2 лист (1058696)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ЛитографияФотолитографияПроекционнаяКонтактнаяСхема операции совмещения (а) и экспонирования (б), фигуры совмещения (в):1 – микроскоп; 2 – источник света; 3 – объектив; 4 – фотошаблон; 5 – зазор; 6 –фоторезист; 7 – экспонируемая пластина; 8 – фигуры совмещения на пластине;9 – фигуры совмещения на фотошаблонеТри основных спектральных диапозонаДальний УФ от 100до 200-300 нмСредний УФ300-360 нмБлижний УФ от360-450 нмИонная литографияЭлектронолитографияЭлектронолитография представляет собой современныйвысокоразрешающий метод создания топологии микроструктур сиспользованием электронных пучков в качестве источникаизлучения.Ионная литография представляет собой современныйвысокоразрешающий метод создания топологии микроструктурс использованием ионных или протонных пучков излучения.Схема воспроизведения изображенияметодом проекционнойфотолитографии:а – с негативным фоторезистом; б – спозитивным фоторезистом; 1 –фоторезист;2 – подложка; 3 – фотошаблонРентгенолитографияТип литографииџ Большая глубина фокусаџ большой потенциалРентгеновскаяСхема установки рентгеновскойлитографииНедостаткиДостоинстваполучения высокихразрешенийџ малая чувствительностьк разрешениямџ источники излученияџ сложная технология изготовленияшаблонов в реальных размерахизделияџ специальные резистыџ совмещение технологическихслоевџ сложная технология изготовленияГеометрические искажения всистеме рентгеновскогоэкспонированияСхема источника синхротронногоизлучения: L–линейныйускоритель; B–бустерныйсинхротрон; C накопительноекольцо; М-поворотные магниты; R– каналы синхротронногоизлучения; J – место соединениябустерного синхротрона снакопительным кольцом.Схематическое изображениерентгеновской трубки.

X —рентгеновские лучи, K — катод, А —анод (иногда называемыйантикатодом), С — теплоотвод, Uh —напряжение накала катода, Ua —ускоряющее напряжение, Win — впускводяного охлаждения, Wout — выпускводяного охлаждения.ЭлектроннолучеваяИонно-лучеваяџџџџдоступные источники излучениябольшая глубина фокусабольшой потенциалполучения высокихразрешенийџ большая глубина фокусаџ большой потенциалФ.И.О.ВыполнилаКуликова Л.АПроверилКаменихин А.Тполучения высокихразрешенийџџџџшаблоновмалая производительность системс последовательной прорисовкойизображенияэффект близостирадиационные поврежденияэффект накопления зарядаџ ионные источники достаточнойинтенсивностиџ ионно-лучевая оптикаџ эффект накопления заряда вподложкеПодписьДата.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов курсовой работы