрпнг проводников), а также свободных контактных площадок Т-образной конфигурации. На рнс. 7.37 нрннедсп чертеж модернизированного модуля, а на ряс. 7.38 даны полные распределения высоты полуды на контактных площадках плат с модернизированной топологией. Иэ рпс. 7.38 видно, что распределения имеют незначительную правостороннюю асимметрию. Обрапгают на себя внимание также острыс вершины распределений. Незначительная правосторонняя асимметрия означает небольшое нелинейное изменение средних значений погрешностей высоты полуды в партиях, а наличие острых вершин — изменение срслинх квадратических отклонений, Последнее яод.
тверждастся видом эмпирической точвостной диаграммы (рис. 7.39), построен. иой на статистических данных, собранных после модернизации топологии. Действительно, изменение средних значений в мгновенных распределениях имеет незначительную нелинейность, а средних квадратических отклонений — тенденцию к расширению от партии к партии.
Полное распределение (см. рнс. 7,38) и точностная диаграмма (рис. 7.39) сви. детельстнуют о значительном уменьшении снгтемаюшеской состэкзнющсй погрешности высоты полуды на контактных площадках, подсказывают пути к дальней. шей (при необходимости) модернизации топологии, к управлению технологическим процессом н топологией для получения необходимого распределения погреш. ногтей высоты полуды. Применение настоящей методинн к анализу причин «разнозысотности» полуды более эффективно по сравненинз с традиционными статистическими методами исследования (днспсрснонным, регрессионным и пр ) с точки зрения оперативности.
Что жс касается контроля степени «разновысотности» и проверки эффективности модернизации топологии и технологии после введения корректив, то предлагаемая методика явно выгоднее. Действительно, чтобы убедиться в эффективности модернизации, используя традиционные методы исследования, необходимо провести достаточво длительные эксперименты и расчеты.
В предлагаемой методике достаточно по близости распределения погрешности высоты полуды к гауссовскому закону суднть о степени «разновысотностн» на пассивных ила~ах микросхем с конкретвым топологическим рисунком. Рассмотренные в настоящем разделе примеры показывают, что основные теоретические схемы возникновения производственных погрешностей могут быть с успехом использованы для анализа причин неравномерности распределения толщины пленок, слоев и покрытий на подложках микросхем с целью минимизации этой неравномерности, а также для контроля неравномерности их рас- (8! пределения в процессе изготовления микросхем.
Последнее особенно существенно, если иметь в виду применение совершенных датчиков толщины (и,ди ее косвенных параметров) пленок, слоев, покрытий и современных электронно-вычислительных средств. Преимущество описанной методики анализа и контроля заключается еще и в том, что по виду полного распределения можно сулить не только о наличии градиентной погрешности, но и о характере профильной кривой и относительном влиянии систематической и случайной составляющих погрешности на общую погрегпность воспроизведения толщины пленки, слоя, покрытия.
КОНТРОЛЬНЫЕ' ВОПРОСЫ 1. Назоннте оснонные отлична актианого н цасснаного экспериментан, их пре. нмуШсстаа и недостатни. о. Каков порядок пронсленяя пассивного эксперимента з нронзаодстиенных услоаиях? 3. Какую информапню о качгсгяс т~хнологпческого процесса несут контролируемые а процессе пронзаодстэа парамет!зы качссзна? 4. В чем различие систематических н случайных погрешностей? 5. Каким образом можно оценить вклад случайных и систематических погрешностей н точность технологического процесса? 6.
Назовите основные особенности анализа точности технологического процесса нзготонлсния изделий групповыми методамн, 7. Почему коэффициент выхода годных изделий нельзя рассматривать, как показатель только точности технологического проггессз? 8. В чем отличие мгновенного и полного распределения параметра качества технологического процесса? 9. Что понимают под устойчиностью и стабильностью технологического процесса? 1О. Как можно охарактеризовать технологическую точность процесса? 1!. Почему отлаженность технологического процесса можно характернзоаать гауссовским законом распределения параметра качестяа? 12.
