3_listDDD (1058697)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Рентгеновская литография с точечным источником излученияЭтапы совмещения и экспонирования1.Подготовка поверхностиприменяется врентгеодиагностикеприменяетсярентгеновскомспектральноманализе,дефектоскопии-Сушка в вакууме-Чистаяобезвоженнаяповерхность-Повышение адгезии-Температура 200250°C-Время 60 с.SiO2рентгеновскийисточник излучения8. ТравлениерентгенорезистаНанесение изображенияна подложку с нанесеннымрезистомАктивациярентгеночувствительныхмаскакомпонентоврентгенорезистаПараметры качества:–разрешениерентгенорезист –дефектностьCf49.

Контроль?2. Нанесение рентгенорезистарентгенорезистприменяется врентгеновскомструктурноманализе4. Совмещение рентгеношаблонаи экспонированиеPвакω5. Проявление-Подложка фиксируетсявакуумным зажимом-Медленное вращение 500об/мин-Ускорение 3000-5000об/мин-Параметры качества:время, скорость, толщина,однородностьПроявительω10. Травление SiO2Pвак6. Отжиг-Испарениерентгенорезиста-Улучшениеадгезии3. Сушка-Частичное испарениерастворителейрентгенорезиста-Улучшение адгезии-Улучшение однородности-Улучшение сопротивляемоститравлению-ОптимизацияфотопоглощенияХарактеристики рентгеновского резистаЧувствительностьдо 2000 мДж/см2длина волны0,834 нмразрешающая способность50 нм11.

Удалениерентгенорезиста7. Контроль12. Заключительныйконтроль??МаскаФ.И.О.ВыполнилаКуликова Л.А.ПроверилКаменихин А.Т.ПодписьДата.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы