4 лист (1058753)
Текст из файла
Àíàëèç ìåòîäîâ íàíåñåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ïîêðûòèé è èõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåÐàñïûëÿåìûé ìàòåðèàëÏîäëîæêàÌàãíèòÇîíà êîíöåíòðàöèèïëàçìû òëåþùåãîðàçðÿäàÌåòîä íàèìåíüøèõ êâàäðàòîâÝëåêòðîííî ëó÷åâîå èñïàðåíèåÍàãðåâàòåëüïîäëîæêèÍàïûëÿåìûéñëîéÊàìåðàÊàòîäÏîòîê ïàðà2,35ÇàñëîíêàÝëåêòðîííàÿïóøêàArÇàâèñèìîñòü âûõîäíîãî ïàðàìåòðàîò êîëè÷åñòâà êèñëîðîäà â ñèñòåìå (â %)2,32,25Îòêà÷êàâàêóóìà2,22%ÊàìåðàÏîäëîæêàÄåðæàòåëü ïîäëîæåê(ìîæåò áûòü àíîäîì)Ñèëîâûå ëèíèèìàãíèòíîãî ïîëÿè ïîëíîì îòñóòñòâèè êàïåëüíîé ôàçû;Ïðåèìóùåñòâà Ïëîòíàÿ ìèêðî- (íàíî-) êðèñòàëëè÷åñêàÿ ñòðóêòóðàìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé ïðè ïîëíîì îòñóòñòâèèêàïåëüíîé ôàçû;Âîçìîæíîñòü íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé íà òåðìî÷óâñòâèòåëüíûåìàòåðèàëû ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ;Íàèáîëåå øèðîêèé ñïåêòð ïîêðûòèé ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ;Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ;Âûñîêèå ñâîéñòâà ìåòàëëè÷åñêèõ è êåðàìè÷åñêèõ ïîêðûòèé.ÍåäîñòàòêèÐàñïëàâëåííûéìåòàëëÏîâåðõíîñòüèñïàðåíèÿ5%2,157%15%2,1ÂîäîîõëàæäàåìûéòèãåëüÌàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèåðàõÝëåêòðîííûéïó÷îê20%Èñïàðÿåìûéìàòåðèàë2,05Ýëåêòðîííî-ëó÷åâîå íàïûëåíèå2Âûñîêàÿ ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ.
Âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿòîëñòûõ ïîêðûòèé (äî 200 ìêì);1,950Âûñîêàÿ ÷èñòîòà ïîêðûòèé (ìèíèìóì ïðèìåñåé).5001000150020002500Ðåçóëüòàòû èñïûòàíèé íà äëèíå âîëíû 500 íì:Îòíîñèòåëüíàÿ ñëîæíîñòü òåõíè÷åñêîé ðåàëèçàöèè ìåòîäà ïðèïîëó÷åíèè ðåàêòèâíûõ (êåðàìè÷åñêèõ) ïîêðûòèé.Òðóäíî îáåñïå÷èòü ðàâíîìåðíîñòü òîëùèíû è ñòåõèîìåòðèèíà èçäåëèÿõ ñëîæíîé êîíôèãóðàöèè.Îòíîñèòåëüíî âûñîêàÿ ñòîèìîñòü îáîðóäîâàíèÿÍèçêàÿ ñòåïåíü çàãðóçêè èçäåëèÿìè îáúåìà ðàáî÷åéêàìåðûÊîëè÷åñòâî O2, % 2571520y, êîýôôèöèåíòïðåëîìëåíèÿ2,2862,2532,20962,18442,3092Ðåçóëüòàòû ïàðàëëåëüíûõ íàáëþäåíèéÀíàëèç òåõíîëîãè÷åñêèõ ôàêòîðîâÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè óïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?ìàòåðèàë ïîäëîæêè?êîëè÷åñòâî êèñëîðîäà âñèñòåìå?íàïðÿæåíèå?äàâëåíèå ðàáî÷åãî ãàçàÂûõîäíûå ïàðàìåòðû(ôóíêöèÿ îòêëèêà)Ôîðìèðîâàíèåãðàäèåíòíîé ïëåíêèÂõîäíûå êîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?òåìïåðàòóðà îêðóæàþùåéñðåäû?âèáðàöèè?ìåòîä íàíåñåíèÿ ïîêðûòèÿ?âëàæíîñòü?êîýôôèöèåíò ïðåëîìëåíèÿÂõîäíûå íåêîíòðîëèðóåìûåè íåóïðàâëÿåìûå ôàêòîðû?íàëè÷èå äðóãèõ ãàçîâ âñèñòåìå?íåîäíîðîäíîñòü ïîäëîæêè?íàëè÷èå çàãðÿçíåíèé íàïîäëîæêå?òî÷íîñòü îáîðóäîâàíèÿ¹îïûòàÕ0Y1122,3098 2,30898 …252,292,283372,2372,234415520Y2YiY7YS22,309 2,30922,3*10-8…2,285 2,2868,3*10-8…2,231 2,2343,3*10-82,2088 2,21…2,2110-82,1849 2,1839…2,184 2,1844Óðàâíåíèå ðåãðåññèèY=2,309253-0,00659Õ2,20961,3*10-8.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.