В шм отлично точяостной диаграммы от контрольнои карты? 13. Что представляет собокз теоретическая схема нозннкноасння произяодственных погрешностей? !4. Какие теоретические схемы аозиикнозения произаодстаенных погрешностей Вам известны? 13, Как теоретические схемы агыникнопення пронзнодстаспных погрсшностсй нозноляют апализирозать результаты пасспнного эаспернпснта? !б. Прппсдитс конкретные примеры применения тсорезпчсгкпх гхгч для анализа градиентных погрешностей а нроизнодстае ЭГ П)а)!7)ОжЕН1)Е 1 СТАТИСТИЧЕСКИЕ ТАБЛИИЫ Таблица 1 Значения ), распределения (критерий Стьюдента) КеаФфичиеит риска 5 оло о,) о,оо алло елок о,о) о.ою 1 2 3 4 б 7 8 9 10 11 12 13 14 15 !6 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 ЗО 40 60 120 ),00 1,816 1,765 1,741 1,727 1,718 1,711 1,706 1,703 1,700 1,697 1,695 1,694 1,692 1,691 1„690 1,689 1,688 1,688 1.687 1,686 1,685 1,685 1,685 1,684 1.684 1,684 1,683 1,683 1,683 1,681 1,679 1,677 1,674 2,41 1,60 1,42 1,34 1,30 1,27 1,25 1.24 1,23 1,22 1,21 1.21 1,20 1,20 1,20 1,19 1,19 1,19 1,19 1,)8 1,18 1,18 1,18 1,18 1,18 1,18 1,18 1,17 1,17 1,17 1,17 1,16 1,16 1,15 6,31 2,92 2,35 2,13 2,01 1,94 1,89 1,86 1,83 1,81 1,80 1,78 1,77 1,76 1,75 1,75 1,74 1,73 1,7з 1,72 1,72 1,72 1,71 1,71 1,71 1,71 1,70 1,70 1,70 1,70 1,68 1,67 1,66 1,64 12,7 4,30 3,18 2,78 2,57 2,45 2,36 2,31 2,26 2,23 2,20 о 18 2,16 2,14 2,13 2,12 2,11 2,10 2,09 2,08 2,07 2,07 2,06 2,06 2,06 2,05 2,05 2,05 2,04 2,02 2,00 1,98 1,96 25,5 6,21 4,18 3,50 3,!6 2,97 2,84 2,75 2,68 2,63 2,59 2,56 2,53 2,5! 2,49 2,47 2,46 2,42 2,41 2,41 2,40 2,39 2,38 2,38 2,37 2.37 2,36 2,36 2,33 2,30 2,27 '2,24 63,7 9,92 5,84 4,60 4,03 3,71 3,50 3,36 3.25 3,17 3,1 1 3,05 3,01 2,98 2,95 2,92 2,90 2,88 2,86 2,85 2,83 2,82 2,81 2,80 279 2,78 2,77 2,76 2,76 2,75 2,70 2,66 2,62 2,58 127 14,1 7,45 5,60 4,77 4,32 4,03 3,83 3,69 3,58 3,50 3,43 3,37 3,33 3,29 3,25 3,22 320 3,17 3,15 3,14 3,12 3.10 3,09 3,08 3.07 3,06 3,05 3,04 3,03 2.97 2,91 2,86 637 31,6 12,9 8,61 6,86 5,40 5,04 4,78 4,59 4,32 4„22 4,14 4,07 4,01 3,96 3,92 3,88 3,85 3,82 3,79 3,77 3,74 3,72 3,71 3,69 3.67 3,66 3,65 3,46 3,37 3,29 Значения вероятностей Р для ярнтерня 7т Таблица 0,9626 8491 0,9982 0,9856 0,9948 9598 0,3173 7358 5724 9810 1574 3679 7000 5578 08333 39!6 8850 7798 8088 2231 1353 9344 5494 4 159 0,3062 4060 2873 0,1991 2615 857! 7576' 0,6472 5366.
1718 О,! $16 0821 5438 0,4232 3208 2381 66 0,5398 4289 3226 0,0498 . 2206 1562 0302 О!83 1736 1091 0752 05!4 0348 0234 0156 10 11 !886 1386 1006 072! 1248 0884 0620 0430 2017 !512 0117 0266 0174 0074 !$19 133 0818 0512 0029 14 155 0591 0424 0301 0212 0149 0018 0360 0104 0203 0138 0093 0011 0068 0045 0001 0000 !7 0007 0001 0004 0003 0029 00!9 0013 )99 0001 ОООО 0103 0002 0071 0001 0001 0049 0034 ОООО 000! 000! 001! ОООВ 000! 00$0 0000 0005 27 28 29 30 0002 000! 0001 000! 0001 0003 0001 0001 04555 02544 0,01433 008! 00477 00277 001Ыэ 00099 0005 ОООЗ 00021 0001 0111 0067 0041 0025 0015 0009 6006 0003 0002 0,8013 0,9098 0719 1359 0460 0916 0293 0611 О!86 0404 0046 0113 0073 0047 0030 0019 0012 0008 0005 0008 0005 0003 0002 0001 0001 ОООО 0062 0042 0028 0018 0012 ОООЙ 0005 0003 0002 0251 0174 0120 0082 0056 0038 0025 0017 Таблица 3 Коэффициенты Диксона, учитывааицие экстреиальные эначении цри заданных эначеииих коэффициента риска Оэоэээчеаэе аоэФФэ.
