Лекции5 (1055165), страница 2
Текст из файла (страница 2)
)0-1-3-5Eeа)2 эВ024б)68kTe, эВ10Важным параметром плазмы является энергия электроновEe (kTe), которая имеет нормальное распределение и от которойзависит вероятность образования ионов аргона - коэффициентионизации.Длина свободного пробега электрона в плазме:l=1/(Se .N),где Se – площадь сечения цилиндра при столкновенииэлектрона с атомами плазмообразующего газа, м2 (для Ar приEe=2 эВSe = 3.10-16 см2); N - концентрация атомов илимолекул газа (м-3), равная N=p/(kT)=2,5.1016 атом/см3 (придавлении аргона p=100 Па и температуре стенок вакуумнойкамеры T=293К).
При этих параметрах плазмы l=0,13 см.Uз, ВКривые ПашенаCO2Воздух104H2103NeAr10210-1100Напряжениезажигания101102p.d, Па.мсамостоятельногогазовогоразряда Uз зависит от рода газа и произведения давления p нарасстояниемеждуэлектродамииллюстрируется кривыми Пашена.d.ЭтазависимостьСхема формирования высокочастотной плазмыэлектродd + e eмишеньВысокочастотная-Æ ~ ВЧÆ+плазмаформируетсяисходяизусловия, что длина свободного пробега электронов равнарасстоянию между электродами d, а пробег значительно болеетяжелых ионов намного меньше.Необходимаячастотаизмененияполярностинаэлектродах рассчитывается из неравенства f > 1/te, где времяпробега электронов te = d/ve (при ve=106 м/с и d=0,1 м te=10-7с, аf > 107 Гц). Наиболее распространена стандартная частотаf=13,56 МГц, при которой время пробега ионов ti расстояния dравно ti = d/vi (при vi » 500 м/с, ti = 2.10-4 с), а величина пробегаионов за ti составляет di = vi /f (di =3,7.10-5 м или 37 мкм)..
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
