презентация (1058758)
Текст из файла
Технологический анализ изделия «Зеркало»Эскиз изделия «Зеркало»Использование градиентных зеркалв лазерной оптикеСтадии технологического процессаПолучениезаготовкиОсновные характеристики изделияНаносимые материалыАнализатор спектраE4408BZrO2, SiO2Число слоев31..48Толщины слоев, нм150..250Коэффициент просветления(длина волны 1,06 мкм)99,9 %Коэффициент отражения(длина волны 1,35 мкм,1,53 мкм)Телескоп траекторныхизмененийШлифовказаготовкиПолировказаготовкиОчисткаподложки99,9 %Градиентный профильпоказателя преломленияЛазерный дальномерПрессуют шихту из алмаза и смолы,затем термообрабатывают при 160°,пропитывают жидким кремнием,излишки удаляют пескоструйнойобработкой, разрезают алмазными икруговыми пилами на цилиндрыШлифуют абразивом, с каждымэтапом используя все болеемелкие зернаИспользуют станки для полирования, гдеустанавливаютполировальник,представляющий собой звездочки сгнездамидляразмещенияполировальныхдисков,покрытыхвойлочными кругами.Очистка происходит в центрифуге,подложка очищается деионизованнойжидкостьюВысокодобротный оптическийрезонаторЗеркалоСушкаподложкиНанесениепокрытияИспытаниеизделияСистема формирования излученияСушка в центрифуге на большойскорости, либо в самой камере приоткачке.Подложка загружается в камеру и нанее поочередно наносятся ZrO2 и SiO2Проверка соответствия изделиянеобходимым условиям для егодальнейшей эксплуатацииÒåõíîëîãè÷åñêèé ìàðøðóò èçãîòîâëåíèÿ èçäåëèÿ “Çåðêàëî”Âàðêà øèõòûÐàñïèëèâàíèå çàãîòîâêèÍàãðåâàòåëüíûåýëåìåíòûØëèôîâêà è ïîëèðîâêà ïîäëîæêåêÀëìàçíàÿ ïèëàØëèôîâàëüíûé êðóã(ïîëèðîâî÷íûé êðóã)ØèõòàÏîäëîæêàÑòåêëîáîéÑòåêëîÎãíåóïîðíûéãîðøîêÝòàïû øëèôîâêè:1) ãðóáàÿ øëèôîâêà;2) òîíêàÿ øëèôîâêà;Àáðàçèâ - êâàðöåâûå ïåñêè, íàæäàêè.Øåðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè Ra=3,2Áëîêè ðàçðåçàþò àëìàçíûìè ïèëàìè:à) äèàìåòð 30 ìì;á) òîëùèíà ïîäëîæêè 2 ìì.Êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿ nc=1,5183Âàðêà øèõòû â ñïåöèàëüíûõ îãíåóïîðíûõ ãîðøêàõ.Ïðîöåññ âàðêè äëèòñÿ îêîëî 24 ÷àñîâ.Òåìïåðàòóðà â ïå÷è äîñòèãàåò 1500 °C.