цитата Дэаеоаа о,)о оЗи оцц о,ооэ 0,886 0,679 0,557 0,432 0,434 О 941 0.765 0,642 0560 0,507 0,994 0,926 0,821 0,740 О',680 О,ОЗВ 0,889 0,780 0,698 О,'637 т1о 0,479 О',44) 0,409 0,683 0,635 0,597 0,554 0,512 0,477 О 725 0,677 0,639 9 1О 0,967 0,845 О,736 0,661 0,607 0,565 0,531 О,оаб 0.782 0,670 0,596 0,545 0,505 О',474 0,996 0,950 О,'865 0',814 О,'746 О',7ПО 0,664 О 992 0.929 0,836 0,778 о,'710 0,667 а'632 4 )а 0,713 0,675 0,649 0,517 0,490 0,467 0,679 0,642 О,'615 0,576 0 546 0,521 11 12 13 14 15 16 17 18 19 ЗО 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 0,492 0,472 0,454 0,438 0,424 0,412 0,40) 0,391 0,382 0,374 0,367 О,ЗВО 0.354 О,348 0,342 0,337 0,332 0,546 0,525 0,507 0,490 0,475 0,462 0450 0,440 О,430 0,421 0,413 6,406 0,399 0,387 0,381 0,376 0,.641 О,б) б О',595 0,577 0,561 0,547 0,535 0,524 0,514 0,005 0,497 0,489 0,486 0,475 0,469 0,463 0,457 0,674 0,647 0,624 0,605 0,539 0,575 0,562 0,551 0,541 0,532 0,524 0,5)6 0,508 0,50! 0,495 О,489 0,483 О О О О Ъ с О с» О й СЪ й с с Ъ й й СЪ Ъ с» О о 4 ~89 4 Ь ы ~ О, "С О8 3~ О со Х Х О 3 о С .Ь а„, 44 а 44 Х Х .4» 4 'с я „О зо ~~ 44 аО Х ~~ Х ~ 3 с Х % О С» О ° Э $~ ЦЬ 3 с О «Ъ О ОС сь ~! 3 О са О ХО Х а О О ~О ;ЖО Х Ф 44 О В Х щ Х Х ,Д ОЭ 4 ОЭ СЧ СО 4' СО,»' Сй СО СО ОЭ ЦЪ С Э сбсоиъч'ч'сбсбсбсчсис4О о ООООООООО О О О С О О О О Осчюсчсбъсь$»»4«4юэ и» со «б СО «О Ч Сб СЭ СЧ С4 С'4 СЧ „О„О„О О О О О 0 О О О О О О О О О О О О сб Оъ сэ 4 Оъ иъ с'4 О «й О 4' сч Оэ о с» «б 4 »й й 4' СЪ Сб РЭ СЧ СЧ СЧ» „С» О О ОООООООООООО О ОООЮ СЧСЭСЧ Э ЬЭЧ Осбсй СЧ СО Ь С« С» СО Оо Сб ОО"О'О С.",ООО'О" О О О О О" О О" Р съ съ сб сй 4 4' 4 О4 4 иъ сч съ \ Оъ с о иъ ч' ч' бэ сб сб сч с4 ю О Р Ю" О О О Р Р О О Р О СР О Р О О С С4 О« „„„„О О О 4 Сб О: «О Сб СО «б ЦЪ Сб «О иъ 4 .4.
«Э сб сч О 0 С О с СЪ О О О О О О О О О О О счр 4' ъсььъо»цъсб с .4 О» .Р съ о с ОЪ«-'О й " 4'СЪСЭ«» С'4 СЧ „С» О ОС»ЮОООроОО О О ОоОСО »СОСО«ОС»4 4' Сб С О Ю 4 ОЪ СО Сб «б 0 Д 'Ф Э Сб Сб Сб„«Ч С'»„СЧ С О О ОООООООООО О О ООООО Ч' ОЭ «б О» С'4 4 СЧ О СР СО СЬ СО »О СО 4' Оъ 4 цэ иэ иъ 4 э сэ с'э с'ъ с'4 сч съ съ ОООСООООО О 0 О О 0 О О 0 сь с 4' съ о с э О й сч 4 иъ сч О 4 СЪ«.Ъ й«й 4' 4' С»СОСО С4 С» „„О О„ С» О О О О О О О О С О О О О О О ОЬЪСЧСбро«ОСЬ Ч'О»СЭО С С'ЭО'Ъ Со 4 СО й„р 4 Ч'„ЬЭ Л.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