Î÷èñòêà ïîäëîæêèÏîëèðîâêà ïðîèçâîäèòñÿ êðîêóñîìØåðîõîâàòîñòü Ra=1,2Íàíåñåíèå ïîêðûòèÿÑóøêà ïîäëîæêèÏîäëîæêàÖåíòðèôóãàÌèøåíüÄåèîíèçîâàííàÿâîäàÏëàçìàÌàãíèòûÑèñòåìà îõëàæäåíèÿÑèñòåìà íàïóñêàãàçà-2Ìàêñèìàëüíàÿ ñêîðîñòü öåíòðèôóãè 6500 îá/ìèíÈñïûòàíèÿ ïîêðûòèÿâ æèäêèõ àãðåññèâíûõ ñðåäàõËàçåðíûé äàëüíîìåð ÄËÊ-1Èñïûòàíèÿ ïîêðûòèÿíà ëó÷åâóþ ïðî÷íîñòüÏÇÑ-êàìåðàÏîäëîæêàÂîäà ñ ìîðñêîé ñîëüþÄèàôðàãìàÎáúåêòèâÈçäåëèåËèíçà Îïòè÷åñêèéêëèíËàçåðÔîòîäèîäÄèàôðàãìàÇåðêàëîÎïòè÷åñêèéêëèíÎáúåêòèâÎñöèëëîãðàôÏÇÑ-êàìåðà-1Äàâëåíèå â êàìåðå 9,31•10 ?2,66·10 ÏàÍàïðÿæåíèå íà ýëåêòðîäàõÒîê ðàçðÿäà 3±0,1 ÀÂåëè÷èíà èíäóêöèè ìàãíèòíîãî ïîëÿÎïòè÷åñêèéêëèíÊàëîðèìåòðÎïåðàöèè íàíåñåíèÿ ãðàäèåíòíîãî ïîêðûòèÿÍàïóñê ðàáî÷åãî ãàçàÎòêà÷êà âàêóóìíîé êàìåðûÏîäà÷à õîëîäíîé âîäûÊîíòóð îõëàæäåíèÿêîëïàêàArO2ArO2Âêëþ÷åíèå âðàùåíèÿ êàðóñåëèðàáî÷èõ îáðàçöîâArO2ÊàðóñåëüArO2Ëèíèÿ îõëàæäåíèÿìàãíåòðîíîâÏîäëîæêàÇàñëîíêà-3P=(2,6?3,9)·10 ÏàArO2ArO2ArO2ÊàðóñåëüArO2Ãåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Ãåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Ãåíåðàòîð2Ip = (3±0,1) ÀÐAr=9,31•10-2?2,66·10-1 Ïà,âðåìÿ ðàñïûëåíèÿ ôð=(15±0,05) ìèí (äëÿ Zr)Ip = (3±0,1) ÀÂðåìÿ òðåíèðîâêè (15±2) ñArO2Ðàòì.ArO2Ãåíåðàòîð2Ip = (2±0,1) ÀÐAr=9,31•10-2?2,66·10-1 Ïà,âðåìÿ ðàñïûëåíèÿ ôð=(3±0,05) ìèíIp = (2±0,1) ÀÂðåìÿ òðåíèðîâêè (15±2) ñÎòêëþ÷åíèå âðàùåíèÿ,ïåðåêðûòèå ïîäà÷è ðàáî÷åãî ãàçà,âûêëþ÷åíèå ïîäà÷è õîëîäíîé âîäû,íàïóñê àòìîñôåðû â êàìåðóÍàíåñåíèå ïîêðûòèÿÃåíåðàòîð1Òðåíèðîâêà ìèøåíè èç êðåìíèÿÏåðåâîä ðàáî÷èõ îáðàçöîââ çîíó ðàñïûëåíèÿ êðåìíèÿÍàíåñåíèå ïîêðûòèÿÒðåíèðîâêà ìèøåíè èç öèðêîíèÿÃåíåðàòîð1÷àñòîòà âðàùåíèÿ 6500 îá/ìèíP=(2,9? 3,9)•105 ÏàÃåíåðàòîð1Ãåíåðàòîð2Àíàëèç ìåòîäîâ íàíåñåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ïîêðûòèé è èõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåÐàñïûëÿåìûé ìàòåðèàëÏîäëîæêàÌàãíèòÇîíà êîíöåíòðàöèèïëàçìû òëåþùåãîðàçðÿäàÌåòîä íàèìåíüøèõ êâàäðàòîâÝëåêòðîííî ëó÷åâîå èñïàðåíèåÍàãðåâàòåëüïîäëîæêèÍàïûëÿåìûéñëîéÊàìåðàÊàòîäÏîòîê ïàðà2,35ÇàñëîíêàÝëåêòðîííàÿïóøêàArÇàâèñèìîñòü âûõîäíîãî ïàðàìåòðàîò êîëè÷åñòâà êèñëîðîäà â ñèñòåìå (â %)2,32,25Îòêà÷êàâàêóóìà2,22%ÊàìåðàÏîäëîæêàÄåðæàòåëü ïîäëîæåê(ìîæåò áûòü àíîäîì)Ñèëîâûå ëèíèèìàãíèòíîãî ïîëÿè ïîëíîì îòñóòñòâèè êàïåëüíîé ôàçû;Ïðåèìóùåñòâà Ïëîòíàÿ ìèêðî- (íàíî-) êðèñòàëëè÷åñêàÿ ñòðóêòóðàìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé ïðè ïîëíîì îòñóòñòâèèêàïåëüíîé ôàçû;Âîçìîæíîñòü íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé íà òåðìî÷óâñòâèòåëüíûåìàòåðèàëû ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ;Íàèáîëåå øèðîêèé ñïåêòð ïîêðûòèé ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ;Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ;Âûñîêèå ñâîéñòâà ìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé.ÍåäîñòàòêèÐàñïëàâëåííûéìåòàëëÏîâåðõíîñòüèñïàðåíèÿ5%2,157%15%2,1ÂîäîîõëàæäàåìûéòèãåëüÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåðàõÝëåêòðîííûéïó÷îê20%Èñïàðÿåìûéìàòåðèàë2,05Ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàïûëåíèå2Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ.
Âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿòîëñòûõ ïîêðûòèé (äî 200 ìêì);1,950Âûñîêàÿ ÷èñòîòà ïîêðûòèé (ìèíèìóì ïðèìåñåé).5001000150020002500Ðåçóëüòàòû èñïûòàíèé íà äëèíå âîëíû 500 íì:Îòíîñèòåëüíàÿ ñëîæíîñòü òåõíè÷åñêîé ðåàëèçàöèè ìåòîäà ïðèïîëó÷åíèè ðåàêòèâíûõ (êåðàìè÷åñêèõ) ïîêðûòèé.Òðóäíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùèíû è ñòåõèîìåòðèèíà èçäåëèÿõ ñëîæíîé êîíôèãóðàöèè.Îòíîñèòåëüíî âûñîêàÿ ñòîèìîñòü îáîðóäîâàíèÿÍèçêàÿ ñòåïåíü çàãðóçêè èçäåëèÿìè îáúåìà ðàáî÷åéêàìåðûÊîëè÷åñòâî O2, % 2571520y, êîýôôèöèåíòïðåëîìëåíèÿ2,2862,2532,20962,18442,3092Ðåçóëüòàòû ïàðàëëåëüíûõ íàáëþäåíèéÀíàëèç òåõíîëîãè÷åñêèõ ôàêòîðîâÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè óïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?ìàòåðèàë ïîäëîæêè?êîëè÷åñòâî êèñëîðîäà âñèñòåìå?íàïðÿæåíèå?äàâëåíèå ðàáî÷åãî ãàçàÂûõîäíûå ïàðàìåòðû(ôóíêöèÿ îòêëèêà)Ôîðìèðîâàíèåãðàäèåíòíîé ïëåíêèÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?òåìïåðàòóðà îêðóæàþùåéñðåäû?âèáðàöèè?ìåòîä íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ?âëàæíîñòü?êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿÂõîäíûå íåêîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?íàëè÷èå äðóãèõ ãàçîâ âñèñòåìå?íåîäíîðîäíîñòü ïîäëîæêè?íàëè÷èå çàãðÿçíåíèé íàïîäëîæêå?òî÷íîñòü îáîðóäîâàíèÿ¹îïûòàÕ0Y1122,3098 2,30898 …252,292,283372,2372,234415520Y2YiY7YS22,309 2,30922,3*10-8…2,285 2,2868,3*10-8…2,231 2,2343,3*10-82,2088 2,21…2,2110-82,1849 2,1839…2,184 2,1844Óðàâíåíèå ðåãðåññèèY=2,309253-0,00659Õ2,20961,3*10-8Ïîäëîæêîäåðæàòåëü â êàðóñåëè óñòàíîâêè ÌàãíåòîíÊàðóñåëü273148569Îïðàâà1234.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.